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公开(公告)号：CN116087912A
公开(公告)日：2023-05-09
申请号：CN202310114112.9
申请日：2023-02-14
Applicant: 南京邮电大学
Abstract: 本发明涉及纳米声波操控技术领域，公开了一种氮化物微机械雷达锅设计及其制备方法，包括硅衬底层和设置于硅衬底层上部的氮化物层，所述氮化物层的中心由硅衬底层的顶部支撑，其余部分处于悬空状态；所述雷达锅能够通过声波频率来实现其摆扫方向的改变；在硅衬底层的外延片氮化物层上，利用光刻、ICP干法刻蚀、硅湿法刻蚀工艺制备出一种悬空的微机械雷达锅。本发明的有益效果为：本发明的雷达锅在一定频率的声波下发生形变，进而可以控制其转变探测方向。
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公开(公告)号：CN115296140B
公开(公告)日：2025-05-16
申请号：CN202210968442.X
申请日：2022-08-12
Applicant: 南京邮电大学
Abstract: 本发明公开了一种电驱动空气槽结构的氮化物微盘激光器及其制备方法，激光器以硅基氮化镓为载体，包括从下至上依次设置的硅衬底层、缓冲层、u型氮化镓层、n型氮化镓层、量子阱层和p型氮化镓层，n型氮化镓层上设有n型电极，p型氮化镓层设置有p型电极；量子阱层的周部设有空气槽结构。通过n型电极和p型电极实现了电驱动的驱动方式，方便控制，且易于和其他微电子器件集成。通过空气槽的设置，实现了外回音壁模式，不仅具有线宽窄、阈值低的特点，还容易与周围环境发生作用，适用于气体传感、通信等方面。
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公开(公告)号：CN116609549A
公开(公告)日：2023-08-18
申请号：CN202310563061.8
申请日：2023-05-18
Applicant: 南京邮电大学
IPC: G01P15/097
Abstract: 本发明公开了一种GaN光机械微盘加速度传感器及其制备方法，传感器包括硅衬底层，硅衬底层的底部支撑层上形成一体连接的第一支撑部、第二支撑部和第三支撑部，第一支撑部、第二支撑部和第三支撑部上端分别设置有第一氮化物圆盘、第二氮化物圆盘和第三氮化物圆盘，第一氮化物圆盘与第二氮化物圆盘之间设置有一体连接的悬空连接梁，第三氮化物圆盘位于第一氮化物圆盘与第二氮化物圆盘之间，悬空连接梁、第一氮化物圆盘、第二氮化物圆盘和第三氮化物圆盘均由上下设置的氮化铝层和氮化镓层构成。本发明提供的一种GaN光机械微盘加速度传感器及其制备方法，能够避免电学噪声的干扰，加速度传感器的灵敏度和分辨率更高，量程更大。
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公开(公告)号：CN115296140A
公开(公告)日：2022-11-04
申请号：CN202210968442.X
申请日：2022-08-12
Applicant: 南京邮电大学
Abstract: 本发明公开了一种电驱动空气槽结构的氮化物微盘激光器及其制备方法，激光器以硅基氮化镓为载体，包括从下至上依次设置的硅衬底层、缓冲层、u型氮化镓层、n型氮化镓层、量子阱层和p型氮化镓层，n型氮化镓层上设有n型电极，p型氮化镓层设置有p型电极；量子阱层的周部设有空气槽结构。通过n型电极和p型电极实现了电驱动的驱动方式，方便控制，且易于和其他微电子器件集成。通过空气槽的设置，实现了外回音壁模式，不仅具有线宽窄、阈值低的特点，还容易与周围环境发生作用，适用于气体传感、通信等方面。
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