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公开(公告)号:CN101337166B
公开(公告)日:2011-07-06
申请号:CN200810110280.6
申请日:2003-07-23
Applicant: 大日本印刷株式会社
IPC: B01D71/02
Abstract: 一种氢气制造用过滤器制造方法,过滤器使用的薄膜支持基板包括:金属基板;在金属基板一面上的多个柱状凸部;及在柱状凸部的非形成部位贯通金属基板地形成的多个贯通孔,柱状凸部的非形成部位的面积占柱状凸部形成面侧面积的20~90%的范围。该制造方法包括:在薄膜支持基板的形成柱状凸部的面上形成树脂层,将贯通孔的内部填补并覆盖柱状凸部的树脂层形成工序;把树脂层平坦地除去使柱状凸部的上端面露出并与上端面构成同一平面的平坦化工序;在柱状凸部的上端面及树脂层构成的平坦面上用无电解及真空成膜法中的任一种,形成导电性基底层的基底层形成工序;在导电性基底层上用电镀形成Pd合金膜的膜形成工序;及只溶解树脂层并除去的除去工序。
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公开(公告)号:CN101422704A
公开(公告)日:2009-05-06
申请号:CN200810131734.8
申请日:2003-07-23
Applicant: 大日本印刷株式会社
IPC: B01D71/02
Abstract: 一种氢气制造用过滤器的制造方法,是使用薄膜支持基板的氢气制造用过滤器的制造方法,其特征是,薄膜支持基板包括:金属基板;在该金属基板的一个面上形成的多个柱状凸部;及在该柱状凸部的非形成部位以贯通金属基板的方式形成的多个贯通孔,并且,柱状凸部的非形成部位的面积占柱状凸部形成面侧面积的20%~90%的范围,氢气制造用过滤器的制造方法包括:在薄膜支持基板的形成柱状凸部的面的相反一侧的面上,配设绝缘性薄膜的配设工序;在薄膜支持基板的形成柱状凸部的面上形成镀铜层,将贯通孔的内部填补并覆盖柱状凸部的镀铜工序;把镀铜层平坦地除去,使柱状凸部的上端面露出,并与该上端面构成相同的同一平面的平坦化工序;通过电镀在柱状凸部的上端与镀铜层构成的平坦面上形成Pd合金膜的膜形成工序;及在除去绝缘性薄膜后,通过选择性蚀刻除去镀铜层的除去工序。因此,可制造出用于燃料电池的改性器的、可稳定地进行高纯度氢气气体的生产的氢气制造用过滤器。
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公开(公告)号:CN101337167A
公开(公告)日:2009-01-07
申请号:CN200810110281.0
申请日:2003-07-23
Applicant: 大日本印刷株式会社
IPC: B01D71/02
Abstract: 一种氢气制造用过滤器的制造方法,过滤器使用的薄膜支持基板包括:金属基板;在该金属基板的一个面上形成的多个柱状凸部;及在柱状凸部的非形成部位贯通金属基板地形成的多个贯通孔,柱状凸部的非形成部位的面积占柱状凸部形成面侧面积的20%~90%的范围。该制造方法包括:在相对于薄膜支持基板可选择性地进行蚀刻的金属基体材料的一个面上,通过电镀形成Pd合金膜的膜形成工序;在薄膜支持基板的形成柱状凸部的面上,通过把Pd合金膜与柱状凸部的上端面扩散接合,配设金属基体材料的扩散接合工序;及通过选择性蚀刻除去金属基体材料的除去工序。因此,可制造出用于燃料电池的改性器的、可稳定地进行高纯度氢气气体的生产的氢气制造用过滤器。
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公开(公告)号:CN1578698A
公开(公告)日:2005-02-09
申请号:CN03801434.3
申请日:2003-07-23
Applicant: 大日本印刷株式会社
IPC: B01D71/02
CPC classification number: B01D67/0069 , B01D53/228 , B01D67/006 , B01D67/0072 , B01D69/10 , B01D71/022 , B01D2325/021 , C01B3/505 , C01B2203/0405 , C01B2203/041 , C01B2203/047 , C23F1/02 , C23F1/28 , C23F1/34 , C23F1/44 , C25D1/08 , C25D1/10 , C25D5/022 , H01M8/0618 , H01M8/0662 , Y10T428/12201 , Y10T428/12361 , Y10T428/12417 , Y10T428/12479 , Y10T428/12951 , Y10T428/24273 , Y10T428/249953
Abstract: 在贯通孔堵塞工序中,利用磁铁把金属板附设在具有多个贯通孔的导电性基体材料的一个面上,在镀铜工序中,从没有附设金属板的导电性基体材料面的一侧,在导电性基体材料上和暴露在贯通孔内的金属板上形成镀铜层,填补贯通孔,在膜形成工序中,通过电镀在除去金属板后的导电性基体材料上形成Pd合金膜,在除去工序中,通过选择性蚀刻除去镀铜层。因此,可制造出用于燃料电池的改性器的、可稳定地进行高纯度氢气气体的生产的氢气制造用过滤器。
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公开(公告)号:CN101337167B
公开(公告)日:2011-09-28
申请号:CN200810110281.0
申请日:2003-07-23
Applicant: 大日本印刷株式会社
IPC: B01D71/02
Abstract: 一种氢气制造用过滤器的制造方法,过滤器使用的薄膜支持基板包括:金属基板;在该金属基板的一个面上形成的多个柱状凸部;及在柱状凸部的非形成部位贯通金属基板地形成的多个贯通孔,柱状凸部的非形成部位的面积占柱状凸部形成面侧面积的20%~90%的范围。该制造方法包括:在相对于薄膜支持基板可选择性地进行蚀刻的金属基体材料的一个面上,通过电镀形成Pd合金膜的膜形成工序;在薄膜支持基板的形成柱状凸部的面上,通过把Pd合金膜与柱状凸部的上端面扩散接合,配设金属基体材料的扩散接合工序;及通过选择性蚀刻除去金属基体材料的除去工序。因此,可制造出用于燃料电池的改性器的、可稳定地进行高纯度氢气气体的生产的氢气制造用过滤器。
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公开(公告)号:CN101318109A
公开(公告)日:2008-12-10
申请号:CN200810110279.3
申请日:2003-07-23
Applicant: 大日本印刷株式会社
IPC: B01D71/02
Abstract: 一种氢气制造用过滤器的制造方法,包括:在导电性基体材料的两面上,形成给定的抗蚀图案,以该抗蚀图案为掩模,从两面对所述导电性基体材料进行蚀刻,形成多个贯通孔的蚀刻工序;通过电解电镀形成Pd合金膜,以便将所述导电性基体材料的所述贯通孔内堵塞的膜形成工序;以及除去所述抗蚀图案的除去工序。因此,可制造出用于燃料电池的改性器的、可稳定地进行高纯度氢气气体的生产的氢气制造用过滤器。
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公开(公告)号:CN1817421B
公开(公告)日:2012-07-04
申请号:CN200510003381.X
申请日:2003-07-23
Applicant: 大日本印刷株式会社
CPC classification number: B01D67/0069 , B01D53/228 , B01D67/006 , B01D67/0072 , B01D69/10 , B01D71/022 , B01D2325/021 , C01B3/505 , C01B2203/0405 , C01B2203/041 , C01B2203/047 , C23F1/02 , C23F1/28 , C23F1/34 , C23F1/44 , C25D1/08 , C25D1/10 , C25D5/022 , H01M8/0618 , H01M8/0662 , Y10T428/12201 , Y10T428/12361 , Y10T428/12417 , Y10T428/12479 , Y10T428/12951 , Y10T428/24273 , Y10T428/249953
Abstract: 在贯通孔堵塞工序中,利用磁铁把金属板附设在具有多个贯通孔的导电性基体材料的一个面上,在镀铜工序中,从没有附设金属板的导电性基体材料面的一侧,在导电性基体材料上和暴露在贯通孔内的金属板上形成镀铜层,填补贯通孔,在膜形成工序中,通过电镀在除去金属板后的导电性基体材料上形成Pd合金膜,在除去工序中,通过选择性蚀刻除去镀铜层。因此,可制造出用于燃料电池的改性器的、可稳定地进行高纯度氢气气体的生产的氢气制造用过滤器。
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公开(公告)号:CN101337166A
公开(公告)日:2009-01-07
申请号:CN200810110280.6
申请日:2003-07-23
Applicant: 大日本印刷株式会社
IPC: B01D71/02
Abstract: 一种氢气制造用过滤器的制造方法,过滤器使用的薄膜支持基板包括:金属基板;在金属基板一面上的多个柱状凸部;及在柱状凸部的非形成部位贯通金属基板地形成的多个贯通孔,柱状凸部的非形成部位的面积占柱状凸部形成面侧面积的20~90%的范围。该制造方法包括:在薄膜支持基板的形成柱状凸部的面上形成树脂层,将贯通孔的内部填补并覆盖柱状凸部的树脂层形成工序;把树脂层平坦地除去使柱状凸部的上端面露出并与上端面构成同一平面的平坦化工序;在柱状凸部的上端面及树脂层构成的平坦面上用无电解及真空成膜法中的任一种,形成导电性基底层的基底层形成工序;在导电性基底层上用电镀形成Pd合金膜的膜形成工序;及只溶解树脂层并除去的除去工序。
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公开(公告)号:CN1290599C
公开(公告)日:2006-12-20
申请号:CN03801434.3
申请日:2003-07-23
Applicant: 大日本印刷株式会社
IPC: B01D71/02
CPC classification number: B01D67/0069 , B01D53/228 , B01D67/006 , B01D67/0072 , B01D69/10 , B01D71/022 , B01D2325/021 , C01B3/505 , C01B2203/0405 , C01B2203/041 , C01B2203/047 , C23F1/02 , C23F1/28 , C23F1/34 , C23F1/44 , C25D1/08 , C25D1/10 , C25D5/022 , H01M8/0618 , H01M8/0662 , Y10T428/12201 , Y10T428/12361 , Y10T428/12417 , Y10T428/12479 , Y10T428/12951 , Y10T428/24273 , Y10T428/249953
Abstract: 在贯通孔堵塞工序中,利用磁铁把金属板附设在具有多个贯通孔的导电性基体材料的一个面上,在镀铜工序中,从没有附设金属板的导电性基体材料面的一侧,在导电性基体材料上和暴露在贯通孔内的金属板上形成镀铜层,填补贯通孔,在膜形成工序中,通过电镀在除去金属板后的导电性基体材料上形成Pd合金膜,在除去工序中,通过选择性蚀刻除去镀铜层。因此,可制造出用于燃料电池的改性器的、可稳定地进行高纯度氢气气体的生产的氢气制造用过滤器。
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公开(公告)号:CN1280934C
公开(公告)日:2006-10-18
申请号:CN03800678.2
申请日:2003-05-13
Applicant: 大日本印刷株式会社
CPC classification number: H01M8/2418 , H01M8/0206 , H01M8/0221 , H01M8/0228 , H01M8/0256 , H01M8/0271 , H01M8/1007 , H01M8/242
Abstract: 一种隔板,具有,由多个以金属板为基体、对应于单元电池与所述基体的表面相垂直地排列设置有多个向燃料电池的电解质供给燃料用的通孔的隔板构件连接成一体而成的隔板构件连接体,以及,由多个具有与各隔板构件对应的燃料供给用或氧气供给用开口并且是用来将单元电池之间绝缘的框部连接成一体而成的、绝缘材料制成的框连接体;该框连接体为一对,用来将所述隔板构件连接体从其两面进行夹持,所述隔板构件连接体的正反面的框连接体之一方的各框部的开口内可嵌入燃料电池的膜电极复合体(MEA)。
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