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公开(公告)号：CN102096190A
公开(公告)日：2011-06-15
申请号：CN201110022876.2
申请日：2011-01-20
Applicant: 浙江大学
Abstract: 本发明公开了一种金属光热驱动微开关及其制作方法。本发明采用同步辐射LIGA技术制备了这种金属光热驱动微开关，采用化学溅射法对金属光热驱动微开关的表面进行了发黑处理以减小其对光的反射、增加其对光的吸收。采用激光作为驱动源，将激光束进行准直聚焦后照射到金属光热驱动微开关的驱动臂上，利用金属的光热膨胀效应使金属微开关发生形变，从而实现开关功能。系统包括激光器、聚焦透镜、基底、膨胀臂、触点等部分。本发明的优点是采用LIGA技术制备，微开关精度高，可进行批量生产；可以利用激光直接对微开关进行非接触控制；微开关导电性良好，可直接应用于电路。
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公开(公告)号：CN103663363A
公开(公告)日：2014-03-26
申请号：CN201310644730.0
申请日：2013-12-05
Applicant: 浙江大学
Abstract: 本发明公开了一种无序合金微弹簧及其制备方法与曝光台。弹簧结构为螺旋型，整体尺寸在百微米量级到毫米级别；材料为Ni-Nb基无序合金材料，杨氏模量大于180GPa，弹性极限大于2%。制备方法，1）制备一个PMMA光刻胶圆柱；2）将光刻胶圆柱夹持到曝光台上进行X-ray曝光；3）进行显影，得到显影后的制备弹簧的PMMA模具；4）用镍和铌金属在真空下氩气保护熔炼而成的靶材；5）通过磁控溅射制备无序合金薄膜层；6）释放得到无序合金微弹簧。本发明将X-ray光刻工艺与磁控溅射技术结合，突破了传统机械工艺制备亚毫米螺旋微型弹簧的尺寸瓶颈，填补了MEMS器件中无序合金螺旋微弹簧的空缺，拓展了3D金属微器件的加工思路，微弹簧表面平整光滑，形状理想。
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公开(公告)号：CN103030092B
公开(公告)日：2015-05-27
申请号：CN201310008735.4
申请日：2013-01-10
Applicant: 浙江大学
IPC: B81B3/00
Abstract: 本发明公开了一种基于相变作用力的金属微驱动器、驱动装置及其驱动方法。利用LIGA技术加工出具有高深宽比的金属微驱动器，利用脉冲激光照射微驱动器使微驱动器迅速升温，微驱动器局部微结构内的液体受热发生气化相变，气泡将液体向外排产生反作用力驱动微驱动器转动。通过调整激光的功率和占空比来控制局部微结构中的气泡产生速率和大小变化，从而产生脉冲式的驱动力实现微驱动器的步进运动。本发明原理巧妙，能够通过简单结构将光能转换为热能再转换为动能，实现远程非接触式控制，可望在MOEMS器件等领域获得广泛应用。
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Patent Agency Ranking
公开(公告)号：CN103030092A
公开(公告)日：2013-04-10
申请号：CN201310008735.4
申请日：2013-01-10
Applicant: 浙江大学
IPC: B81B3/00
Abstract: 本发明公开了一种基于相变作用力的金属微驱动器、驱动装置及其驱动方法。利用LIGA技术加工出具有高深宽比的金属微驱动器，利用脉冲激光照射微驱动器使微驱动器迅速升温，微驱动器局部微结构内的液体受热发生气化相变，气泡将液体向外排产生反作用力驱动微驱动器转动。通过调整激光的功率和占空比来控制局部微结构中的气泡产生速率和大小变化，从而产生脉冲式的驱动力实现微驱动器的步进运动。本发明原理巧妙，能够通过简单结构将光能转换为热能再转换为动能，实现远程非接触式控制，可望在MOEMS器件等领域获得广泛应用。
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公开(公告)号：CN102096190B
公开(公告)日：2012-09-19
申请号：CN201110022876.2
申请日：2011-01-20
Applicant: 浙江大学
Abstract: 本发明公开了一种金属光热驱动微开关及其制作方法。本发明采用同步辐射LIGA技术制备了这种金属光热驱动微开关，采用化学溅射法对金属光热驱动微开关的表面进行了发黑处理以减小其对光的反射、增加其对光的吸收。采用激光作为驱动源，将激光束进行准直聚焦后照射到金属光热驱动微开关的驱动臂上，利用金属的光热膨胀效应使金属微开关发生形变，从而实现开关功能。系统包括激光器、聚焦透镜、基底、膨胀臂、触点等部分。本发明的优点是采用LIGA技术制备，微开关精度高，可进行批量生产；可以利用激光直接对微开关进行非接触控制；微开关导电性良好，可直接应用于电路。
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公开(公告)号：CN203639142U
公开(公告)日：2014-06-11
申请号：CN201320790904.X
申请日：2013-12-05
Applicant: 浙江大学
Abstract: 本实用新型公开了一种制备无序合金微弹簧的曝光台。弹簧结构为螺旋型，整体尺寸在百微米量级到毫米级别；材料为Ni-Nb基无序合金材料，杨氏模量大于180GPa，弹性极限大于2%。制备方法，1）制备一个PMMA光刻胶圆柱；2）将光刻胶圆柱夹持到曝光台上进行X-ray曝光；3）进行显影，得到显影后的制备弹簧的PMMA模具；4）用镍和铌金属在真空下氩气保护熔炼而成的靶材；5）通过磁控溅射制备无序合金薄膜层；6）释放得到无序合金微弹簧。本实用新型将X-ray光刻工艺与磁控溅射技术结合，突破了传统机械工艺制备亚毫米螺旋微型弹簧的尺寸瓶颈，填补了MEMS器件中无序合金螺旋微弹簧的空缺，拓展了3D金属微器件的加工思路，微弹簧表面平整光滑，形状理想。
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公开(公告)号：CN203006933U
公开(公告)日：2013-06-19
申请号：CN201320012152.4
申请日：2013-01-10
Applicant: 浙江大学
IPC: B81B3/00
Abstract: 本实用新型公开了一种基于相变作用力的金属微驱动器及驱动装置。利用LIGA技术加工出具有高深宽比的金属微驱动器，利用脉冲激光照射微驱动器使微驱动器迅速升温，微驱动器局部微结构内的液体受热发生气化相变，气泡将液体向外排产生反作用力驱动微驱动器转动。通过调整激光的功率和占空比来控制局部微结构中的气泡产生速率和大小变化，从而产生脉冲式的驱动力实现微驱动器的步进运动。本实用新型原理巧妙，能够通过简单结构将光能转换为热能再转换为动能，实现远程非接触式控制，可望在MOEMS器件等领域获得广泛应用。
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公开(公告)号：CN201966133U
公开(公告)日：2011-09-07
申请号：CN201120018370.X
申请日：2011-01-20
Applicant: 浙江大学
Abstract: 本实用新型公开了一种金属光热驱动微开关。本实用新型采用同步辐射LIGA技术制备了这种金属光热驱动微开关，采用化学溅射法对金属光热驱动微开关的表面进行了发黑处理以减小其对光的反射、增加其对光的吸收。采用激光作为驱动源，将激光束进行准直聚焦后照射到金属光热驱动微开关的驱动臂上，利用金属的光热膨胀效应使金属微开关发生形变，从而实现开关功能。系统包括激光器、聚焦透镜、基底、膨胀臂、触点等部分。本实用新型的优点是采用LIGA技术制备，微开关精度高，可进行批量生产；可以利用激光直接对微开关进行非接触控制；微开关导电性良好，可直接应用于电路。
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