-
公开(公告)号：CN101548343A
公开(公告)日：2009-09-30
申请号：CN200880000889.6
申请日：2008-08-18
Applicant: 株式会社村田制作所
CPC classification number: C23C14/34 , C23C14/086 , Y10T428/31507 , Y10T428/31721 , Y10T428/31786
Abstract: 本发明提供具备可实用的耐湿性和作为透明导电膜所必需的特性且低成本的ZnO类透明导电膜及其制造方法。以ZnO为主成分的透明导电膜(ZnO膜)中，ZnO膜具备具有粒状结晶结构的区域。ZnO膜中掺杂有III族元素。III族元素的掺杂量以氧化物质量换算为0.8～11.5重量％。III族元素为选自Ga、Al及In的至少1种。ZnO(002)摇摆曲线的半宽度为10.5°以下。在基体上形成ZnO膜的过程中使基体静止。在向靶供给DC脉冲电力的同时形成氧化锌膜。
-
公开(公告)号：CN110024286B
公开(公告)日：2024-02-06
申请号：CN201780071709.2
申请日：2017-09-28
Applicant: 株式会社村田制作所
Abstract: 弹性波装置(1)具备：压电基板(11)；以及IDT电极(5)，设置在压电基板(11)。IDT电极(5)具有：汇流条电极(7a、7c(或7b、7d))，在弹性波传播方向(D1)上延伸；以及多个电极指(8a(或8b))，与汇流条电极(7a、7c(或7b、7d))连接，并在弹性波传播方向(D1)的正交方向(D2)上延伸。压电基板(11)具有沿着弹性波传播方向(D1)形成的槽(10C、10D)，在正交方向(D2)上从汇流条电极(7a、7c(或7b、7d))观察，槽(10C(或10D))设置在与形成有多个电极指(8a(或8b))侧相反侧。
-
公开(公告)号：CN111033774B
公开(公告)日：2023-11-17
申请号：CN201880052416.4
申请日：2018-11-16
Applicant: 株式会社村田制作所
Abstract: 压电器件具备：压电体(10)，至少一部分能够进行弯曲振动；上部电极(22)，配置在压电体(10)的上表面上，其中，该上部电极越远离压电体(10)的上表面，晶格的应变越被缓和；下部电极(21)，配置在压电体(10)的下表面上，其中，该下部电极越远离压电体(10)的下表面，晶格的应变越被缓和；以及支承基板(40)，配置在压电体(10)的下方，设置有从支承基板(40)的下表面朝向压电体(10)的下表面上的凹部(141)。
-
公开(公告)号：CN111095585B
公开(公告)日：2023-10-10
申请号：CN201880059615.8
申请日：2018-11-16
Applicant: 株式会社村田制作所
Abstract: 压电器件具备：至少一部分能够弯曲振动且极化状态相同的压电单晶体(10)、配置在压电单晶体(10)的上表面上的上部电极(22)、配置在压电单晶体(10)的下表面上的下部电极(21)、和配置在压电单晶体(10)的下方的支承基板(40)，设置有从支承基板(40)的下表面朝向压电单晶体(10)的下表面上的凹部(141)。
-
公开(公告)号：CN115485869A
公开(公告)日：2022-12-16
申请号：CN202180028099.4
申请日：2021-04-14
Applicant: 株式会社村田制作所
Inventor： 岸本谕卓
IPC: H01L41/047 , H01L41/187 , H01L41/29 , H03H9/17
Abstract: 在单晶压电体层(130)中的与基部(110)的一个主面(111)对置的第一对置面(131)形成有第一凹部(132)。单晶压电体层(130)在第一对置面(131)中的第一凹部(132)以外的部分与基部(110)的一个主面(111)接合。构成一对电极层的至少一部分且沿着单晶压电体层(130)的基部(110)侧延伸的下部电极层(150)的至少一部分位于第一凹部(132)内。下部电极层(150)中的与基部(110)的一个主面(111)对置的第二对置面(151)的表面粗糙度(Ra)比单晶压电体层(130)的第一对置面(131)的表面粗糙度(Ra)大。
-
Patent Agency Ranking
公开(公告)号：CN115136332A
公开(公告)日：2022-09-30
申请号：CN202180014365.8
申请日：2021-02-15
Applicant: 株式会社村田制作所
IPC: H01L41/053 , H01L41/113 , H01L41/09
Abstract: 从与一个主面正交的方向观察，凹部(113)的外形为多边形或者圆形。若将构成上述多边形的多个边的数量设为n个，将由长度(L1)与上述多个边中的最短边相同的上述n个边构成的假想正多边形的外接圆(C)的半径设为r，将在层叠部中位于凹部(113)上的膜片部的最大厚度设为d，则在3≤n≤7的情况下，满足r≤197.7dn‑0.6698，在8≤n或者凹部(113)的外形为圆形的情况下，满足r≤52.69d。
-
公开(公告)号：CN114402446A
公开(公告)日：2022-04-26
申请号：CN202080064644.0
申请日：2020-05-28
Applicant: 株式会社村田制作所
IPC: H01L41/04 , H01L41/047 , H01L41/09 , H01L41/187
Abstract: 压电元件(100)包括压电体层(110)、第1电极层(120)、第2电极层(130)以及连接电极(140)。压电体层(110)具有第1面(111)、第2面(112)以及贯通孔(113)。第2电极层(130)位于压电体层(110)的第2面(112)侧。第2电极层(130)面向贯通孔(113)。第2电极层(130)含有硅作为主要成分。连接电极(140)设于第2电极层(130)中的面向贯通孔(113)的连接面(131)上。连接电极(140)由金属形成。连接面(131)的表面粗糙度(Ra)比第2电极层(130)的压电体层(110)侧的面中的连接面(131)以外的部分即主面(132)的表面粗糙度(Ra)大。
-
公开(公告)号：CN114342098A
公开(公告)日：2022-04-12
申请号：CN202080062313.3
申请日：2020-05-25
Applicant: 株式会社村田制作所
IPC: H01L41/047 , H01L41/187 , H01L41/29 , H03H9/17
Abstract: 在压电元件(100)中，第二电极层(130)位于单晶压电体层(110)的第二面(112)侧。在第二电极层(130)形成有与贯通孔(113)面对的孔部(131)。第二电极层(130)由Pt、Ti、Al、Cu、Au、Ag、Mg或者包含这些金属中的至少一种作为主成分的合金构成。第三电极层(140)配置在第二电极层(130)的与单晶压电体层(110)侧相反的一侧。第三电极层(140)设置为至少具有在从与第二面(112)垂直的方向观察时与孔部(131)的缘部(132)隔开间隔地位于比孔部(131)的缘部(132)靠外侧的位置的部分。第三电极层(140)由Ni或者包含Ni作为主成分的合金构成。
-
公开(公告)号：CN111566933A
公开(公告)日：2020-08-21
申请号：CN201880081223.1
申请日：2018-12-10
Applicant: 株式会社村田制作所
IPC: H03H9/25 , H03H3/08 , H01L21/301
Abstract: 本发明提供一种能够更可靠地提高生产率的弹性波装置。弹性波装置(1)具备：压电性基板(2)，具有支承基板(3)和直接或间接地设置在支承基板(3)上的压电体层(5)，且具有作为压电体层(5)侧的主面的第1主面(2a)和作为支承基板(3)侧的主面的第2主面(2b)；IDT电极(7)，直接或间接地设置在第1主面(2a)上；支承构件(8)，设置在支承基板(3)上；覆盖构件(9)，设置在支承构件(8)上；贯通过孔电极(17)，设置为贯通支承基板(3)，并与IDT电极(7)电连接；第1布线电极(15)，设置在压电性基板(2)的第2主面(2b)上，并与贯通过孔电极(17)电连接；以及保护膜(16)，设置在第2主面(2b)上，使得覆盖第1布线电极(15)的至少一部分。在从第2主面(2b)的法线方向观察时，保护膜(16)设置在比支承构件(8)靠内侧。
-
公开(公告)号：CN107408936A
公开(公告)日：2017-11-28
申请号：CN201680014166.6
申请日：2016-03-09
Applicant: 株式会社村田制作所
Inventor： 岸本谕卓
Abstract: 本发明提供一种在划片工序时难以产生层间的剥离的弹性波装置及其制造方法。弹性波装置(1)具备：压电体层(2)，具有第一主面(2a)和与该第一主面(2a)对置的第二主面(2b)；声反射层(5)，层叠在压电体层(2)的第一主面(2a)上；激励电极，设置在压电体层(2)；以及支承层(6)。声反射层(5)位于在从压电体层(2)的第二主面(2b)侧的俯视下至少与激励电极重叠的位置。支承层(6)设置为至少在从压电体层(2)的第二主面(2b)侧的俯视下包围声反射层(5)。
-
-
-
-
-
-
-
-
-
Search Results
60
records
(took 0.027 seconds)
