公开(公告)号：CN110133032B

公开(公告)日：2020-09-04

申请号：CN201910494648.1

申请日：2019-06-10

Applicant: 上海精测半导体技术有限公司

Inventor： 张旭

IPC: G01N23/2251

Abstract: 本申请揭示了一种二次电子探测器、包含该二次电子探测器的带电粒子光学成像设备及探测方法。二次电子探测器，自二次电子探测器所形成的探测区对称中心径向向外形成至少三个相互隔离的圆环探测区，以通过所述圆环探测区接收自样品表面出射的二次电子。通过本申请所揭示的二次电子探测器及带电粒子光学成像设备，提高了对样品基于对二次电子探测所形成的检测图像表征样品本征形貌的准确度，克服了样品表面颗粒、凸起和边缘等特征处所导致的图形失真的缺陷，并具有不同方位角的二次电子的探测效果。

公开(公告)号：CN114300326B

公开(公告)日：2024-11-22

申请号：CN202111578310.8

申请日：2021-12-22

Applicant: 上海精测半导体技术有限公司

Inventor： 沈晓天 ,  张旭

IPC: H01J37/18

Abstract: 本发明提供了一种真空门阀及具真空环境的带电粒子束设备，真空门阀，活动闭合或打开与腔室连通的第一通孔，并包括阀门杆，与阀门杆随动的主动球，围合主动球的套筒，活动连接套筒的门板，门板容置与主动球抵持的被动球，以及驱动机构；通过驱动机构驱动阀门杆和套筒作正向的水平运动，以通过限位件抵持套筒，驱动阀门杆继续作正向的水平运动实现阀门杆和套筒的相对运动，使主动球顶推被动球，使门板沿竖直方向向下位移，以闭合第一通孔，通过驱动机构驱动阀门杆作反向的水平运动实现相对运动以使门板上移，以打开第一通孔。本发明所揭示的真空门阀具有密封效果良好及使用寿命较长的优点。

公开(公告)号：CN116203804A

公开(公告)日：2023-06-02

申请号：CN202211697802.3

申请日：2022-12-28

Applicant: 上海精测半导体技术有限公司

Inventor： 王岗 ,  刘骊松 ,  张旭

IPC: G03F7/20

Abstract: 本发明提供了一种IC设计版图和扫描电镜图像的配准方法及关键尺寸的测量方法，所述配准方法，包括：对第一IC设计版图进行二值化操作，以获取第二IC设计版图；对第一扫描电镜图像进行滤波操作，以获取第二扫描电镜图像；获取第一配准位置；对第二扫描电镜图像进行边缘提取，以获取第三扫描电镜图像；获取第一局部图像和第二局部图像；通过在采样区域内调整第一局部图像和第二局部图像之间的相对位置，进行迭代计算并在所述相对位置满足预设条件时停止迭代计算，以获取第二配准位置。本发明基于IC设计版图的全局图像和局部图像对IC设计版图和扫描电镜图像进行配准，能够获取更加精确的配准结果。

公开(公告)号：CN117392360A

公开(公告)日：2024-01-12

申请号：CN202311434083.0

申请日：2023-10-31

Applicant: 上海精测半导体技术有限公司

Inventor： 刘骊松 ,  王岗 ,  黄涛 ,  张旭

IPC: G06V10/22 ,  G06V10/75 ,  G06V20/69 ,  G06T7/60 ,  G06T7/00 ,  H01L21/66

Abstract: 本发明公开了一种CD‑SEM设备的定位方法和测量方法，用于定位晶圆上的测量点，包括：在创建工作菜单时，使用工作图像确定预设的所有测量点的位置，并确定对应的定位点的位置，在定位点的位置以第一放大倍率采集第一模板图像并选取第一模板，还以第二放大倍率采集第二模板图像；在执行工作菜单时，遍历各测量点，在对应的定位点的位置以第一放大倍率采集目标图像，基于第一模板与目标图像模板匹配，当匹配成功时，确定测量点的位置，当匹配失败时，降采样目标图像得到具有第二放大倍率的降采样图像，基于降采样图像与第二模板图像模板匹配，以确定测量点的位置。该定位方法和测量方法的可靠性高，能够节省时间，且能提升设备的吞吐量。

公开(公告)号：CN116110767A

公开(公告)日：2023-05-12

申请号：CN202211655238.9

申请日：2022-12-22

Applicant: 上海精测半导体技术有限公司

Inventor： 罗浒 ,  张旭

IPC: H01J37/20 ,  H01J37/22 ,  H01J37/26

Abstract: 本发明提供一种带电粒子束装置及其控制方法，带电粒子束装置包括：粒子源，用于释放带电粒子束；显微镜柱，包括：物镜，用于对所述带电粒子束进行聚焦；成像系统，用于拍摄样品，以获得所述样品表面的高度信息以及平面信息；运动台，用于承载并带动所述样品运动；控制单元，响应于所述运动台带动样品运动，以根据所述样品表面的高度信息以及平面信息，补偿所述物镜的焦距和/或控制所述样品与所述显微镜柱之间的距离。本申请实现带电粒子束装置的自动聚焦和/或带电粒子束装置及样品保护。

公开(公告)号：CN114240850A

公开(公告)日：2022-03-25

申请号：CN202111412501.7

申请日：2021-11-25

Applicant: 上海精测半导体技术有限公司

Inventor： 刘骊松 ,  张旭 ,  黄涛 ,  夏霞

IPC: G06T7/00 ,  G06T7/11 ,  G06T7/136 ,  G06V10/44

Abstract: 本发明公开了一种带电粒子束扫描成像设备实际像素尺寸的获取方法，包括:在晶圆上采集模板图像，在所述模板图像中提取模板；按预设方向移动晶圆并采集目标图像，根据所述模板在所述目标图像中进行模板匹配以获得匹配位置，获取所述模板和匹配位置之间的目标位移，将所述目标图像作为所述模板图像，进行下一次的所述提取模板和模板匹配以获得另一所述目标位移，当满足预设停止条件时停止采集图像和提取模板；根据累积的所述目标位移和晶圆实际位移获取所述实际像素尺寸。本发明提供了一种带电粒子束扫描成像设备实际像素尺寸的获取方法，进行多次匹配，可以提高获取实际像素尺寸的速度、精度和可靠性。

公开(公告)号：CN307690452S

公开(公告)日：2022-11-25

申请号：CN202230307145.1

申请日：2022-05-23

Applicant: 上海新微技术研发中心有限公司 ,  上海精测半导体技术有限公司

Designer： 张力 ,  胡立磊 ,  罗浒 ,  任嘉莹 ,  陈昌 ,  张旭 ,  曹明霞

Abstract: 1.本外观设计产品的名称：电子探测器芯片。
2.本外观设计产品的用途：应用于扫描电子显微镜中，用于对各种材料、微电子器件、生物样品进行成像表征测试，可同时实现对化学组成成份的成像以及对样品表面形貌成像。
3.本外观设计产品的设计要点：在于形状与图案的结合。
4.最能表明设计要点的图片或照片：组合状态1立体图。