公开(公告)号：CN114630853A

公开(公告)日：2022-06-14

申请号：CN202080074378.X

申请日：2020-09-10

Applicant: 应用材料公司

Inventor： 阿图尔·巴斯卡尔·乔达里 ,  斯瓦帕基亚·甘纳塔皮亚潘 ,  斯罗博纳·森

IPC: C08G18/76 ,  C08G18/75 ,  C08G18/73 ,  C08G18/67 ,  C08G18/48 ,  C08G18/44 ,  C08G18/42 ,  C08G18/38 ,  C08F290/06 ,  C08F220/18 ,  B24B37/24 ,  B33Y70/00 ,  B33Y70/10

Abstract: 一种用于抛光垫的抛光层的增材制造的系统、配方和方法。所述配方包括基于双官能多元醇或双官能多硫醇的聚氨酯丙烯酸酯低聚物。所述技术包括选择所述双官能多元醇或所述双官能多硫醇以影响所述抛光层的性质。所述配方还包括单体和光敏引发剂。所述配方的黏度适用于所述抛光层的3D打印。

公开(公告)号：CN114728400A

公开(公告)日：2022-07-08

申请号：CN202080078652.0

申请日：2020-09-10

Applicant: 应用材料公司

Inventor： 阿图尔·巴斯卡尔·乔达里 ,  斯瓦帕基亚·甘纳塔皮亚潘 ,  斯罗博纳·森

IPC: B24B37/24

Abstract: 一种用于抛光垫的抛光层的增材制造的系统、配方和方法。所述配方包括基于双官能多元醇或双官能多硫醇的聚氨酯丙烯酸酯低聚物。所述技术包括选择所述双官能多元醇或所述双官能多硫醇以影响所述抛光层的性质。所述配方还包括单体和光敏引发剂。所述配方的黏度适用于所述抛光层的3D打印。