半导体晶片加工用压敏粘合片
    21.
    发明公开

    公开(公告)号:CN115572552A

    公开(公告)日:2023-01-06

    申请号:CN202210722864.9

    申请日:2022-06-21

    Abstract: 本发明涉及半导体晶片加工用压敏粘合片。提供一种半导体晶片加工用压敏粘合片,其与半导体晶片的密合性优异,并且其具有轻剥离性并且可以抑制残胶。根据本发明的至少一个实施方案的半导体晶片加工用压敏粘合片依次包括:基材;中间层;和紫外线固化型压敏粘合剂层,其中所述中间层的室温下的储能弹性模量G′1RT为300kPa~2,000kPa,并且80℃下的储能弹性模量G′180为10kPa~500kPa,其中所述紫外线固化型压敏粘合剂层的室温下的储能弹性模量G′2RT为100kPa~1,000kPa,并且80℃下的储能弹性模量G′280为10kPa~1,000kPa,并且其中G′1RT/G′2RT为1以上。

    半导体加工用粘合片
    23.
    发明公开

    公开(公告)号:CN112980344A

    公开(公告)日:2021-06-18

    申请号:CN202011462347.X

    申请日:2020-12-11

    Abstract: 本发明的课题在于提供也适合于包含高温工艺的使用方式的半导体加工用粘合片。本发明的解决手段是提供包含构成粘合面的粘合剂层的半导体加工用粘合片。对于上述半导体加工用粘合片而言,一个方式中,常规剥离力Fda2为0.50N/20mm以下,所述常规剥离力Fda2利用以下方法测定:将上述粘合面贴附于硅晶片,进行175℃下、15分钟的加热处理及累积光量为1000mJ/cm2的紫外线照射处理后,在拉伸速度为300mm/分钟、剥离角度为180度的条件下测定剥离强度。

    背面研磨带
    24.
    发明公开

    公开(公告)号:CN111716242A

    公开(公告)日:2020-09-29

    申请号:CN202010182172.0

    申请日:2020-03-16

    Inventor: 河野广希

    Abstract: 本发明涉及背面研磨带。提供一种耐热性优异并且即使在高真空和高温工艺中也可以适宜地使用的背面研磨带。背面研磨带包括:基材;和在所述基材的一面上形成的压敏粘合剂层。基材的弯曲刚性为0.2N·mm2以上,在400nm波长下的透光率为10%以上,并且构成基材的树脂的熔点为200℃以上。

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