公开(公告)号：CN115296140B

公开(公告)日：2025-05-16

申请号：CN202210968442.X

申请日：2022-08-12

Applicant: 南京邮电大学

Inventor： 朱刚毅 ,  冀宝剑 ,  何丝情 ,  马迪 ,  田沐霏

IPC: H01S5/042 ,  H01S5/10 ,  H01S5/343

Abstract: 本发明公开了一种电驱动空气槽结构的氮化物微盘激光器及其制备方法，激光器以硅基氮化镓为载体，包括从下至上依次设置的硅衬底层、缓冲层、u型氮化镓层、n型氮化镓层、量子阱层和p型氮化镓层，n型氮化镓层上设有n型电极，p型氮化镓层设置有p型电极；量子阱层的周部设有空气槽结构。通过n型电极和p型电极实现了电驱动的驱动方式，方便控制，且易于和其他微电子器件集成。通过空气槽的设置，实现了外回音壁模式，不仅具有线宽窄、阈值低的特点，还容易与周围环境发生作用，适用于气体传感、通信等方面。

公开(公告)号：CN115296140A

公开(公告)日：2022-11-04

申请号：CN202210968442.X

申请日：2022-08-12

Applicant: 南京邮电大学

Inventor： 朱刚毅 ,  冀宝剑 ,  何丝情 ,  马迪 ,  田沐霏

IPC: H01S5/042 ,  H01S5/10 ,  H01S5/343

Abstract: 本发明公开了一种电驱动空气槽结构的氮化物微盘激光器及其制备方法，激光器以硅基氮化镓为载体，包括从下至上依次设置的硅衬底层、缓冲层、u型氮化镓层、n型氮化镓层、量子阱层和p型氮化镓层，n型氮化镓层上设有n型电极，p型氮化镓层设置有p型电极；量子阱层的周部设有空气槽结构。通过n型电极和p型电极实现了电驱动的驱动方式，方便控制，且易于和其他微电子器件集成。通过空气槽的设置，实现了外回音壁模式，不仅具有线宽窄、阈值低的特点，还容易与周围环境发生作用，适用于气体传感、通信等方面。