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公开(公告)号：CN110335844A
公开(公告)日：2019-10-15
申请号：CN201910519471.6
申请日：2019-06-17
Applicant: 华中科技大学
IPC: H01L21/683 , H01L21/67 , H01L33/48 , H01L25/075 , H01F13/00
Abstract: 本发明属于巨量转移技术领域，并具体公开了一种基于选择性加热去磁的MicroLED巨量转移装置及方法，其包括基板及设置在基板上表面的磁性方块阵列，磁性方块阵列中每一磁性方块均具有磁性且上下表面为异名磁极，并且各磁性方块能够在外部加热的作用下失去磁性，转移操作时磁性方块阵列与待转移的具有磁性的MicroLED阵列一一对应，利用磁性方块阵列先整体拾取MicroLED阵列，再选择性的加热磁性方块使其失去磁性以将MicroLED选择性的转移至具有磁性的目标电路基板上。本发明可实现MicroLED的图案化、选择性巨量转移，具有操作方便，适用性强，定位精确等优点。
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公开(公告)号：CN107512083B
公开(公告)日：2019-09-06
申请号：CN201710915067.1
申请日：2017-09-30
Applicant: 华中科技大学
Abstract: 本发明属于电流体动力喷印领域，并公开了一种复杂曲面电路共形喷印方法和设备。该设备包括球形电机模块、平动模块和共形喷印模块，平动模块带动所述球形电机模块在平面内做X和Y轴方向的移动；共形喷印模块包括喷头部分和电气信号部分，喷头部分上下运动实现Z轴方向的自由度，电气信号部分向墨盒中的墨液和电极环施加电压；球形电机模块绕X、Y和Z方向旋转实现待喷印物六自由度运动，曲面基板接地使得待喷印物电势为零，墨液中被施加电压高于电极环中施加电压，从而使得所述墨液、电极环和待喷印物上形成梯度电势差。通过本发明，实现了复杂曲面的共形图案化电喷印工艺，提高电喷印工艺的应用范围，降低制造成本，提高喷印精度。
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公开(公告)号：CN108340681B
公开(公告)日：2019-08-30
申请号：CN201810097007.8
申请日：2018-01-31
Applicant: 华中科技大学
Abstract: 本发明公开了一种电场‑流场混合控制的电流体喷印方法及装置，属于微纳制造技术领域。本发明的方法及装置中的喷头出口管为毛细管，在毛细管下方设置具有倒角的流体出口；毛细管周围的流体在流体出口的倒角作用下，在喷头的下方形成聚焦式的稳定的流体流场；接地电极置于流体出口下方，且接地电极上设有与流体出口同轴布置的通孔；在喷头和接地电极之间施加高压静电场，毛细管内流出的电流体在高压静电场和流体流场的共同作用下形成泰勒锥并拉出射流，射流穿过流体出口和通孔进行打印。本发明将电流体喷印技术和流动聚焦技术结合，提高打印精度和分辨率，并克服常规电流体喷印无法在绝缘基板或者自由曲面的基板上进行打印的问题。
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公开(公告)号：CN110136865A
公开(公告)日：2019-08-16
申请号：CN201910355081.X
申请日：2019-04-29
Applicant: 华中科技大学
Abstract: 本发明属于柔性表皮电子领域，并公开了一种基于激光焊接的大面积纳米柔性电极制备方法及产品。该方法包括：(a)制备柔性电极获得待连接的柔性电极，将待连接柔性电极置于生理盐水中移动使得待连接的两端靠近至预设范围内，在待连接的两端分别滴加吞噬物和被吞噬物，该吞噬物主动吞噬被吞噬物，在吞噬过程中使得待连接的两端逐渐靠近直至重叠，以此完成生物连接；(b)将完成生物连接的柔性电极从生理盐水中打捞出来，然后在生物连接部位涂覆激光吸收剂，采用飞秒激光进行扫描，使得生物连接部分熔化并焊接在一起，以此获得所需的大面积纳米柔性电极。通过本发明，实现大面积纳米厚柔性电极的连接，工艺简单方便。
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公开(公告)号：CN109041394A
公开(公告)日：2018-12-18
申请号：CN201810898129.7
申请日：2018-08-08
Applicant: 华中科技大学
IPC: H05H1/26
Abstract: 本发明属于等离子体加工领域，并具体公开了一种等离子体束径可控的静电聚焦喷头装置及喷射方法，其包括喷头组件、聚焦组件和变焦组件，喷头组件包括从上至下依次同轴设置的衔接头、辅助接头和输出接头，衔接头内开设有用于放置高压电极的通孔及进气通道，辅助接头内开设有电离腔，输出接头内开设有电极环腔，底部设有等离子束输出口；聚焦组件包括间隔设置的三个电极环，三个电极环连接不同电位且电压可调，电极环中部开设有通气孔，等离子体射流经通气孔从等离子束输出口送出；变焦组件用于调节电极环的间距，实现等离子体射流聚焦焦点的调节。本发明可实现等离子体射流焦距的调节，可用于不同高度材料的加工，并可实现曲面上的自由加工。
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Patent Agency Ranking
公开(公告)号：CN105742500B
公开(公告)日：2018-11-02
申请号：CN201610269083.3
申请日：2016-04-27
Applicant: 华中科技大学
Abstract: 本发明公开了一种利用电流体直写工艺制备场效应晶体管的方法，包括：(1)在基板上制备有机半导体薄膜；(2)利用电流体直写工艺，在具有半导体薄膜的基板上制备平行的直线纤维；(3)通过电流体直写制备与之垂直的平行介电纤维；(4)在基板上真空沉积金属；(5)在介电纤维两端涂覆导电银浆，引出栅电极。本发明还公开了相应的产品。本发明的方法利用介电微纳纤维得到晶体管沟道，沟道长度尺寸与纤维直径尺寸相当，能够达到亚微米甚至纳米级，同时该纤维也是晶体管的绝缘层。另外通过一次金属真空沉积，可同时形成场效应晶体管的源极、漏极和栅极。本发明极大地简化了晶体管的制备工艺步骤，同时降低了制造成本。
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公开(公告)号：CN106625621B
公开(公告)日：2018-10-16
申请号：CN201611192607.X
申请日：2016-12-21
Applicant: 华中科技大学
Abstract: 本发明属于柔性薄膜转移及贴合工艺相关设备领域，并公开了一种基于拉伸共形原理的柔性膜曲面转移机械手，其包括基座、X向伸缩机构、Y向张合机构和共形柔性曲面吸附盘，其中该X向伸缩机构设于基座用于实现共形柔性曲面吸附盘的X向伸缩，该Y向张合机构设于X向伸缩机构并用于实现共形柔性吸附盘的Y向伸缩；该共形柔性曲面吸附盘与目标曲面共形，具有可弯曲、拉伸的特点，在拉伸成平面状态时拾取目标薄膜，恢复成弯曲状态后实现目标薄膜与目标曲面的共形贴合。通过本发明，能够实现对柔性薄膜的拾取、变形与贴合到曲面等功能，同时具备结构紧凑，便于操控、曲面柔性薄膜的转移精度高和适用范围广等优点。
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公开(公告)号：CN108539052A
公开(公告)日：2018-09-14
申请号：CN201810293196.6
申请日：2018-03-30
Applicant: 华中科技大学
CPC classification number: H01L51/56 , H01L51/5253
Abstract: 本发明公开了一种封装柔性显示薄膜的装置、系统及方法，包括箱体、气体通道组件、喷头阵列组件。本发明将喷头阵列组件和气体通道组件在箱体内交错排列，其位置和数量可以根据实际封装层数的需要进行调整。喷头阵列组件与有机墨液腔相连，下面通过两块平行的带电平板对雾化墨液进行平面聚焦，可以实现有机薄膜的制取；通过向前驱体通道交替输入前驱气体和惰性气体，可以实现无机薄膜的制备。本发明将ALD和电喷印有机结合，克服传统的单一OLED封装技术的缺点，可以高效地同时进行多层有机-无机薄膜的制备，能够大大提高封装效率和降低封装成本，在柔性OLED封装领域具有潜在的应用前景。
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公开(公告)号：CN108538755A
公开(公告)日：2018-09-14
申请号：CN201810238266.8
申请日：2018-03-22
Applicant: 华中科技大学
Abstract: 本发明属于电子制造技术相关领域，更具体地，涉及一种复杂曲面电子系统的共形制造设备，该系统包括支撑台，以及各自安装在该支撑台上且彼此独立可控的六自由度球形电机联动平台、三维测量模块、激光剥离模块、曲面转印模块和共形喷印模块，同时对这些关键组件的具体结构及设置工作方式进行了改进设计。本发明还公开了相应的制造方法。通过本发明，将能够复杂曲面电子系统共形制造过程中所需要的多个工艺流程高效集成于一体化设备中，实现任意面积的刚性/柔性曲面电子系统的共形混合制造，同时还具备高精度、高效率、自动化程度高等优点，显著拓宽了曲面电子制造工艺的应用范围。
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公开(公告)号：CN108340681A
公开(公告)日：2018-07-31
申请号：CN201810097007.8
申请日：2018-01-31
Applicant: 华中科技大学
Abstract: 本发明公开了一种电场-流场混合控制的电流体喷印方法及装置，属于微纳制造技术领域。本发明的方法及装置中的喷头出口管为毛细管，在毛细管下方设置具有倒角的流体出口；毛细管周围的流体在流体出口的倒角作用下，在喷头的下方形成聚焦式的稳定的流体流场；接地电极置于流体出口下方，且接地电极上设有与流体出口同轴布置的通孔；在喷头和接地电极之间施加高压静电场，毛细管内流出的电流体在高压静电场和流体流场的共同作用下形成泰勒锥并拉出射流，射流穿过流体出口和通孔进行打印。本发明将电流体喷印技术和流动聚焦技术结合，提高打印精度和分辨率，并克服常规电流体喷印无法在绝缘基板或者自由曲面的基板上进行打印的问题。
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