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公开(公告)号:CN114728400A
公开(公告)日:2022-07-08
申请号:CN202080078652.0
申请日:2020-09-10
Applicant: 应用材料公司
Inventor: 阿图尔·巴斯卡尔·乔达里 , 斯瓦帕基亚·甘纳塔皮亚潘 , 斯罗博纳·森
IPC: B24B37/24
Abstract: 一种用于抛光垫的抛光层的增材制造的系统、配方和方法。所述配方包括基于双官能多元醇或双官能多硫醇的聚氨酯丙烯酸酯低聚物。所述技术包括选择所述双官能多元醇或所述双官能多硫醇以影响所述抛光层的性质。所述配方还包括单体和光敏引发剂。所述配方的黏度适用于所述抛光层的3D打印。
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公开(公告)号:CN113677481A
公开(公告)日:2021-11-19
申请号:CN202080027320.X
申请日:2020-03-10
Applicant: 应用材料公司
Inventor: 乌马·斯利德哈尔 , 斯瓦帕基亚·甘纳塔皮亚潘 , 阿什温·乔卡林格 , 骆英东 , 丹尼尔·雷德菲尔德 , 拉杰夫·巴贾 , 奈格·B·帕蒂班德拉 , 胡·T·额 , 苏达卡尔·马杜苏达南
IPC: B24B37/24 , B24D18/00 , B29C64/112 , B33Y10/00 , B33Y70/00
Abstract: 提供了抛光制品以及制造在抛光工艺及清洁工艺中使用的抛光制品的方法。更具体而言,本文披露的实施方式涉及具有可调性质(诸如亲水性及zeta电位)的复合抛光制品。由UV可固化丙烯酸化学试剂构成的3D打印的化学机械平坦化(CMP)垫通常本质上是疏水的。此种疏水行为影响基于磨料的抛光浆料(诸如基于二氧化铈的浆料)的润湿性质。然而,为了增加平坦化及移除速率同时减少缺陷,亲水垫是较佳的。此外,在不同pH值下,期望垫的zeta电位(Zp)可在宽的条件范围中调谐。本公开内容的实施方式包括用阴离子添加剂来增加亲水性及调谐垫的Zp的方法以及使用这些方法产生的垫。
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公开(公告)号:CN109314106A
公开(公告)日:2019-02-05
申请号:CN201780037396.9
申请日:2017-06-15
Applicant: 应用材料公司
Inventor: 朱明伟 , 斯瓦帕基亚·甘纳塔皮亚潘 , 付博义 , 胡·T·额 , 奈格·B·帕蒂班德拉
IPC: H01L25/075 , H01L21/677
Abstract: 一种用于在基板上定位微装置的设备包括:一个或更多个支撑件,所述一个或更多个支撑件用于保持供体基板和目标基板;粘合剂分配器,所述粘合剂分配器用于输送粘合剂于供体基板上的微装置上;传送装置,所述传送装置包括传送表面以从供体基板传送微装置至目标基板;和控制器。控制器被配置为操作粘合剂分配器,以基于目标基板上的选择的微装置的所需间隔,选择性地分配粘合剂至供体基板上的所选择的微装置上。控制器被配置为操作传送装置,使得传送表面在供体基板上接合粘合剂,造成所选择的微装置粘附至传送表面,且接着传送表面从供体基板传送所选择的微装置至目标基板。
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公开(公告)号:CN119949054A
公开(公告)日:2025-05-06
申请号:CN202380068452.0
申请日:2023-09-22
Applicant: 应用材料公司
Inventor: 浩·T·黄 , 奈格·B·帕蒂班德拉 , 李志勇 , 朱鸣伟 , 斯瓦帕基亚·甘纳塔皮亚潘 , 孙健峰 , 刘培文
IPC: H10H20/851 , H10H29/30 , H01L25/075 , H10H20/857 , H10H20/855
Abstract: 本文提供了用于多色显示器的颜色转换阵列。所述颜色转换阵列包括:多个特征,每个特征具有基部和远侧端部;以及多个阱。每个阱被限定在所述多个特征中的一者或多者内。第一颜色转换层设置在所述多个阱中的第一阱内,以将第一照射转换为第一颜色的光。第二颜色转换层设置在所述多个阱中的第二阱内,以将第二照射转换为第二颜色的光。所述阵列的第一主表面或第二主表面被配置为耦接到背板。
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公开(公告)号:CN119054077A
公开(公告)日:2024-11-29
申请号:CN202380035073.1
申请日:2023-04-13
Applicant: 应用材料公司
Inventor: 斯瓦帕基亚·甘纳塔皮亚潘 , 库兰代韦鲁·西瓦南丹 , 徐立松 , 朱明伟 , 黄浩智 , 奈格·帕蒂班德拉
IPC: H01L25/075 , H01L33/50 , H01L33/12 , H01L33/58
Abstract: 示例性装置结构可以包括发光二极管结构。发光二极管结构可操作以产生光。结构可以包括光致发光区域,光致发光区域含有光致发光材料。光致发光区域可以位于发光二极管结构上。结构可以包括位于光致发光区域上方的紫外光(UV)滤光器。紫外光滤光器可操作以吸收由发光二极管结构产生的光,此光的特征在于小于或约为430nm的发射波长。
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公开(公告)号:CN117178377A
公开(公告)日:2023-12-05
申请号:CN202280027514.9
申请日:2022-03-08
Applicant: 应用材料公司
Inventor: 浩·T·黄 , 奈格·帕蒂班德拉 , 乌马·斯利德哈尔 , 斯瓦帕基亚·甘纳塔皮亚潘 , 朱鸣伟
IPC: H01L33/00
Abstract: 在背板上形成LED结构的范例处理方法可包括将第一转移基板与LED来源基板耦合。LED来源基板可包括多个经制造LED。可以用在第一转移基板与多个经制造LED的每个LED之间延伸的第一耦合材料来产生第一转移基板的耦合。此方法可包括从LED分离LED来源基板。此方法可包括将第二转移基板与第一转移基板耦合。可以在第二转移基板与多个经制造LED的每个LED之间延伸的第二耦合材料来产生第一转移基板的耦合。此方法可包括从第二转移基板分离第一转移基板。此方法可包括将多个经制造LED与显示器背板接合。
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公开(公告)号:CN116372799A
公开(公告)日:2023-07-04
申请号:CN202211653820.1
申请日:2019-03-29
Applicant: 应用材料公司
Inventor: 阿什温·乔卡林格 , 杰森·G·冯 , 斯瓦帕基亚·甘纳塔皮亚潘 , 拉杰夫·巴贾 , 丹尼尔·雷德菲尔德
Abstract: 本公开内容的实施方式一般涉及抛光垫和制造抛光垫的方法,其可以被使用于半导体装置制造中的化学机械抛光(CMP)工艺。本文所述的抛光垫的特征在于抛光垫材料的连续聚合物相,所述抛光垫材料的连续聚合物相包括一或多个第一材料域和多个第二材料域。所述一或多个第一材料域由第一预聚物组合物的聚合反应产物形成,所述多个第二材料域由第二预聚物组合物的聚合反应产物形成,该第二预聚物组合物与第一预聚物组合物不同,并且一或多个第一材料域和多个第二材料之间的界面区域由第一预聚物组合物和第二预聚物组合物的共聚合反应产物所形成。
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公开(公告)号:CN112384330B
公开(公告)日:2022-12-30
申请号:CN201980044800.4
申请日:2019-03-29
Applicant: 应用材料公司
Inventor: 阿什温·乔卡林格 , 杰森·G·冯 , 斯瓦帕基亚·甘纳塔皮亚潘 , 拉杰夫·巴贾 , 丹尼尔·雷德菲尔德
Abstract: 本公开内容的实施方式一般涉及抛光垫和制造抛光垫的方法,其可以被使用于半导体装置制造中的化学机械抛光(CMP)工艺。本文所述的抛光垫的特征在于抛光垫材料的连续聚合物相,所述抛光垫材料的连续聚合物相包括一或多个第一材料域和多个第二材料域。所述一或多个第一材料域由第一预聚物组合物的聚合反应产物形成,所述多个第二材料域由第二预聚物组合物的聚合反应产物形成,该第二预聚物组合物与第一预聚物组合物不同,并且一或多个第一材料域和多个第二材料之间的界面区域由第一预聚物组合物和第二预聚物组合物的共聚合反应产物所形成。
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公开(公告)号:CN114502324A
公开(公告)日:2022-05-13
申请号:CN202080069546.6
申请日:2020-08-18
Applicant: 应用材料公司
Inventor: 骆英东 , 斯瓦帕基亚·甘纳塔皮亚潘 , 阿什温·穆鲁加潘·乔卡林加姆 , 张代化 , 乌马·斯利德哈尔 , 丹尼尔·雷德菲尔德 , 拉杰夫·巴贾 , 奈格·B·帕蒂班德拉 , 胡·T·额 , 苏达卡尔·马杜苏达南
IPC: B24B37/24 , B29C64/112 , B33Y10/00 , B33Y40/10 , B33Y70/10 , B33Y80/00 , C09D11/101 , C09D11/104 , C09D11/107 , C09D11/322 , C09K3/14 , B29K33/00 , B29K509/02 , B29L31/00
Abstract: 用于抛光垫的增材制造的配方、系统与方法。配方包括单体、分散剂与纳米颗粒。制备配方的方法包括以下步骤:将是聚酯衍生物的分散剂添加至单体、将金属‑氧化物纳米颗粒添加至单体并使具有纳米颗粒与分散剂的单体接受声波处理以将纳米颗粒分散在单体中。
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公开(公告)号:CN114175285A
公开(公告)日:2022-03-11
申请号:CN202080036820.X
申请日:2020-05-15
Applicant: 应用材料公司
Inventor: 张代化 , 骆英东 , 朱明伟 , 胡·T·额 , 斯瓦帕基亚·甘纳塔皮亚潘 , 纳格·B·帕蒂班德拉
IPC: H01L33/50 , H01L33/00 , H01L33/32 , H01L25/075 , H01L27/15
Abstract: 一种制作多色彩显示器的方法,包括在显示器上方分配光可固化流体,显示器具有LED的阵列,LED的阵列设置于覆盖层下方。覆盖物具有带有复数个凹槽的外部表面,且光可固化流体填充凹槽。光可固化流体包括色彩转换剂。启动阵列中的复数个LED,以照射且固化光可固化流体,以在凹槽中于启动的LED上方形成色彩转换层。此层将来自这些LED的光转换成第一色彩的光。移除光可固化流体的未固化的剩余物。接着,以具有不同色彩转换剂的不同的光可固化流体和不同的复数个LED重复该工艺。此举在不同的复数个凹槽中形成第二色彩转换层,以将来自这些LED的光转换成第二色彩的光。
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