用于氢气制造用过滤器的薄膜支持基板及氢气制造用过滤器制造方法

    公开(公告)号:CN101318110B

    公开(公告)日:2011-06-08

    申请号:CN200810110282.5

    申请日:2003-07-23

    Abstract: 一种氢气制造用过滤器的制造方法,包括:给具有多个贯通孔的导电性基体材料的该贯通孔中填充树脂部件的填充工序;在所述导电性基体材料的一个面上,通过无电解电镀及真空成膜法中的任何一种,使Pd合金膜成膜,形成导电性基底层的基底形成工序;在所述导电性基底层上通过电镀形成Pd合金膜的膜形成工序;以及只溶解所述树脂部件将其除去的除去工序。因此,可制造出用于燃料电池的改性器的、可稳定地进行高纯度氢气气体的生产的氢气制造用过滤器。

    氢气制造用过滤器制造方法

    公开(公告)号:CN100467102C

    公开(公告)日:2009-03-11

    申请号:CN200510003379.2

    申请日:2003-07-23

    Abstract: 在贯通孔堵塞工序中,利用磁铁把金属板附设在具有多个贯通孔的导电性基体材料的一个面上,在镀铜工序中,从没有附设金属板的导电性基体材料面的一侧,在导电性基体材料上和暴露在贯通孔内的金属板上形成镀铜层,填补贯通孔,在膜形成工序中,通过电镀在除去金属板后的导电性基体材料上形成Pd合金膜,在除去工序中,通过选择性蚀刻除去镀铜层。因此,可制造出用于燃料电池的改性器的、可稳定地进行高纯度氢气气体的生产的氢气制造用过滤器。

    用于氢气制造用过滤器的薄膜支持基板及氢气制造用过滤器制造方法

    公开(公告)号:CN101318110A

    公开(公告)日:2008-12-10

    申请号:CN200810110282.5

    申请日:2003-07-23

    Abstract: 一种氢气制造用过滤器的制造方法,包括:给具有多个贯通孔的导电性基体材料的该贯通孔中填充树脂部件的填充工序;在所述导电性基体材料的一个面上,通过无电解电镀及真空成膜法中的任何一种,使Pd合金膜成膜,形成导电性基底层的基底形成工序;在所述导电性基底层上通过电镀形成Pd合金膜的膜形成工序;以及只溶解所述树脂部件将其除去的除去工序。因此,可制造出用于燃料电池的改性器的、可稳定地进行高纯度氢气气体的生产的氢气制造用过滤器。

    采用湿蚀刻的电子部件的制造方法

    公开(公告)号:CN1385756A

    公开(公告)日:2002-12-18

    申请号:CN02119271.5

    申请日:2002-03-29

    Abstract: 本发明提供一种制造方法,在通过湿蚀刻由导电性无机物层-绝缘层-导电性无机物层构成的叠层体或导电性无机物层-绝缘层构成的叠层体的绝缘层来制造电子部件时,成本低,无须使用废弃处理中存在问题的有机溶剂,来制造电子部件。涉及一种电子部件的制造方法,通过湿蚀刻由导电性无机物层-绝缘层-导电性无机物层构成的叠层体或导电性无机物层-绝缘层构成的叠层体来进行导电性无机物层的布图,之后通过湿蚀刻来进行绝缘层的布图。该叠层体中的绝缘层可进行湿蚀刻,为单层结构或两层以上的绝缘单元层的叠层结构,包括使用感光胶膜通过该湿蚀刻来进行绝缘层的布图。

    用于氢气制造用过滤器的薄膜支持基板及氢气制造用过滤器制造方法

    公开(公告)号:CN101337166A

    公开(公告)日:2009-01-07

    申请号:CN200810110280.6

    申请日:2003-07-23

    Abstract: 一种氢气制造用过滤器的制造方法,过滤器使用的薄膜支持基板包括:金属基板;在金属基板一面上的多个柱状凸部;及在柱状凸部的非形成部位贯通金属基板地形成的多个贯通孔,柱状凸部的非形成部位的面积占柱状凸部形成面侧面积的20~90%的范围。该制造方法包括:在薄膜支持基板的形成柱状凸部的面上形成树脂层,将贯通孔的内部填补并覆盖柱状凸部的树脂层形成工序;把树脂层平坦地除去使柱状凸部的上端面露出并与上端面构成同一平面的平坦化工序;在柱状凸部的上端面及树脂层构成的平坦面上用无电解及真空成膜法中的任一种,形成导电性基底层的基底层形成工序;在导电性基底层上用电镀形成Pd合金膜的膜形成工序;及只溶解树脂层并除去的除去工序。

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