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公开(公告)号：CN113835305A
公开(公告)日：2021-12-24
申请号：CN202111108262.6
申请日：2021-09-22
Applicant: 哈尔滨工业大学
Abstract: 本发明涉及半导体加工设备技术领域，公开了一种光刻机电路板冷却装置，包括至少两个冷却板，电路板贴合于所述冷却板，所述冷却板内设有冷却水路，至少两个所述冷却板的所述冷却水路相连通，其中一个所述冷却板上设有进水口，另一个所述冷却板上设有出水口，所述进水口及所述出水口均设有温度传感器，所述冷却水路均包括相连通的主水路和辅水路。本发明通过设置主水路和辅水路，主水路用于电路板的常规冷却，辅水路对应电路板中发热较多部位设置，增大发热部位与冷却水路的接触面积，提高冷却效率。同时，通过设置在进水口与出水口的温度传感器的水温反馈，实时调整冷却液的流量，实现了对电路板温度的精确控制。
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公开(公告)号：CN113833763A
公开(公告)日：2021-12-24
申请号：CN202111110723.3
申请日：2021-09-22
Applicant: 哈尔滨工业大学
IPC: F16C32/06
Abstract: 本发明涉及精密运动技术领域，公开了一种精密运动气浮支撑装置，其包括基座、导轨和支撑框架，导轨水平设置于基座上并与基座固定连接，支撑框架套设于导轨上并可沿导轨滑动，支撑框架包括底部气浮板、顶部气浮板和侧向气浮板，侧向气浮板设有两块，两块侧向气浮板对称设置，侧向气浮板内设有侧向气路，侧向气浮板表面设有与侧向气路相连通的侧向进气孔和侧向排气孔，底部气浮板内设有底面气路，底部气浮板表面设有与底面气路相连通的底面进气孔和底面排气孔。与现有技术相比，该精密运动气浮支撑装置的结构设计简单可靠，进排气孔与气路设计能够有效降低气源的空间占用量，支撑框架具有良好的运动姿态与运动精度，操作人员的使用体验好。
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公开(公告)号：CN117249167A
公开(公告)日：2023-12-19
申请号：CN202311335569.9
申请日：2023-10-16
Applicant: 哈尔滨工业大学
Abstract: 本发明的一种气浮装置涉及气浮支承技术领域，目的是为了克服现有空气静压轴承的静、动态性能不足的问题，包括底座平台和气浮轴承；底座平台位于气浮轴承的气膜生成面处；气浮轴承包括滑动块体、多个第一节流器、第一高压气体管道和吸力调节装置；多个第一节流器固定于滑动块体内部，且多个第一节流器以气膜生成面的中心点为对称点呈中心对称设置；第一高压气体管道设于滑动块体内部；且第一高压气体管道的一端连通所有第一节流器的节流管道的进气端，另一端用于通入第一高压气体；多个第一节流器的压力腔均设于气膜生成面并连通滑动块体的外部；吸力调节装置设置于气浮轴承上，用于在气浮轴承与底座平台之间产生吸力。
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公开(公告)号：CN117249166A
公开(公告)日：2023-12-19
申请号：CN202311335566.5
申请日：2023-10-16
Applicant: 哈尔滨工业大学
Abstract: 本发明提供一种气膜调控及气体回收的气浮轴承结构，属于气浮支撑技术领域。该结构改善了上述背景技术中提到的气体扰动的问题，提高了结构的精度及性能。气浮平台布置在大理石平台上方，节流器及气体回收单元均布置在气浮平台内部，节流器的出气口及气体回收单元的进气口均位于气浮平台的下表面，气源为节流器提供高压气体，充至气浮平台与大理石平台间形成气膜，形成气膜的余量气流经气体回收单元回收并定向排出。该结构引入气体回单元，有效避免了气浮轴承排放气体对周围产生的扰动，提高了精密仪器的测量精度和运动精度；该结构将节流管道设置成倾斜式，减小高压气体从节流孔流出时对气浮轴承产生的微振动，使气体流动更稳定。
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公开(公告)号：CN113949310B
公开(公告)日：2022-05-13
申请号：CN202111110516.8
申请日：2021-09-22
Applicant: 哈尔滨工业大学
IPC: H02N15/00
Abstract: 本发明涉及精密机械技术领域，公开了一种磁悬浮驱动式导向机构，包括：两个基座、导轨、第一悬浮装置和第二悬浮装置，两基座相互间隔且平行设置，其中左基座上设有磁力线圈和永磁铁，右基座上设有永磁铁，导轨悬浮架设于两基座上；第一悬浮装置设于所述导轨的左侧，第一悬浮装置的左侧设有第一磁悬浮组件，第一悬浮装置的底部设有第二磁悬浮组件；第二悬浮装置设于导轨的右侧，第二悬浮装置的底部设有第三磁悬浮组件。本发明能够在抵消导轨及其各组件的重力影响的同时有效降低导向机构运动摩擦，并实现导轨的高精度磁力驱动，以解决现有精密运动导向机构中导轨质量过大，运动控制难度高且装配误差较大的问题，进一步提高导向机构的运动精度。
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Patent Agency Ranking
公开(公告)号：CN113917795B
公开(公告)日：2022-04-29
申请号：CN202111110621.1
申请日：2021-09-22
Applicant: 哈尔滨工业大学
IPC: G03F7/20
Abstract: 本发明涉及半导体加工技术领域，公开了一种微动台气浮支撑装置，包括基座、能够在基座上悬浮的气浮模块、以及位于气浮模块上的连接结构，气浮模块用于支撑连接结构，连接结构用于支撑微动台；气浮模块包括外部框架、调节框架及负压调节板；负压调节框架通过若干个调平螺栓与外部框架相连接；外部框架的外侧设有正压进气孔和负压进气孔，外部框架的下端设有正压排气孔集群；外部框架的中部设有负压腔体，负压腔体的上端设有通槽，负压调节板位于通槽处并与通槽之间密封，负压腔体的边缘还设有与负压排气腔连通的负压排气孔。本发明实施例通过负压调节板的水平姿态改变调整气膜厚度，进而调节气浮模块的水平姿态，提高微动台的水平姿态精度。
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公开(公告)号：CN114216396A
公开(公告)日：2022-03-22
申请号：CN202111542273.5
申请日：2021-12-16
Applicant: 哈尔滨工业大学
Abstract: 一种基于激光干涉仪的复眼单元运动误差测量装置，属于精密仪器以及精密测量技术领域，本发明为了解决现有技术中无法测量复眼单元在运动时的俯仰角和翻滚角误差，无法评估复眼单元工作时的运动精度与运动稳定性的问题，本发明提供的一种基于激光干涉仪的复眼单元运动误差测量装置包括基座、测量框架、复眼单元、第一干涉仪测量组和第二干涉仪测量组。本发明利用两组所述干涉仪实时测量复眼单元运动时待测点的位置信息，并与理论模型对比得出复眼单元的在两个自由度上的运动误差，从而为复眼单元运动的误差标定提供数据支撑，对评估复眼单元运动精度、环境相应与运动稳定性具有重要意义。
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公开(公告)号：CN113949310A
公开(公告)日：2022-01-18
申请号：CN202111110516.8
申请日：2021-09-22
Applicant: 哈尔滨工业大学
IPC: H02N15/00
Abstract: 本发明涉及精密机械技术领域，公开了一种磁悬浮驱动式导向机构，包括：两个基座、导轨、第一悬浮装置和第二悬浮装置，两基座相互间隔且平行设置，其中左基座上设有磁力线圈和永磁铁，右基座上设有永磁铁，导轨悬浮架设于两基座上；第一悬浮装置设于所述导轨的左侧，第一悬浮装置的左侧设有第一磁悬浮组件，第一悬浮装置的底部设有第二磁悬浮组件；第二悬浮装置设于导轨的右侧，第二悬浮装置的底部设有第三磁悬浮组件。本发明能够在抵消导轨及其各组件的重力影响的同时有效降低导向机构运动摩擦，并实现导轨的高精度磁力驱动，以解决现有精密运动导向机构中导轨质量过大，运动控制难度高且装配误差较大的问题，进一步提高导向机构的运动精度。
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公开(公告)号：CN113939171A
公开(公告)日：2022-01-14
申请号：CN202111108254.1
申请日：2021-09-22
Applicant: 哈尔滨工业大学
Abstract: 本发明涉及半导体加工设备技术领域，公开了一种光刻机电路板水冷屏蔽装置，包括盒体，所述盒体包括相对设置的两块水冷屏蔽板，电路板贴合于所述水冷屏蔽板的内表面，所述水冷屏蔽板内设有冷却水路，且两块所述水冷屏蔽板的所述冷却水路相连通，其中一个所述水冷屏蔽板上设有进水口，另一个所述水冷屏蔽板上设有出水口。本发明通过在盒体的两块水冷屏蔽板上各设置一个电路板，实现了两块电路板的同时冷却，从而减小了冷却装置的体积，提高了光刻机的空间利用率。同时，由于每个水冷屏蔽板的内部均设有冷却水路，既保证了每个电路板的冷却需要，又提高了冷却效率。且电路板设于金属水冷屏蔽板的内表面，可屏蔽电路板受到的电磁干扰信号。
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公开(公告)号：CN113917797A
公开(公告)日：2022-01-11
申请号：CN202111110625.X
申请日：2021-09-22
Applicant: 哈尔滨工业大学
IPC: G03F7/20
Abstract: 本发明涉及光刻机技术领域，公开了一种基于六自由度控制的运动台及其控制方法，运动台包括基座、工作台和控制装置，工作台设置于基座的上方，工作台的下表面设置有多个凹槽，控制装置包括控制模块和安装在基座上的第一电机组、第二电机组、位置检测模块，第一电机组设置在工作台的侧面，用以驱动工作台在X方向、Y方向和Rz方向的运动，第二电机组和位置检测模块分别设置在所述凹槽中，第二电机组抵在工作台的底面，用以驱动工作台在Z方向、Rx方向和Ry方向的运动，位置检测模块检测工作台的实时位置；第一电机组、第二电机组、位置检测模块均与控制模块电连接。本发明可以实现对运动台运动的六自由度控制，从而提高对运动台的控制精度。
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