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公开(公告)号：CN117099309A
公开(公告)日：2023-11-21
申请号：CN202280025668.4
申请日：2022-03-30
Applicant: 株式会社村田制作所
IPC: H03H9/25
Abstract: 提供一种弹性波装置，能够抑制由无用波引起的电特性的劣化。本发明涉及的弹性波装置(10)具备：压电性基板(12)，包括支承构件和压电层(14)，支承构件包括支承基板，压电层(14)设置在支承构件上且具有相对置的第1主面(14a)和第2主面；至少一个功能电极，设置在压电层(14)的第1主面(14a)或第2主面，具有至少一对电极；第1支承体(18)，设置在压电性基板(12)上，使得包围功能电极；至少一个第2支承体(19)，设置在压电性基板(12)上，配置在被第1支承体(18)包围的部分；以及盖部，设置在第1支承体(18)上和第2支承体(19)上。将相邻的电极彼此对置的方向设为电极对置方向，在从电极对置方向观察时，相邻的电极彼此相互重叠的区域是交叉区域(E)，将至少一对电极延伸的方向设为电极延伸方向时，在从电极延伸方向观察时、以及在从电极对置方向观察时，第2支承体(19)都被配置为不与交叉区域(E)重叠。
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公开(公告)号：CN117083800A
公开(公告)日：2023-11-17
申请号：CN202280025224.0
申请日：2022-03-25
Applicant: 株式会社村田制作所
IPC: H03H9/25
Abstract: 本公开的弹性波装置具备包括在第一方向上具有厚度方向的支承基板的支承构件、设置在所述支承构件上的压电层以及分别具有设置于所述压电层的功能电极的多个谐振器，在所述支承构件，在沿所述第一方向俯视时与所述多个谐振器各自的至少一部分重叠的位置设置有空洞部，所述多个谐振器包括相邻配置的第一谐振器和第二谐振器，在所述压电层的所述第一谐振器与所述第二谐振器之间设置有到达所述空洞部的贯通孔。
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Patent Agency Ranking
公开(公告)号：CN105794108B
公开(公告)日：2019-01-11
申请号：CN201480066263.0
申请日：2014-12-18
Applicant: 株式会社村田制作所
Abstract: 本发明提供一种难以产生压电薄膜的破裂或缺损，并且难以产生特性的恶化的弹性波装置。弹性波装置(1)在支撑基板(2)上设置多层膜(3)，多层膜(3)包含：压电薄膜(6)、和压电薄膜(6)以外的层，设置被设置在压电薄膜(6)的一面的IDT电极(7)，具备与IDT电极(7)电连接的外部连接端子，俯视下，在设置有IDT电极(7)的区域的外侧的区域，多层膜(3)被局部除去，在多层膜(3)被除去的区域的至少一部分，还具备设置在支撑基板(2)上的第1绝缘层(10、11)。
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公开(公告)号：CN105794107B
公开(公告)日：2018-12-25
申请号：CN201480066259.4
申请日：2014-12-18
Applicant: 株式会社村田制作所
Abstract: 提供难以出现压电薄膜的破裂或剥落的弹性波装置。在弹性波装置(1)中，在支承基板(2)上层叠将包含压电薄膜(6)的多个膜层叠而成的层叠膜(3)，IDT电极(11)设置在压电薄膜(6)的一面，在IDT电极(11)连接布线电极(12)，布线电极(12)具有引出电极部(13)和焊盘电极部(14)，外部连接端子(7)位于焊盘电极部(14)的上方，外部连接端子(7)与焊盘电极部(14)电连接，在支承基板(2)上，在焊盘电极部(14)上接合外部连接端子(7)，使层叠膜(3)中至少压电薄膜(6)不存在于焊盘电极部(14)的下方。
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公开(公告)号：CN107615659A
公开(公告)日：2018-01-19
申请号：CN201680031526.3
申请日：2016-06-10
Applicant: 株式会社村田制作所
Abstract: 本发明提供一种难以产生压电薄膜的破裂、缺口，且难以产生层叠膜中的界面剥离，进而难以产生布线电极的断线的弹性波装置。在支承基板(2)上层叠有包含压电薄膜(4)的层叠膜(3)的弹性波装置(1)。在设置有IDT电极(5a～5c)的区域的外侧的区域，部分地不存在层叠膜(3)。设置有第一绝缘层(12)，使得从不存在该层叠膜(3)的区域(R)的至少一部分到达压电薄膜(4)上。布线电极(6a)从压电薄膜(4)上到达第一绝缘层(12)上，并到达位于区域(R)的第一绝缘层部分上。
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公开(公告)号：CN101926090B
公开(公告)日：2013-10-30
申请号：CN200880125279.9
申请日：2008-11-26
Abstract: 本发明公开一种能够充分抑制温度变化而引起的伸缩，且频率偏移小的声波元件及其制造方法。本发明的声波元件的特征在于，包括：在一个主面上形成了IDT(2)的压电基片(1)；以及，形成在上述压电基片(1)的另一个主面(1b)上，由具有比上述压电基片(1)的线膨胀系数还小的线膨胀系数的材料构成的喷镀膜(3)，其中，上述喷镀膜(3)的晶粒边界和空穴(4)中的至少一部分被填充材料(5)所填充。
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公开(公告)号：CN101926090A
公开(公告)日：2010-12-22
申请号：CN200880125279.9
申请日：2008-11-26
Abstract: 本发明公开一种能够充分抑制温度变化而引起的伸缩，且频率偏移小的声波元件及其制造方法。本发明的声波元件的特征在于，包括：在一个主面上形成了IDT(2)的压电基片(1)；以及，形成在上述压电基片(1)的另一个主面(1b)上，由具有比上述压电基片(1)的线膨胀系数还小的线膨胀系数的材料构成的喷镀膜(3)，其中，上述喷镀膜(3)的晶粒边界和空穴(4)中的至少一部分被填充材料(5)所填充。
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