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公开(公告)号：CN115039214A
公开(公告)日：2022-09-09
申请号：CN202080095175.9
申请日：2020-10-07
Applicant: 川崎重工业株式会社 , 川崎机器人(美国)有限公司
Inventor： 吉田雅也 , 阿维什·阿肖克·巴尔瓦尼 , 曾铭 , 西蒙·杰亚普兰 , 中原一
IPC: H01L21/677
Abstract: 本发明的基板搬运装置(1)具备：机器人(10)，其具备保持基板(W)的手(12)、和使手(12)移动的臂(11)；机器人控制装置(15)，其设定手(12)的移动路径(T)，并控制臂(11)以使得手(12)在移动路径(T)上朝向目标位置(Py)移动；以及照相机(6)，其配置成能够对位于规定的确认位置(Px)的手(12)所保持的基板(W)进行拍摄，机器人控制装置(15)以通过确认位置(Px)的方式设定移动路径(T)，取得在手(12)位于确认位置(Px)时照相机(6)所拍摄到的图像(G)，计算图像(G)中拍到的基板(W)与规定的环境的距离，并基于距离来计算基板(W)的从基准位置(S)起的位置偏移量(L)。
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公开(公告)号：CN114830320A
公开(公告)日：2022-07-29
申请号：CN202080085828.5
申请日：2020-12-04
Applicant: 川崎重工业株式会社
IPC: H01L21/677 , B25J13/08 , B25J19/06 , G06T13/40
Abstract: 一种影像确认计算机，其用於确认与机器人的动作相关的影像，该影像确认计算机具备存储部和运算部。所述存储部存储从所述机器人的控制器接收的电动机的位置信息和影像信息，该电动机用于驱动所述机器人的连杆体，该影像信息通过安装在所述机器人上的照相机获取。运算部使模型区域以及影像区域并排显示在本机以及连接于本机的计算机中的至少任一个上。在所述模型区域中，通过计算机绘图显示再现所述机器人的姿势的二维或三维的模型。在所述影像区域显示所述影像。
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公开(公告)号：CN113226664A
公开(公告)日：2021-08-06
申请号：CN201980086637.8
申请日：2019-12-19
Applicant: 川崎重工业株式会社 , 川崎机器人(美国)有限公司
IPC: B25J9/10 , H01L21/677
Abstract: 本发明的机器人的位置修正方法具备如下步骤，即：使上述臂部绕上述第一轴旋转，检测上述目标物遮挡上述检测光时的绕上述第一轴的旋转角，并基于该检测结果使上述臂部以及/或者上述手部绕上述第一轴、上述第二轴以及/或者上述第三轴旋转，由此将上述第一轴、上述第三轴以及上述目标物定位到同一直线上的修正步骤；以及基于以上述第一姿势在上述修正步骤后取得的上述各旋转轴的旋转角，来求出上述第二轴以及上述第三轴的旋转角修正量的修正量运算步骤。
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公开(公告)号：CN113226660A
公开(公告)日：2021-08-06
申请号：CN201980085153.1
申请日：2019-12-19
Applicant: 川崎重工业株式会社 , 川崎机器人(美国)有限公司
IPC: B25J9/06 , H01L21/677
Abstract: 本发明的位置修正方法具备如下步骤，即：通过以使手部成为预先决定的第一初始姿势的方式使上述手部移动，从而使上述手部与目标物对置的步骤；摆动手部来检测上述目标物遮挡上述检测光时的上述旋转轴的旋转角的第一位置检测步骤；通过以使手部成为预先决定的第二初始姿势的方式使上述手部移动，从而使上述手部与目标物对置的步骤；摆动上述手部来检测上述目标物遮挡上述检测光时的上述旋转轴的旋转角的第二位置检测步骤；以及基于以上述第一初始姿势取得的目标物的位置、与以上述第二初始姿势取得的目标物的位置之差，求出上述第二轴以及上述第三轴的旋转角修正量的修正量运算步骤。
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公开(公告)号：CN107155370B
公开(公告)日：2020-07-31
申请号：CN201480084382.9
申请日：2014-12-26
Applicant: 川崎重工业株式会社
Abstract: 控制装置（3）具备控制器（33），控制器（33）在劣化指标参数的值超过预先设定的阈值时使搬送机构（5）停止，且基于劣化指标参数的值的时间序列的变化模式，判定劣化指标参数值超过阈值是否是因搬送机构（5）的老化引起，在判定为劣化指标参数值超过阈值是因搬送机构（5）的老化引起的情况下，使搬送机构（5）降低动作速度地动作。
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Patent Agency Ranking
公开(公告)号：CN108604563A
公开(公告)日：2018-09-28
申请号：CN201680073320.7
申请日：2016-12-13
Applicant: 川崎重工业株式会社 , 川崎机器人(美国)公司
IPC: H01L21/677
Abstract: 本发明的衬底搬送机器人(1)具备：末端执行器(7)，设置在机器臂(4)，且具有保持衬底(S)的衬底保持机构(13)；臂驱动机构(9、10、11)，驱动机器臂(4)；机器人控制机构(12)，控制臂驱动机构；以及保持力检测机构(33)，检测衬底保持机构的衬底保持力。机器人控制机构(12)构成为基于根据由保持力检测机构(33)检测出的衬底保持力而决定的末端执行器(7)的加速度及速度的至少一者的上限值，而控制臂驱动机构(9、10、11)。本发明即使在末端执行器的衬底的保持力下降的情况下，无论衬底有无位置偏移，均能够一边继续进行衬底搬送动作，一边确实地防止衬底的位置偏移或坠落。
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公开(公告)号：CN113853280B
公开(公告)日：2024-04-30
申请号：CN202080030816.2
申请日：2020-07-09
Applicant: 川崎重工业株式会社
Abstract: 一种机器人控制装置，用于对保持基板并进行搬运的机器人的动作进行控制，其特征在于，在末端执行器位于比载置位置靠上方的第1示教点时，成为末端执行器保持基板而在载置位置未载置基板的第1状态，在末端执行器位于比载置位置靠下方的第2示教点时，成为末端执行器不保持基板而在载置位置载置基板的第2状态，通过使机器人进行末端执行器从第1及第2示教点中的任意一个移动到任意另一个的第1动作，从而能够在第1状态与第2状态之间进行切换，在第1动作的中途，不进行末端执行器是否通过了载置位置的判断，且不使末端执行器停止。
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公开(公告)号：CN113226664B
公开(公告)日：2024-01-09
申请号：CN201980086637.8
申请日：2019-12-19
Applicant: 川崎重工业株式会社 , 川崎机器人(美国)有限公司
IPC: B25J9/10 , H01L21/677
Abstract: 本发明的机器人的位置修正方法具备如下步骤，即：使上述臂部绕上述第一轴旋转，检测上述目标物遮挡上述检测光时的绕上述第一轴的旋转角，并基于该检测结果使上述臂部以及/或者上述手部绕上述第一轴、上述第二轴以及/或者上述第三轴旋转，由此将上述第一轴、上述第三轴以及上述目标物定位到同一直线上的修正步骤；以及基于以上述第一姿势在上述修正步骤后取得的上述各旋转轴的旋转角，来求出上述第二轴以及上述第三轴的旋转角修正量的修正量运算步骤。
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公开(公告)号：CN111052339B
公开(公告)日：2023-09-19
申请号：CN201880060082.5
申请日：2018-07-30
Applicant: 川崎重工业株式会社
IPC: H01L21/677 , B25J13/08 , B65G49/07 , H01L21/68
Abstract: 在基板载置部的多个旋转位置上，用物体检测传感器检测设置于基板载置部的目标，求出从机器人基准轴至目标的与轴心方向正交的方向的距离即指标长度或与其相关的信息，基于求得的指标长度或与其相关的信息，求出检测到位于连结机器人基准轴与旋转轴的直线上的目标时的，检测线的以机器人基准轴为旋转中心的旋转位置及基板载置部的以旋转轴为中心的旋转位置的至少一方的旋转位置，基于求得的旋转位置，对从机器人基准轴观察到的旋转轴所在的方向进行特定。
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公开(公告)号：CN114025925A
公开(公告)日：2022-02-08
申请号：CN202080046702.7
申请日：2020-04-03
Applicant: 川崎重工业株式会社
Abstract: 基板扫描映射装置(4)对收容有沿规定的排列方向排列的多个基板(10)的容器内的基板(10)进行扫描映射。该基板扫描映射装置(4)具备：传感器(16)，其检测基板(10)的状态；操作器(14)，其使传感器(16)移动；以及控制装置(18)，其控制操作器(14)来使传感器(16)沿着扫描映射路径移动。控制装置(18)对在基板(10)的排列方向上位置不同的第一扫描映射位置和第二扫描映射位置进行设定，并使用第一扫描映射位置和第二扫描映射位置来设定扫描映射路径。
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