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公开(公告)号：CN104412076B
公开(公告)日：2017-06-13
申请号：CN201280074363.9
申请日：2012-06-27
Applicant: 日立汽车系统株式会社
Abstract: 本发明提供一种测量精度高的流体测量装置。该流体测量装置具有输入从第一检测元件输出的第一信号(S1)和从第二检测元件输出的第二信号(S2)的电路部，电路部具有输出与第一信号和第二信号相应的第三信号(S3)的信号处理单元、判断第一信号的状态的状态判断单元和根据状态判断单元的判断结果控制第一信号的变化给第三信号带来的变化的量的控制单元。
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公开(公告)号：CN106716077A
公开(公告)日：2017-05-24
申请号：CN201580052281.8
申请日：2015-07-24
Applicant: 日立汽车系统株式会社
IPC: G01F1/68
Abstract: 本发明提供一种能够进行自我诊断的热式流量传感器。该热式流量传感器在具备设置了用于与外部电气导通的电极焊盘并检测流量的半导体元件的热式流量传感器中，所述电极焊盘至少设置两个以上，关于与所述电极焊盘相邻接的电极焊盘，排列成为在流量检测时使用的输出范围外的电位的电极焊盘。
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公开(公告)号：CN106662477A
公开(公告)日：2017-05-10
申请号：CN201580041838.8
申请日：2015-07-01
Applicant: 日立汽车系统株式会社
IPC: G01F1/692
Abstract: 本发明的目的在于提供一种降低了因作用在物理量传感器的传感元件上的应力而产生的误差的、高精度、高可靠性的物理量传感器。本发明的物理量传感装置包括形成在Si基板上的空腔部、将所述空腔部覆盖的绝缘膜和形成于所述绝缘膜的加热部，并且包括检测所述空腔部上的绝缘膜的温度的检测元件，所述检测元件包括第一硅元件和第二硅元件，所述第一硅元件和所述第二硅元件使用不同种类的杂质进行了掺杂。
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公开(公告)号：CN105492898A
公开(公告)日：2016-04-13
申请号：CN201480047460.8
申请日：2014-02-03
Applicant: 日立汽车系统株式会社
CPC classification number: G01F1/696 , G01F1/6842 , G01F1/6845 , G01N27/18 , G01N33/0067
Abstract: 本发明的目的在于提供一种在内燃机的各种运转条件下获得良好的修正效果的气体传感器装置，为此，本发明的气体传感器装置(1)为包括测量气体的浓度的浓度传感器(4)和测量气体的压力的压力传感器(5)的气体传感器装置(1)，其设置有与空气流隔离的测量室(7)，在该测量室(7)内配置有浓度传感器(4)和压力传感器(5)，且所述气体传感器装置(1)设置有利用压力传感器(5)的信号来调整浓度传感器(4)的信号的处理电路部(14)。优选为在该处理电路部(14)中设置使压力传感器的检测信号的响应速度接近浓度传感器的检测信号的响应速度的响应速度调整部。
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公开(公告)号：CN103052866B
公开(公告)日：2015-09-30
申请号：CN201180038125.8
申请日：2011-09-06
Applicant: 日立汽车系统株式会社
IPC: G01F1/692
CPC classification number: G01F1/69 , G01F1/6845 , G01F1/692
Abstract: 本发明的目的在于提供，减小因空气流的流动方向的微小的变化造成的传感器元件的检测灵敏度的变化，小型且高精度的热式流量传感器。本发明的实施方式的热式流量传感器，具有：在半导体衬底（1）上形成的空洞部（2）、以覆盖上述空洞部（2）的方式形成的电气绝缘膜、在上述电气绝缘膜上形成的发热电阻体（4）、在上述发热电阻体的附近形成的热敏电阻体、在上述半导体衬底的边缘部处与边缘基本并行地配置的由导电体构成的电极部（11）、以及把上述电极部和上述发热电阻体电气连接的布线部（5），基于被测流体和上述热敏电阻体的传热量检测被测流体的流量，其中：调整上述热电阻，以使得由上述发热电阻体的上述电极部侧的一边和上述空洞部的上述电极部侧的一边构成的第1区域的热电阻、与由上述发热电阻体的与一边对置的另一边和上述空洞部的与一边对置的另一边构成的第2区域的热电阻基本相等。
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Patent Agency Ranking
公开(公告)号：CN104487806A
公开(公告)日：2015-04-01
申请号：CN201380039276.4
申请日：2013-06-26
Applicant: 日立汽车系统株式会社
IPC: G01D5/12 , G01L9/00 , G01L19/12 , G01R19/165
CPC classification number: G01R19/16538 , G01L9/00 , G01L19/12 , G01L27/007 , G01R19/165 , G01R31/2829
Abstract: 在现有的传感器件中，存在当电源线、接地线断开时传感器件的输出电压不固定为电源电压或接地电位而固定在中间电位的问题。本发明的传感器件(1)包括：由电压(Vsen)根据检测物理量而变化的检测元件(8)、MOS开关(4～6、7、9、10、12～17)、电容器(2、11、18)、运算放大器(19)、基准电压源(20)和输出NMOS晶体管(21)构成的输出电路；配置在输出电路的负反馈部的MOS开关(4)与电容器(2)的串联电路；和将MOS开关(4)的阱电极与电源端子(Vcc)连接的二极管(3)。
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公开(公告)号：CN104412076A
公开(公告)日：2015-03-11
申请号：CN201280074363.9
申请日：2012-06-27
Applicant: 日立汽车系统株式会社
Abstract: 本发明提供一种测量精度高的流体测量装置。该流体测量装置具有输入从第一检测元件输出的第一信号(S1)和从第二检测元件输出的第二信号(S2)的电路部，电路部具有输出与第一信号和第二信号相应的第三信号(S3)的信号处理单元、判断第一信号的状态的状态判断单元和根据状态判断单元的判断结果控制第一信号的变化给第三信号带来的变化的量的控制单元。
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公开(公告)号：CN104053972A
公开(公告)日：2014-09-17
申请号：CN201280067577.3
申请日：2012-01-18
Applicant: 日立汽车系统株式会社
IPC: G01F1/684
CPC classification number: G01F1/692 , G01F1/6842 , G01F1/696 , G01F5/00 , G01F15/00
Abstract: 本发明提供减少了传感器元件的污损的热式流量计。该热式流量计具有：传感器元件，其在形成于基板的隔膜上设置有薄膜部，并具备形成于上述薄膜部的发热电阻体；用于设置上述传感器元件的支承部件；和副通路，在其中配置上述支承部件的一部分，将在吸气管路流动的吸入气体的一部分取入，该热式流量计具有引导部件，在令沿在上述副通路内流动的空气流从上述薄膜部上通过的直线为L时，该引导部件设置于上述L上的上述支承部件或上述传感器元件，使沿上述支承部件或上述传感器元件的表面与空气流一起飞来的微小颗粒流向远离上述L的方向。
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公开(公告)号：CN103052866A
公开(公告)日：2013-04-17
申请号：CN201180038125.8
申请日：2011-09-06
Applicant: 日立汽车系统株式会社
IPC: G01F1/692
CPC classification number: G01F1/69 , G01F1/6845 , G01F1/692
Abstract: 本发明的目的在于提供，减小因空气流的流动方向的微小的变化造成的传感器元件的检测灵敏度的变化，小型且高精度的热式流量传感器。本发明的实施方式的热式流量传感器，具有：在半导体衬底（1）上形成的空洞部（2）、以覆盖上述空洞部（2）的方式形成的电气绝缘膜、在上述电气绝缘膜上形成的发热电阻体（4）、在上述发热电阻体的附近形成的热敏电阻体、在上述半导体衬底的边缘部处与边缘基本并行地配置的由导电体构成的电极部（11）、以及把上述电极部和上述发热电阻体电气连接的布线部（5），基于被测流体和上述热敏电阻体的传热量检测被测流体的流量，其中：调整上述热电阻，以使得由上述发热电阻体的上述电极部侧的一边和上述空洞部的上述电极部侧的一边构成的第1区域的热电阻、与由上述发热电阻体的与一边对置的另一边和上述空洞部的与一边对置的另一边构成的第2区域的热电阻基本相等。
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公开(公告)号：CN102959411A
公开(公告)日：2013-03-06
申请号：CN201180030636.5
申请日：2011-06-21
Applicant: 日立汽车系统株式会社
CPC classification number: G01R31/02 , G01D3/08 , G01R31/026 , G01R31/2829
Abstract: 在现有技术的桥电路的断路检测电路中，对桥输出的补偿电压和温度特性恶化的情形缺乏考虑。本发明所要解决的技术问题是提供一种将传感器的特性变化抑制到微小的桥电路的断路检测电路。本发明的桥电路的断路检测电路（8a）由从桥电路的输出端子向预定的电位流过电流的通电单元（9、10）；检测出所述桥电路的输出端子的电位和所述预定电位的电位差的电位差检测单元（12、13）和根据所述电位差检测单元的输出来检测断路的断路检测单元（14）构成（参考图1）。
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