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公开(公告)号：CN102360162A
公开(公告)日：2012-02-22
申请号：CN201110313093.X
申请日：2008-02-05
Applicant: 佳能株式会社
CPC classification number: G03F7/0002 , B05C11/00 , B29C59/002 , B82Y10/00 , B82Y40/00 , G03F9/7023 , G03F9/703 , G03F9/7042
Abstract: 本发明涉及一种刻印方法和刻印装置。一种用于将设置在模具上的刻印图案刻印到形成在基片上的图案形成层上的刻印方法，所述方法由以下步骤构成，所述步骤为：第一个步骤，在所述第一个步骤中，借助反馈控制进行基片与模具之间的对准；第二个步骤，在所述第二个步骤中，使模具与图案形成层相互接触；第三个步骤，在所述第三个步骤中，将图案形成层固化；以及第四个步骤，在所述第四个步骤中，增大基片与模具之间的间隙。所述刻印方法还包括在第一个步骤与第二个步骤之间和/或在第二个步骤与第三个步骤之间将反馈控制停止的步骤。
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公开(公告)号：CN101632040A
公开(公告)日：2010-01-20
申请号：CN200880007974.5
申请日：2008-03-17
Applicant: 佳能株式会社
CPC classification number: B29C35/0888 , B29C37/0053 , B29C43/003 , B29C43/021 , B29C43/58 , B29C2035/0827 , B29C2043/025 , B29C2043/3634 , B29C2043/5833 , B82Y10/00 , B82Y40/00 , G03F7/0002 , H01J37/026 , H01J2237/0042 , H01J2237/0047
Abstract: 一种压印方法包括以下步骤：在模具的压印图案与树脂材料接触或接近的状态下，对基板上所形成的树脂材料进行固化；以及将所述模具从所述固化的树脂材料分开。在以用于使得放置有所述模具和所述固化的树脂材料的气氛中的气体分子离子化的电磁波照射形成所述模具的压印图案的整个区域以及固化的树脂材料的同时，实现所述分开。
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公开(公告)号：CN101454636A
公开(公告)日：2009-06-10
申请号：CN200780019866.5
申请日：2007-05-30
Applicant: 佳能株式会社
CPC classification number: B82Y10/00 , B82Y40/00 , G01B11/14 , G03F7/0002 , G03F9/00 , G03F9/703 , G03F9/7092
Abstract: 一种用于通过如下方式来测量两个部件之间的间隙的间隙测量方法，其中，利用来自一个部件侧的光来照射被布置为彼此相对的所述两个部件，以获得关于来自另一部件侧的反射光或透射光的强度的谱数据；通过将获得的谱数据与数据库进行比较来确定第一部件与第二部件之间的间隙，其中，在所述数据库中，间隙长度与强度谱彼此关联。该间隙测量方法用于在压印方法和用于纳米压印的设备中控制模子与基底之间的间隙。
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公开(公告)号：CN101292195A
公开(公告)日：2008-10-22
申请号：CN200680038978.0
申请日：2006-10-18
Applicant: 佳能株式会社
IPC: G03F7/00
Abstract: 一种将提供给模具的图案压印到衬底或衬底上的元件上的压印装置，包括：光源，其用光辐照与所述衬底相对布置的所述模具的表面和所述衬底的表面；光学系统，其用于将来自所述光源的光导引到所述模具的表面和所述衬底的表面并且将来自这些表面的反射光导引到分光镜；分光镜，其用于将所述光学系统导引的反射光散射成光谱；和分析器，其用于分析所述模具的表面和所述衬底的表面之间的距离。所述分析器通过测量所述模具的表面和在远离所述模具的表面的位置形成的表面之间的距离计算所述模具的表面和所述衬底的表面之间的距离。
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公开(公告)号：CN101082770A
公开(公告)日：2007-12-05
申请号：CN200710108780.1
申请日：2007-05-31
Applicant: 佳能株式会社
IPC: G03F7/00
CPC classification number: G03F7/0002 , B82Y10/00 , B82Y40/00
Abstract: 一种通过使用给模子设置的压印图案在基板上的图案形成材料上形成图案的图案形成方法由下述步骤构成：制备在其上具有图案形成区域的基板；将处于未固化状态的所述图案形成材料在不同间距的多个位置上按分散状态设置在所述图案形成区域中；以及在所述图案形成材料变形为与给所述模子设置的所述压印图案的形状相对应的形状的状态下，固化所述图案形成材料。
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Patent Agency Ranking
公开(公告)号：CN1952777A
公开(公告)日：2007-04-25
申请号：CN200610136276.8
申请日：2006-10-18
Applicant: 佳能株式会社
IPC: G03F7/00
CPC classification number: G03F7/0002 , B29C43/56 , B82Y10/00 , B82Y40/00
Abstract: 一种刻印方法，用于将模具上的刻印图形刻印到基片上的图形形成材料上，以便实现高的生产能力，所述方法包括以下步骤：使刻印图形与基片上的图形形成材料接触；在模具与基片之间施加第一压力，以便增大刻印图形与图形形成材料之间的接触区域；在低于第一压力的第二压力下，调节模具与基片之间的位置关系。
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公开(公告)号：CN1876393A
公开(公告)日：2006-12-13
申请号：CN200610091718.1
申请日：2006-06-07
Applicant: 佳能株式会社
CPC classification number: G03F7/0002 , B82Y10/00 , B82Y40/00
Abstract: 本发明致力于一种压印装置，包括：用于保持模子的第一保持部分(100)；用于保持待加工部件的第二保持部分(1040)；以及用于在一位置部分地支承待加工部件的支承部分(1050)，该位置与由所述第一保持部分所保持的模子相对。所述模子和所述支承部分确定了用于给待加工部件加压的加压轴线。所述支承部分和所述第二保持部分可以沿一方向彼此相对移动，该移动与所述第一保持部分无关，该方向平行于所述加压轴线，以便移动所述支承部分离开待加工部件。
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公开(公告)号：CN112068398A
公开(公告)日：2020-12-11
申请号：CN202010528111.5
申请日：2020-06-11
Applicant: 佳能株式会社
Abstract: 本发明涉及模拟方法、模拟装置、存储介质、膜形成方法和生产固化产物的方法。提供一种在使布置在第一构件和第二构件中的一个上的可固化成分的多个液滴与第一构件和第二构件中的另一个接触并在第一构件上形成可固化成分的膜的过程中预测可固化成分的行为的模拟方法。所述方法包括：通过连接所述多个液滴的两个相邻代表点来生成链接；生成作为由多个链接形成的闭合区域的单胞；以及，基于对应于形成单胞的各链接的液滴的合并的存在/不存在，确定是否在单胞中形成了气泡。
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公开(公告)号：CN105584030B
公开(公告)日：2018-06-12
申请号：CN201510760851.0
申请日：2015-11-10
Applicant: 佳能株式会社
CPC classification number: G03F7/0002 , B29C43/3642 , B29C2043/3652
Abstract: 提供了一种压印方法，其通过形成在模具上的图案部分模制施加到基板的未固化的树脂并且固化未固化的树脂，以便形成固化在基板上的树脂的图案。压印方法包括从树脂释放图案部分的步骤，使得基于图案部分被从树脂剥离的边界是直线的假设，两条相对的边界相互靠近以使剥离进展同时在树脂固化之后保持平行状态。
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公开(公告)号：CN101600993B
公开(公告)日：2013-01-16
申请号：CN200880003889.1
申请日：2008-02-05
Applicant: 佳能株式会社
CPC classification number: G03F7/0002 , B05C11/00 , B29C59/002 , B82Y10/00 , B82Y40/00 , G03F9/7023 , G03F9/703 , G03F9/7042
Abstract: 一种用于将设置在模具上的刻印图案刻印到形成在基片上的图案形成层上的刻印方法，所述方法由以下步骤构成，所述步骤为：第一个步骤，在所述第一个步骤中，借助反馈控制进行基片与模具之间的对准；第二个步骤，在所述第二个步骤中，使模具与图案形成层相互接触；第三个步骤，在所述第三个步骤中，将图案形成层固化；以及第四个步骤，在所述第四个步骤中，增大基片与模具之间的间隙。所述刻印方法还包括在第一个步骤与第二个步骤之间和/或在第二个步骤与第三个步骤之间将反馈控制停止的步骤。
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