公开(公告)号：CN101603911B

公开(公告)日：2011-01-05

申请号：CN200910100818.X

申请日：2009-07-13

Applicant: 浙江大学

Inventor： 张冬仙 ,  谢志刚 ,  章海军

IPC: G01N13/16

CPC classification number: G01Q20/02 ,  G01Q10/02 ,  G01Q10/04

Abstract: 本发明公开了一种大样品大范围高分辨原子力显微检测方法及装置。采用压电陶瓷探头扫描和步进电机大范围移动相结合的方法，同时设计了开放式的样品台，实现大型超精密工件的微纳米检测。它具有激光器、光路跟踪透镜、压电陶瓷、微悬臂探针及光电探测元件组成的大范围高分辨扫描探头系统和对大尺寸样品进行大范围移动的X、Y向步进电控平移台以及光学平台、扫描成像及反馈控制系统。本发明的优点是克服了常规AFM仅适用于小样品的小范围检测的局限性，设计了简单实用的透镜系统解决探针大范围扫描时的光路跟踪问题，采用开放式的样品台和二维步进电机，可对大型超精密工件样品，在保持AFM的超高分辨率下实现任意区域大范围扫描检测。

公开(公告)号：CN101603911A

公开(公告)日：2009-12-16

申请号：CN200910100818.X

申请日：2009-07-13

Applicant: 浙江大学

Inventor： 张冬仙 ,  谢志刚 ,  章海军

IPC: G01N13/16

CPC classification number: G01Q20/02 ,  G01Q10/02 ,  G01Q10/04

Abstract: 本发明公开了一种大样品大范围高分辨原子力显微检测方法及装置。采用压电陶瓷探头扫描和步进电机大范围移动相结合的方法，同时设计了开放式的样品台，实现大型超精密工件的微纳米检测。它具有激光器、光路跟踪透镜、压电陶瓷、微悬臂探针及光电探测元件组成的大范围高分辨扫描探头系统和对大尺寸样品进行大范围移动的X、Y向步进电控平移台以及光学平台、扫描成像及反馈控制系统。本发明的优点是克服了常规AFM仅适用于小样品的小范围检测的局限性，设计了简单实用的透镜系统解决探针大范围扫描时的光路跟踪问题，采用开放式的样品台和二维步进电机，可对大型超精密工件样品，在保持AFM的超高分辨率下实现任意区域大范围扫描检测。

公开(公告)号：CN201429627Y

公开(公告)日：2010-03-24

申请号：CN200920124491.5

申请日：2009-07-13

Applicant: 浙江大学

Inventor： 谢志刚 ,  张冬仙 ,  章海军

IPC: G01Q60/24 ,  G01Q60/38

Abstract: 本实用新型公开了一种大样品大范围高分辨原子力显微检测装置。采用压电陶瓷探头扫描和步进电机大范围移动相结合的方法，同时设计了开放式的样品台，实现大型超精密工件的微纳米检测。它具有激光器、光路跟踪透镜、压电陶瓷、微悬臂探针及光电探测元件组成的大范围高分辨扫描探头系统和对大尺寸样品进行大范围移动的X、Y向步进电控平移台以及光学平台、扫描成像及反馈控制系统。本实用新型的优点是克服了常规AFM仅适用于小样品的小范围检测的局限性，设计了简单实用的透镜系统解决探针大范围扫描时的光路跟踪问题，采用开放式的样品台和二维步进电机，可对大型超精密工件样品，在保持AFM的超高分辨率下实现任意区域大范围扫描检测。