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公开(公告)号：CN1645033A
公开(公告)日：2005-07-27
申请号：CN200510007217.6
申请日：2005-02-04
Applicant: 哈尔滨工业大学
Abstract: 本发明属于精密仪器制造及测量技术领域，特别是一种可实时分离主轴空间回转误差、导轨直行运动误差、导轨与回转轴线间平行度误差的圆柱度测量方法及装置。本发明的装置包括传感器(1)和传感器(2)、回转工作台(4)、基座(5)、导轨气浮套(6)和立式导轨(7)组成的立式导轨系统，误差分离转台(8)，其特征在于误差分离转台(8)置于回转工作台(4)上，被测件(3)置于误差分离转台(8)上，其可分别随回转工作台(4)和误差分离转台(8)回转，传感器(1)和传感器(2)随导轨气浮套(6)沿立式导轨(7)上下运动，且传感器(1)和传感器(2)在被测件(3)的两侧径向对称分布。
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公开(公告)号：CN1209599C
公开(公告)日：2005-07-06
申请号：CN200410006359.6
申请日：2004-02-27
Applicant: 哈尔滨工业大学
Abstract: 本发明属于表面微细结构测量技术领域，涉及一种具有高空间分辨力的差动共焦扫描检测方法。该方法采用差动共焦显微双接受光路布置和双探测器相减形成差动共焦信号，对被测工件进行测量，通过光学超分辨共焦显微检测方法提高横向分辨力，通过差动共焦显微探测方法提高纵向分辨力，从而达到差动共焦扫描检测的高空间分辨力检测。该方法可以满足高空间分辨力、高精度和较大测量范围的要求，特别适用于表面三维微细结构、微台阶、微沟槽、线宽以及表面形貌的测量等。
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公开(公告)号：CN1632333A
公开(公告)日：2005-06-29
申请号：CN200510009634.4
申请日：2005-01-18
IPC: F16C32/06
Abstract: 本发明“混合式螺旋槽动静压气体复合圆锥轴承”涉及一种高速、高刚度、大载荷超精密螺旋槽动静压气体复合圆锥轴承，在圆锥轴承工作面上，静压气浮供气点分布圆两侧分别开有人字形动压沟槽，在不增加气浮轴承耗气量的情况下，轴承承载能力比传统静压气浮轴承提高30％以上，轴承刚度比传统静压气浮轴承提高15％以上。
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公开(公告)号：CN1632332A
公开(公告)日：2005-06-29
申请号：CN200510009633.X
申请日：2005-01-18
IPC: F16C32/06
Abstract: 本发明“混合式螺旋槽动静压气体复合球面轴承”涉及一种高速、高刚度、大载荷超精密螺旋槽动静压气体复合球面轴承，在球面轴承工作面上，静压气浮供气点分布圆两侧分别开有人字形动压沟槽，在不增加气浮轴承耗气量的情况下，轴承承载能力比传统静压气浮轴承提高30％以上，轴承刚度比传统静压气浮轴承提高15％以上。
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公开(公告)号：CN1529123A
公开(公告)日：2004-09-15
申请号：CN200410001107.4
申请日：2004-01-19
Applicant: 哈尔滨工业大学
IPC: G01B11/24
Abstract: 本发明具有高空间分辨力的整形环形光束式差动共焦传感器，包括激光器，扩束器、针孔、环形光整形器件、可调光阑、偏振分光镜、偏振分光镜以及1/4波片、跟踪电感传感器、测量物镜、分光镜、聚光镜、针孔和两针孔后面的两个光电探测器。本发明共焦传感器融合光学超分辨和差动共焦显微跟踪聚焦技术，旨在提高光探针传感器的空间分辨力和量程，同时满足高空间分辨力、高精度和较大测量范围的要求，特别适用于表面三维微细结构、微台阶、微沟槽、线宽以及表面形貌的测量等。
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Patent Agency Ranking
公开(公告)号：CN100437022C
公开(公告)日：2008-11-26
申请号：CN200410073652.4
申请日：2004-09-02
Applicant: 哈尔滨工业大学
Abstract: 本发明属于显微成像及微观测量技术领域，涉及一种轴向超分辨成像的三差动共焦显微成像方法与装置，该装置包括光源(1)，依次放在光源(1)发射端的空间滤波针孔(26)、测量显微物镜(5)，其特征在于还包括放置在光源(1)发射端的扩束器(2)、偏振分光镜(3)、放置在偏振分光镜(3)透射光路上的四分之一波片(4)、以及将偏振分光镜(3)反射后的测量光束第一次分为两束测量光的分光镜(10)、将分光镜(10)透射的光束再次分为两束测量光束的分光镜(12)，分别汇聚三束测量光的三个聚光镜(17)、(6)和(13)，依次位于三个聚光镜焦前位置、焦面位置和焦后位置的三个针孔(18)、(7)和(14)，以及分别贴近三个针孔后面的三个光电探测器(19)、(8)和(15)。
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公开(公告)号：CN1237325C
公开(公告)日：2006-01-18
申请号：CN200410001107.4
申请日：2004-01-19
Applicant: 哈尔滨工业大学
IPC: G01B11/24
Abstract: 本发明具有高空间分辨力的整形环形光束式差动共焦传感器，包括激光器，扩束器、针孔、环形光整形器件、可调光阑、偏振分光镜、偏振分光镜以及1/4波片、跟踪电感传感器、测量物镜、分光镜、聚光镜、针孔和两针孔后面的两个光电探测器。本发明共焦传感器融合光学超分辨和差动共焦显微跟踪聚焦技术，旨在提高光探针传感器的空间分辨力和量程，同时满足高空间分辨力、高精度和较大测量范围的要求，特别适用于表面三维微细结构、微台阶、微沟槽、线宽以及表面形貌的测量等。
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公开(公告)号：CN1232798C
公开(公告)日：2005-12-21
申请号：CN200410062208.2
申请日：2004-06-30
Applicant: 哈尔滨工业大学
IPC: G01B11/24
Abstract: 本发明涉及一种激光透、反组合监测补偿式圆柱度仪直线运动基准装置，属于表面形状测量技术领域，特别适应于超精密圆柱度测量装置。本发明将激光透反组合监测补偿技术、主副双导轨直行技术和隔离式抗干扰驱动技术集为一体，以激光光束作为物理基准，依据导轨直线运动基准运动误差对圆柱度测量装置测量结果的作用规律，提供一种基于激光透、反组合监测补偿式主副双导轨结构的超精密圆柱度直线运动基准装置，克服了已有圆柱度测量装置直线运动基准技术的不足。
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公开(公告)号：CN1609590A
公开(公告)日：2005-04-27
申请号：CN200410090774.4
申请日：2004-11-10
Applicant: 哈尔滨工业大学
Abstract: 本发明属于光学显微成像及微观测量技术领域，涉及一种具有高性噪比和三维超分辨成像能力的三差动共焦显微三维超分辨成像方法。该方法将提高轴向分辨力的三差动共焦扫描方法和提高横向分辨力的超分辨光瞳滤波共焦扫描方法相融合，构成光瞳滤波式三维超分辨差动共焦成像方法。横向分辨力的提高可通过特定设计的光瞳滤波器来对三差动共焦显微镜的爱里斑主辨进行锐化来达到，轴向分辨力的提高可通过三差动共焦光路布置及差动探测来达到，这样，即可实现共焦显微镜的三维超分辨成像和高性噪比显微成像检测。该方法可用于测量样品的三维表面形貌、三维微细结构、微台阶、微沟槽、集成电路线宽等。
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公开(公告)号：CN1587898A
公开(公告)日：2005-03-02
申请号：CN200410073652.4
申请日：2004-09-02
Applicant: 哈尔滨工业大学
Abstract: 本发明属于显微成像及微观测量技术领域，涉及一种轴向超分辨成像的三差动共焦显微成像方法与装置，该装置包括光源(1)，依次放在光源(1)发射端的空间滤波针孔(26)、测量显微物镜(5)，其特征在于还包括放置在光源(1)发射端的扩束器(2)、偏振分光镜(3)、放置在偏振分光镜(3)透射光路上的四分之一波片(4)、以及将偏振分光镜(3)反射后的测量光束第一次分为两束测量光的分光镜(10)、将分光镜(10)透射的光束再次分为两束测量光束的分光镜(12)，分别汇聚三束测量光的三个聚光镜(17)、(6)和(13)，依次位于三个聚光镜焦前位置、焦面位置和焦后位置的三个针孔(18)、(7)和(14)，以及分别贴近三个针孔后面的三个光电探测器(19)、(8)和(15)。
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