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公开(公告)号：CN106464230A
公开(公告)日：2017-02-22
申请号：CN201580030640.X
申请日：2015-06-15
Applicant: 株式会社村田制作所
Inventor： 三村昌和
IPC: H03H9/145
CPC classification number: H03H9/14544 , H03H9/02858 , H03H9/17 , H03H9/25
Abstract: 提供利用活塞模式、能谋求小型化的弹性波装置。在弹性波装置(1)中，在IDT电极(3)的交叉区域，在IDT中央部(3A)的两侧设置低音速部(3B1、3B2)，在低音速部(3B1、3B2)的电极指方向外侧设置高音速部(3C1、3C2)。由此能利用活塞模式。高音速部(3C1、3C2)的弹性波传播方向端部的宽度比高音速部(3C1、3C2)的IDT电极(3)的弹性波传播方向中央的宽度相对窄。
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公开(公告)号：CN101789769A
公开(公告)日：2010-07-28
申请号：CN201010004674.0
申请日：2010-01-20
Applicant: 株式会社村田制作所
Inventor： 三村昌和
CPC classification number: H03H9/02669 , H03H9/0222 , H03H9/02559 , H03H9/02834 , H03H9/131
Abstract: 本发明涉及一种弹性波装置，能够改善频率温度特性，并能够充分抑制高阶模杂散。其具有：由LiNbO3构成的压电体(2)、层叠在压电体(2)上的SiO2层(6)、设置于压电体(2)和SiO2层(6)的界面的IDT电极(3)，LiNbO3的欧拉角(φ，θ，ψ)的φ以及θ分别为φ＝0°及80°≤θ≤130°，且使用以SH波为主成分的弹性波，其中，ψ处于5°≤ψ≤30°的范围内。
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公开(公告)号：CN101517893A
公开(公告)日：2009-08-26
申请号：CN200780035382.X
申请日：2007-08-31
Applicant: 株式会社村田制作所
CPC classification number: H03H9/0222 , H03H9/02559 , H03H9/14541
Abstract: 提供一种无论占空比的大小如何都能降低插入损耗的弹性边界波装置。一种弹性边界波装置(1)，其特征在于，包括：由以使Y轴旋转15°±10°的面为主面的LiNbO3构成的压电体(2)，层叠在上述压电体(2)上、由氧化硅构成的电介质(3)，及配置在上述压电体(2)和电介质(3)的边界、含IDT的电极结构(4)；在利用在该边界传播的弹性边界波的弹性边界波装置中，当设上述IDT的密度为ρ(kg/m3)、膜厚为H(μm)、由IDT的电极指的周期决定的波长为λ(μm)、占空比为x时，H/λ和ρ的乘积、与x满足下述式(1)的范围。(数1)(H/λ)× ρ＞70.7924(x+0.055)(－2.0884)+797.09…(式1)。
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公开(公告)号：CN118947061A
公开(公告)日：2024-11-12
申请号：CN202380031559.8
申请日：2023-03-29
Applicant: 株式会社村田制作所
IPC: H03H9/145
Abstract: 弹性波装置具备：支承基板，在内部具有空洞部；压电体层，设置在支承基板上；功能电极，设置在压电体层上，该功能电极的至少一部分在沿着支承基板和压电体层的层叠方向观察的俯视下与空洞部重叠；以及至少1个构造体，设置在压电体层上，热线膨胀系数比压电体层小。构造体包含如下的区域，即，位于压电体层的设置有功能电极的区域以外的区域并且在沿着层叠方向观察的俯视下不与空洞部重叠的区域。
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公开(公告)号：CN110521118B
公开(公告)日：2023-04-28
申请号：CN201880025475.2
申请日：2018-04-03
Applicant: 株式会社村田制作所
Inventor： 三村昌和
Abstract: 本发明提供一种即使在同一压电基板上设置有电极指间距不同的多个IDT电极的情况下也能够有效地抑制无用波的弹性波装置。弹性波装置(1)具备：压电基板(2)，由LiNbO3构成；以及第一电介质膜(8)(电介质膜)，设置在压电基板(2)上，使得覆盖设置在压电基板(2)上的第一IDT电极(4A)、第二IDT电极(4B)。第一IDT电极(4A)、第二IDT电极(4B)具有主电极层。将由第一IDT电极(4A)、第二IDT电极(4B)的电极指间距规定的波长设为λ1、λ2，将其平均值设为λ0，设λ1/λ0＝1+X且λ2/λ0＝1‑X，此时，0.05≤X≤0.65。波长λ1最长，波长λ2最短。压电基板(2)的欧拉角(θ，ψ)中的为0°±5°，ψ为0°±10°，θ满足式1。在式1中，B1＜T×r≤0.10λ0，且B2＜T×r≤0.10λ0。
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Patent Agency Ranking
公开(公告)号：CN115699572A
公开(公告)日：2023-02-03
申请号：CN202180037224.8
申请日：2021-05-21
Applicant: 株式会社村田制作所
Abstract: 提供一种弹性波装置，能够更加可靠地抑制构成IDT电极的Cu向压电性基板扩散。本发明的弹性波装置具备：压电性基板(2)；以及IDT电极(3)，其具有设置在压电性基板(2)上的第一层(4)以及设置在第一层(4)上且以Cu为主成分的第二层(5)，并且具有多个电极指。第一层(4)包括位于压电性基板(2)侧的第一主面(4a)以及与第二层(5)接触的第二主面(4b)。第二层(5)包括与第一层(4)接触的第三主面(5a)、与第三主面(5a)对置的第四主面(5b)以及与第三主面(5a)及第四主面(5b)连接的侧面(5c)。IDT电极(3)还具有设置于第二层(5)的侧面(5c)的阻挡层(7)(外层)。第二层(5)的侧面(5c)与阻挡层(7)的边界(A)位于第一层(4)的第二主面(4b)上，阻挡层(7)未到达压电性基板(2)上。
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公开(公告)号：CN110089030B
公开(公告)日：2023-01-06
申请号：CN201780078435.X
申请日：2017-10-17
Applicant: 株式会社村田制作所
Inventor： 三村昌和
Abstract: 本发明提供一种能够在谋求小型化的同时抑制由SH波造成的杂散、进而具有陡峭的滤波器特性并且通带宽的弹性波装置。一种弹性波装置(1)，具备：LiNbO3基板(2)；第一弹性波谐振器，具有第一IDT电极以及第一电介质膜；以及第二弹性波谐振器，具有第二IDT电极以及第二电介质膜，利用瑞利波，第一电介质膜以及第二电介质膜的厚度不同，第一弹性波谐振器以及第二弹性波谐振器中的弹性波的传播方向一致，LiNbO3基板(2)的欧拉角为(0°±5°，θ，0°±10°)的范围内，将通过由第一IDT电极以及第二IDT电极的电极指间距确定的波长λ进行了归一化的主电极的厚度设为T，将主电极的密度(ρ)与Pt的密度(ρPt)的密度比(ρ/ρPt)设为r，此时，在0.055λ≤T×r≤0.10λ的范围内，θ满足下述式(1)。‑0.033/(T×r‑0.037)+29.99≤θ≤‑0.050/(T×r‑0.043)+32.45…(1)。
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公开(公告)号：CN109428564A
公开(公告)日：2019-03-05
申请号：CN201810991653.9
申请日：2018-08-28
Applicant: 株式会社村田制作所
IPC: H03H9/25
Abstract: 本发明提供一种能够增大主模式的频率与产生杂散的频率之差的弹性波装置。弹性波装置(1)具备：支承基板(2)；声反射层(3)，具有声阻抗相对低的多个低声阻抗层(4a～4d)和声阻抗相对高的多个高声阻抗层(5a～5c)，且设置在支承基板(2)上；压电体层(6)，设置在声反射层(3)上；以及IDT电极(7)，设置在压电体层(6)上。声反射层(3)中的各层的膜厚的关系为如下关系中的至少一种关系：位于最靠压电体层(6)侧的低声阻抗层(4a)的膜厚比其它所有的低声阻抗层(4b～4d)的膜厚薄；以及位于最靠压电体层(6)侧的高声阻抗层(5a)的膜厚比其它所有的高声阻抗层(5b、5c)的膜厚薄。
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公开(公告)号：CN105284047B
公开(公告)日：2018-10-12
申请号：CN201480030215.6
申请日：2014-05-27
Applicant: 株式会社村田制作所
IPC: H03H9/145
Abstract: 提供不会招致制造工序的烦杂以及成本的上升、能有效果地压抑横模脉动的弹性波装置。在弹性波装置(1)中，在压电基板(2)上设置IDT电极(3)，在IDT电极(3)中，在第1、第2电极指(13、14)的至少一方，在比中央区域更靠基端侧以及前端侧当中至少一方侧设置相比于长度方向中央让宽度方向尺寸更大的加宽部(13a～13d、14a～14d)，第1以及第2汇流条(11、12)的至少一方具有沿着汇流条长度方向分散配置的多个开口部(15)，第1以及第2汇流条(11、12)的至少一方具有：内侧汇流条部(11A)，其位于比开口部(15)更靠第1或第2电极指(13、14)侧的位置，在第1以及第2汇流条(11、12)的长度方向上延伸；中央汇流条部(11B)，其设有开口部(15)；和外侧汇流条部(11C)。
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公开(公告)号：CN108141198A
公开(公告)日：2018-06-08
申请号：CN201680059542.3
申请日：2016-08-08
Applicant: 株式会社村田制作所
Inventor： 三村昌和
CPC classification number: H03H9/02889 , H01L41/0477 , H03H3/10 , H03H9/02559 , H03H9/02637 , H03H9/1092 , H03H9/145 , H03H9/14541 , H03H9/25
Abstract: 本发明提供一种即使在频率调整膜的膜厚发生了变化的情况下也不易产生SH波杂散的大小的变动的弹性波装置。弹性波装置(1)在LiNbO3基板(2)上设置有IDT电极(3)、电介质膜(6)以及频率调整膜(7)。LiNbO3基板(2)的欧拉角为(0°±5°的范围内，θ±1.5°的范围内，0°±10°的范围内)，IDT电极(3)具有主电极，在将主电极的用由IDT电极(3)的电极指间距决定的波长λ进行标准化而成的膜厚设为T并将主电极的材料与Pt的密度比设为r时，主电极的膜厚T和欧拉角的θ满足式(1)。式(1)：θ＝-0.05°/(T/r-0.04)+31.35°。
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