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公开(公告)号：CN114371155B
公开(公告)日：2024-08-06
申请号：CN202210004730.3
申请日：2022-01-04
Applicant: 南京邮电大学
IPC: G01N21/64
Abstract: 本发明涉及一种基于光电子集成芯片的荧光光谱测试装置及其制备方法。所述基于光电子集成芯片的荧光光谱测试装置包括：样品台；氮化镓光电子集成芯片，位于所述样品台上方，包括透明衬底、位于所述透明衬底一侧的透明LED器件、以及位于所述透明衬底另一侧的滤光器件，所述透明LED器件用于向所述样品台方向发射具有第一波长的发射光信号，所述滤光器件用于仅透过具有第二波长的激发荧光信号，所述第二波长大于所述第一波长；透镜，位于所述氮化镓光电子集成芯片上方；光纤，位于所述透镜上方；光谱仪，用于接收并分析所述光纤传输的所述激发荧光信号。本发明缩小了荧光光谱测试装置的体积，简化荧光光谱测试装置的光路结构。
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公开(公告)号：CN114256738B
公开(公告)日：2023-09-12
申请号：CN202111328188.9
申请日：2021-11-10
Applicant: 南京邮电大学
Abstract: 本发明公开一种电泵氮化物悬空波导微激光器及其制备方法。本发明在硅衬底氮化物外延片上利用光刻、ICP氮化物干法刻蚀、硅湿法刻蚀工艺，电子束蒸镀工艺制备悬空波导结构的氮化物微腔激光器；其微腔被悬空，垂直方向光学损耗极大降低，同时电极发光区与微腔区重合，引线在两端的柱子上，避免了复杂的引线工艺。
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公开(公告)号：CN116609549A
公开(公告)日：2023-08-18
申请号：CN202310563061.8
申请日：2023-05-18
Applicant: 南京邮电大学
IPC: G01P15/097
Abstract: 本发明公开了一种GaN光机械微盘加速度传感器及其制备方法，传感器包括硅衬底层，硅衬底层的底部支撑层上形成一体连接的第一支撑部、第二支撑部和第三支撑部，第一支撑部、第二支撑部和第三支撑部上端分别设置有第一氮化物圆盘、第二氮化物圆盘和第三氮化物圆盘，第一氮化物圆盘与第二氮化物圆盘之间设置有一体连接的悬空连接梁，第三氮化物圆盘位于第一氮化物圆盘与第二氮化物圆盘之间，悬空连接梁、第一氮化物圆盘、第二氮化物圆盘和第三氮化物圆盘均由上下设置的氮化铝层和氮化镓层构成。本发明提供的一种GaN光机械微盘加速度传感器及其制备方法，能够避免电学噪声的干扰，加速度传感器的灵敏度和分辨率更高，量程更大。
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公开(公告)号：CN113708220B
公开(公告)日：2023-05-16
申请号：CN202110850113.0
申请日：2021-07-27
Applicant: 南京邮电大学
Abstract: 本发明公开了一种量子点微激光器及其制备方法，激光器采用悬浮硅盘结构，悬浮硅盘结构包括从下到上依次设置的硅衬底层、第一二氧化硅层、二氧化硅支柱层和二氧化硅圆盘层，在二氧化硅圆盘层上表面悬涂有量子点层，在量子点层上覆盖有第二二氧化硅层；所述制备方法采用光刻刻蚀工艺和RIE刻蚀工艺制备悬浮硅盘结构的微腔，使其在高温中退火后悬涂不同尺寸的量子点，并蒸镀二氧化硅。本发明激光器能够获得白光激光，具有极高的光学增益和极低的损耗，有利于与光电子器件集成，可以获得高光转换效率低阈值。
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公开(公告)号：CN113418519B
公开(公告)日：2022-11-29
申请号：CN202110643418.4
申请日：2021-06-09
Applicant: 南京邮电大学
IPC: G01C19/58
Abstract: 本发明公开了一种电泵浦光学陀螺及其制备方法，包括：探测器、外形波导和光学陀螺；外形波导包括从上至下依次设置的第一p型磷化铟层、第一量子阱层和n型磷化铟层，第一p型磷化铟层和第一量子阱层为渐变式结构；探测器包括探测器正电极和探测器负电极；光学陀螺包括从上至下依次设置的环形电极、第二量子阱层和第二p型磷化铟层。优点：本发明的外形波导采用了渐变设计，便于产生的激光在波导中的传输，降低了光学损耗。本发明采用了磷化铟外延片，并在刻蚀完成后，用饱和溴水对侧壁进行了光滑修饰，这样易于光学陀螺中产生更好的激光。
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Patent Agency Ranking
公开(公告)号：CN114371155A
公开(公告)日：2022-04-19
申请号：CN202210004730.3
申请日：2022-01-04
Applicant: 南京邮电大学
IPC: G01N21/64
Abstract: 本发明涉及一种基于光电子集成芯片的荧光光谱测试装置及其制备方法。所述基于光电子集成芯片的荧光光谱测试装置包括：样品台；氮化镓光电子集成芯片，位于所述样品台上方，包括透明衬底、位于所述透明衬底一侧的透明LED器件、以及位于所述透明衬底另一侧的滤光器件，所述透明LED器件用于向所述样品台方向发射具有第一波长的发射光信号，所述滤光器件用于仅透过具有第二波长的激发荧光信号，所述第二波长大于所述第一波长；透镜，位于所述氮化镓光电子集成芯片上方；光纤，位于所述透镜上方；光谱仪，用于接收并分析所述光纤传输的所述激发荧光信号。本发明缩小了荧光光谱测试装置的体积，简化荧光光谱测试装置的光路结构。
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公开(公告)号：CN114256738A
公开(公告)日：2022-03-29
申请号：CN202111328188.9
申请日：2021-11-10
Applicant: 南京邮电大学
Abstract: 本发明公开一种电泵氮化物悬空波导微激光器及其制备方法。本发明在硅衬底氮化物外延片上利用光刻、ICP氮化物干法刻蚀、硅湿法刻蚀工艺，电子束蒸镀工艺制备悬空波导结构的氮化物微腔激光器；其微腔被悬空，垂直方向光学损耗极大降低，同时电极发光区与微腔区重合，引线在两端的柱子上，避免了复杂的引线工艺。
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公开(公告)号：CN114018404A
公开(公告)日：2022-02-08
申请号：CN202111158420.9
申请日：2021-09-28
Applicant: 南京邮电大学
Abstract: 本发明公开一种集通信、光谱、传感于一体的微区光学系统。包括主光路及分别与主光路垂直布设的第一支路、第二支路和第三支路；其中，所述主光路包括白色光源、物镜、半透半反镜、聚焦透镜和相机，用于实现成像功能；所述第一支路通过第一可折叠反射镜与主光路相交，用于实现通信测试；所述第二支路通过第二可折叠反射镜与主光路相交，用于实现光谱探测；所述第三支路通过第三可折叠反射镜与主光路相交，用于实现液体透射率传感。该系统可以实现微米级发光二极管的光学成像、光谱采集和透射率传感功能。本发明通过数个可折叠反射镜的折与叠来实现微区光学系统功能的切换，折叠时的反射镜不会对光的通过造成任何影响。
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公开(公告)号：CN113708220A
公开(公告)日：2021-11-26
申请号：CN202110850113.0
申请日：2021-07-27
Applicant: 南京邮电大学
Abstract: 本发明公开了一种量子点微激光器及其制备方法，激光器采用悬浮硅盘结构，悬浮硅盘结构包括从下到上依次设置的硅衬底层、第一二氧化硅层、二氧化硅支柱层和二氧化硅圆盘层，在二氧化硅圆盘层上表面悬涂有量子点层，在量子点层上覆盖有第二二氧化硅层；所述制备方法采用光刻刻蚀工艺和RIE刻蚀工艺制备悬浮硅盘结构的微腔，使其在高温中退火后悬涂不同尺寸的量子点，并蒸镀二氧化硅。本发明激光器能够获得白光激光，具有极高的光学增益和极低的损耗，有利于与光电子器件集成，可以获得高光转换效率低阈值。
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