半导体装置的制造方法
    22.
    发明公开

    公开(公告)号:CN110036472A

    公开(公告)日:2019-07-19

    申请号:CN201780075387.9

    申请日:2017-12-06

    Abstract: 本发明的半导体装置的制造方法具备:在包含热固化性树脂组合物的热固化性树脂膜上,将1个以上具有能动面的半导体元件以热固化性树脂膜与半导体元件的能动面接触的方式进行配置的工序(I);将配置在热固化性树脂膜上的半导体元件用半导体密封用部件进行密封的工序(II);在工序(II)之后,对热固化性树脂膜或其固化物设置达到半导体元件的能动面为止的开口的工序(III);以及,向开口填充导体或者在开口的内侧形成导体层的工序(IV)。

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