-
公开(公告)号：CN103663363A
公开(公告)日：2014-03-26
申请号：CN201310644730.0
申请日：2013-12-05
Applicant: 浙江大学
Abstract: 本发明公开了一种无序合金微弹簧及其制备方法与曝光台。弹簧结构为螺旋型，整体尺寸在百微米量级到毫米级别；材料为Ni-Nb基无序合金材料，杨氏模量大于180GPa，弹性极限大于2%。制备方法，1）制备一个PMMA光刻胶圆柱；2）将光刻胶圆柱夹持到曝光台上进行X-ray曝光；3）进行显影，得到显影后的制备弹簧的PMMA模具；4）用镍和铌金属在真空下氩气保护熔炼而成的靶材；5）通过磁控溅射制备无序合金薄膜层；6）释放得到无序合金微弹簧。本发明将X-ray光刻工艺与磁控溅射技术结合，突破了传统机械工艺制备亚毫米螺旋微型弹簧的尺寸瓶颈，填补了MEMS器件中无序合金螺旋微弹簧的空缺，拓展了3D金属微器件的加工思路，微弹簧表面平整光滑，形状理想。
-
公开(公告)号：CN102735176A
公开(公告)日：2012-10-17
申请号：CN201210209959.7
申请日：2012-06-25
Applicant: 浙江大学
IPC: G01B11/06
Abstract: 本发明公开了一种基于光纤光谱仪的光学薄膜厚度检测装置及方法。光学平台上一侧从上到下顺次设有第一支撑柱、第一固定块，光学平台上另一侧从上到下顺次设有第二支撑柱、第二固定块，第一支撑柱、第二支撑柱上端固定有支撑横梁，支撑横梁下端设有Z向移动轨道，在Z向移动轨道上设有L型固定块，在L型固定块上设有光纤光谱仪探头横梁，在光纤光谱仪探头横梁上设有光纤光谱仪探头，在光纤光谱仪探头右侧设有光学显微镜，光学平台上从下到上顺次设有X、Y步进电控平移台、样品台、待测样品。本发明可以实时在线无损地获得光学薄膜样品不同位置的厚度信息。
-
公开(公告)号：CN102730624A
公开(公告)日：2012-10-17
申请号：CN201210209387.2
申请日：2012-06-25
Applicant: 浙江大学
Abstract: 本发明公开了一种实时颜色动态调控微器件及其制备和调控方法。利用同步辐射光源在铂层上制备高深宽比的PMMA二维微结构阵列，利用直流磁控溅射在微结构内部沉积锆钛酸铅薄膜层，在微结构的顶部沉积高反射率纳米金属铬层，形成有高度差的上下两层反射层，通过改变铂、铬之间的电压，实时控制两反射层之间的高度差，使器件在自然光条件下呈现出不同的颜色，实现颜色的动态调控。本发明突破了传统微结构阵列深度方向尺寸固定的限制，利用压电薄膜材料的逆压电效应，只需改变外部电压，即可实时控制微结构的深度变化，从而实现无颜料多种色彩的实时动态调控，符合绿色环保的主题，可望在光学、材料学及印刷业、建筑业等领域获得广泛应用。
-
公开(公告)号：CN102707093A
公开(公告)日：2012-10-03
申请号：CN201210192166.9
申请日：2012-06-12
Applicant: 浙江大学
IPC: G01Q60/24
Abstract: 本发明公开了一种双管扫描器联动跟踪型原子力显微探测方法及系统。采用样品固定、双管扫描器扫描微探针并且联动跟踪光束的方法，实现样品微纳米结构的原子力显微探测与扫描成像。它具有由双管扫描器、探针座、微探针、L形结构、联动透镜、激光器、光电位置探测器、样品、样品台等组成的双管扫描器联动跟踪型AFM探测头，以及由前置放大器、扫描与反馈控制单元、计算机等组成的扫描成像与反馈控制系统。本发明的优点是：样品尺寸和重量不受限制；与双管扫描器联动的光路系统，有效实现扫描时的光束跟踪；反射光路与Z反馈运动方向一致，避免反馈导致的伪信号及AFM图像失真；上下双层结构、相互正交二等分的双管扫描器，消除了耦合产生的图像畸变。
-
公开(公告)号：CN102384985A
公开(公告)日：2012-03-21
申请号：CN201110295696.1
申请日：2011-09-28
Applicant: 浙江大学
Abstract: 本发明公开了一种拉曼原子力显微检测装置及方法。光学平台上一侧从上到下顺次设有第一支撑柱、第一固定块，光学平台上另一侧从上到下顺次设有第二支撑柱、第二固定块，第一支撑柱、第二支撑柱上端固定有支撑横梁，支撑横梁上方设有X向步进电控平移台，X向步进电控平移台上设有滑动块，滑动块下端设有Z向移动轨道，在Z向移动轨道上设有L型固定块，在L型固定块上设有原子力显微探头横梁，在原子力显微探头横梁上设有原子力显微探头，在原子力显微探头的两侧分别设有拉曼光谱显微探测头和光学显微镜，光学平台上从下到上顺次设有Y向步进电控平移台、样品台、待测样品。本发明可以实时在线地获得样品的微纳米形貌结构信息和显微拉曼光谱信息。
-
Patent Agency Ranking
公开(公告)号：CN102213840A
公开(公告)日：2011-10-12
申请号：CN201110139191.6
申请日：2011-05-26
Applicant: 浙江大学
Abstract: 本发明公开了一种基于透明介质小球的暗斑产生方法及装置。该方法包括：将切向偏振光束入射到微米量级的透明介质小球，在所述的微米量级的透明介质小球的出射端得到暗斑。该装置依次包括：用于产生切向偏振光束的器件、显微物镜、微米量级的透明介质小球、和用于固定所述微米量级的透明介质小球的盖玻片，切向偏振光束通过显微物镜初步聚焦后，再通过微米量级的透明介质小球进一步聚焦得到暗斑。本发明利用单一光束作为系统工作光束，节约了系统成本，增加了实用性，同时聚焦后的暗斑尺寸可以达到0.414λ，远远小于普通切向偏振光聚焦。而且光束质量也有提高，更有利于实际应用。
-
公开(公告)号：CN108693384A
公开(公告)日：2018-10-23
申请号：CN201810392674.9
申请日：2018-04-27
Applicant: 浙江大学
IPC: G01Q60/24
CPC classification number: G01Q60/24
Abstract: 本发明公开了一种无线控制式微小型原子力显微成像方法及装置。包括微小型原子力显微成像探头、微小型电路、嵌入式系统和手提电脑。微小型电路由前置放大模块、扫描与反馈控制电路、移动电源组成；嵌入式系统由DA模块、AD模块、树莓派微型电脑组成，本发明的优点是：原子力显微成像探头及装置系统整体微小型化，无需交流市电供电，也无需专用的直流低压电源和直流高压电源，在移动电源供电之下，通过WIFI无线数据传输方式，即可实现微纳米样品的原子力显微成像，克服了常规原子力显微镜的局限性，为在野外考察、隔离环境、真空条件、气体氛围环境等特殊领域中实现样品的原子力显微成像提供了新的技术及应用途径。
-
公开(公告)号：CN102305776B
公开(公告)日：2013-04-10
申请号：CN201110139222.8
申请日：2011-05-26
Applicant: 浙江大学
Abstract: 本发明公开了一种基于透明介质微球的超分辨显微成像系统，该系统采用基于传统的宽场光学显微镜系统进行改进的装置，即，在传统的宽场光学显微镜系统中，在样品表面放置一微米量级的透明小球。该系统采取的方法为：使用白光照明样品，激发样品表面产生表面等离子体倏逝波；使用微米量级的透明小球耦合表面等离子体倏逝波，并进行空间放大产生样品放大的虚像；对虚像进行二次成像并观察，从而获取样品表面的超分辨细节的显微图像，实现基于白光宽场照明的远场宽场超分辨。本发明系统分辨率精细度高，获取图像真实可靠，图像获取速度高，可以获取观察样品的即时动态图像；结构简单，成本低廉。
-
公开(公告)号：CN102226855B
公开(公告)日：2012-11-14
申请号：CN201110139216.2
申请日：2011-05-26
Applicant: 浙江大学
Abstract: 本发明公开了一种基于透明介质小球的三维超分辨聚焦方法及装置。该方法包括：将径向偏振光束入射到微米量级的透明介质小球进行聚焦，在透明介质小球的出射端得到聚焦光斑。该装置依次包括：用于产生径向偏振光束的器件、显微物镜、微米量级的透明介质小球、和用于固定所述微米量级的透明介质小球的盖玻片，径向偏振光束通过显微物镜初步聚焦后，再通过微米量级的透明介质小球进一步聚焦得到聚焦光斑。本发明利用单一光束作为系统工作光束，节约了系统成本，增加了实用性，同时聚焦后的光斑不但纵轴长度减小到0.17λ以下，而且光束质量也有提高，聚焦光斑横向尺寸也可达到系统本身的衍射极限以下，聚焦光斑体积尤其小，更有利于实际应用。
-
公开(公告)号：CN101603911A
公开(公告)日：2009-12-16
申请号：CN200910100818.X
申请日：2009-07-13
Applicant: 浙江大学
IPC: G01N13/16
Abstract: 本发明公开了一种大样品大范围高分辨原子力显微检测方法及装置。采用压电陶瓷探头扫描和步进电机大范围移动相结合的方法，同时设计了开放式的样品台，实现大型超精密工件的微纳米检测。它具有激光器、光路跟踪透镜、压电陶瓷、微悬臂探针及光电探测元件组成的大范围高分辨扫描探头系统和对大尺寸样品进行大范围移动的X、Y向步进电控平移台以及光学平台、扫描成像及反馈控制系统。本发明的优点是克服了常规AFM仅适用于小样品的小范围检测的局限性，设计了简单实用的透镜系统解决探针大范围扫描时的光路跟踪问题，采用开放式的样品台和二维步进电机，可对大型超精密工件样品，在保持AFM的超高分辨率下实现任意区域大范围扫描检测。
-
-
-
-
-
-
-
-
-
Search Results
78
records
(took 0.019 seconds)
