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公开(公告)号：CN116960209A
公开(公告)日：2023-10-27
申请号：CN202210411524.4
申请日：2022-04-19
申请人： 上海新微技术研发中心有限公司 , 上海精测半导体技术有限公司
IPC分类号： H01L31/105
摘要： 本发明提供一种超浅结深低能量电子探测器，电子探测器包括：硅衬底，其包含相对的第一面和第二面；超浅结深的P型掺杂层，通过在硅衬底表面形成硼单质层后进行热扩散的方式形成于硅衬底的第一面，P型掺杂层的厚度介于3～10nm之间；N型掺杂层，形成于硅衬底的第二面；保护环结构，自P型掺杂层朝硅衬底延伸；阻挡层，形成于P型掺杂层上，阻挡层中形成有窗口，通过窗口定义电子探测器的探测区域；网格状电极，形成于探测区域中的P型掺杂层上。本发明可以有效解决电子探测器对低能量电子的探测问题，有效提高对低能量电子的探测效率。
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公开(公告)号：CN116230483A
公开(公告)日：2023-06-06
申请号：CN202211647588.0
申请日：2022-12-21
申请人： 上海精测半导体技术有限公司
IPC分类号： H01J37/32
摘要： 本发明提供一种用于真空环境中隔离高压电极的绝缘装置，绝缘装置包括：绝缘体，包括相背的第一端面以及第二端面，所述第一端面与第一电极连接，所述第二端面与第二电极连接，所述第一电极与所述第二电极位于所述真空环境，且所述第一电极的电势小于所述第二电极的电势；其中，所述绝缘体的所述第一端面的表层及所述第一端面的侧面邻域表层覆盖有导电层。本申请改善电极、绝缘体和真空接触面处电场，从而提高真空环境中的绝缘体的耐压性能。
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公开(公告)号：CN114300325B
公开(公告)日：2023-08-25
申请号：CN202111632281.9
申请日：2021-12-28
申请人： 上海精测半导体技术有限公司
IPC分类号： H01J37/065 , H01J37/12 , H01J37/141 , H01J37/21
摘要： 本发明提供了一种带电粒子束装置及调整方法，所述装置包括：第一聚焦透镜和第二聚焦透镜对带电粒子束进行聚焦；第一偏转电极用于使所述带电粒子束偏转并能到达所述第二聚焦透镜的出口孔的所有区域，以获取所述第二聚焦透镜的出口孔的图像；计算单元根据所述第二聚焦透镜的出口孔的图像，确定所述第二聚焦透镜的中心位置；调节系统基于所述第二聚焦透镜的中心位置，将所述带电粒子束的中心位置、所述第一聚焦透镜的中心位置调节至所述第二聚焦透镜的中心位置所在的竖直线上。本发明通过确定所述第二聚焦透镜的中心位置来调节所述带电粒子束和第一聚焦透镜的位置，减少待测样品的成像球差，并提高了所述带电粒子束装置的分辨率。
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公开(公告)号：CN116110767A
公开(公告)日：2023-05-12
申请号：CN202211655238.9
申请日：2022-12-22
申请人： 上海精测半导体技术有限公司
摘要： 本发明提供一种带电粒子束装置及其控制方法，带电粒子束装置包括：粒子源，用于释放带电粒子束；显微镜柱，包括：物镜，用于对所述带电粒子束进行聚焦；成像系统，用于拍摄样品，以获得所述样品表面的高度信息以及平面信息；运动台，用于承载并带动所述样品运动；控制单元，响应于所述运动台带动样品运动，以根据所述样品表面的高度信息以及平面信息，补偿所述物镜的焦距和/或控制所述样品与所述显微镜柱之间的距离。本申请实现带电粒子束装置的自动聚焦和/或带电粒子束装置及样品保护。
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公开(公告)号：CN116960210A
公开(公告)日：2023-10-27
申请号：CN202210412765.0
申请日：2022-04-19
申请人： 上海新微技术研发中心有限公司 , 上海精测半导体技术有限公司
IPC分类号： H01L31/105 , H01L31/0224 , H01L31/18 , H01L27/144
摘要： 本发明提供一种浅结深低能量电子探测器，包括：硅衬底；第一本征非晶硅层和第二本征非晶硅层，分别形成于硅衬底的第一面和第二面，以钝化硅衬底的第一面和第二面；P型非晶硅层和N型非晶硅层，分别形成于第一本征非晶硅层和第二本征非晶硅层上；保护环结构，自P型非晶硅层朝硅衬底延伸；阻挡层，形成于P型非晶硅层上，阻挡层中形成有窗口，通过窗口定义电子探测器的探测区域；网格状电极，形成于探测区域中的P型非晶硅层上。本发明通过非晶硅层并经热退火处理来实现对硅衬底表面缺陷的修复，钝化不饱和化学键，从而提高表面载流子寿命，可有效解决电子探测器对低能量电子的探测问题，提高对低能量电子的探测效率。
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公开(公告)号：CN116960134A
公开(公告)日：2023-10-27
申请号：CN202210405269.2
申请日：2022-04-18
申请人： 上海新微技术研发中心有限公司 , 上海精测半导体技术有限公司
IPC分类号： H01L27/146
摘要： 本发明提供一种探测器像素结构及电子探测器。探测器像素结构包括半导体衬底、第一和第二导电类型重掺杂层、绝缘层、上电极、下电极、电子通道孔电极、金属保护环及掺杂环；掺杂环位于半导体衬底内，且位于第一导电类型重掺杂层的外侧，并显露于半导体衬底的第一表面；绝缘层自非探测区域表面延伸到半导体衬底的表面，上电极自非探测区域表面延伸到绝缘层的表面；电子通道孔电极位于半导体衬底的侧壁，且一端与下电极电连接，另一端延伸到绝缘层的侧面，金属保护环位于半导体衬底的表面，且位于上电极的外侧。本发明可以有效避免因电子束传播方向发生偏移而导致的图像发生畸变的情况，可降低探测器的漏电流，提高击穿电压，由此提高探测性能。
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公开(公告)号：CN116053103A
公开(公告)日：2023-05-02
申请号：CN202211630794.0
申请日：2022-12-16
申请人： 上海精测半导体技术有限公司
IPC分类号： H01J37/147 , H01J37/26
摘要： 本公开提供了一种静电偏转器，该静电偏转器包括偶数个电极组，每个电极组包括m个电极和导电连接部，m个电极连接于导电连接部，m为大于或等于2的整数。该静电偏转器能够简化导线连接，可以降低因导线虚焊、虚接或折断而导致静电偏转器失灵的风险，提高可靠性。
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公开(公告)号：CN114300325A
公开(公告)日：2022-04-08
申请号：CN202111632281.9
申请日：2021-12-28
申请人： 上海精测半导体技术有限公司
IPC分类号： H01J37/065 , H01J37/12 , H01J37/141 , H01J37/21
摘要： 本发明提供了一种带电粒子束装置及调整方法，所述装置包括：第一聚焦透镜和第二聚焦透镜对带电粒子束进行聚焦；第一偏转电极用于使所述带电粒子束偏转并能到达所述第二聚焦透镜的出口孔的所有区域，以获取所述第二聚焦透镜的出口孔的图像；计算单元根据所述第二聚焦透镜的出口孔的图像，确定所述第二聚焦透镜的中心位置；调节系统基于所述第二聚焦透镜的中心位置，将所述带电粒子束的中心位置、所述第一聚焦透镜的中心位置调节至所述第二聚焦透镜的中心位置所在的竖直线上。本发明通过确定所述第二聚焦透镜的中心位置来调节所述带电粒子束和第一聚焦透镜的位置，减少待测样品的成像球差，并提高了所述带电粒子束装置的分辨率。
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公开(公告)号：CN116960139A
公开(公告)日：2023-10-27
申请号：CN202210463876.4
申请日：2022-04-19
申请人： 上海新微技术研发中心有限公司 , 上海精测半导体技术有限公司
IPC分类号： H01L27/146 , H01L31/105
摘要： 本发明提供一种图形化原位放大电子探测器，包括：第一半导体层；源区和漏区，间隔设置于第一半导体层的第一面的表层；图形沟槽，形成于第一半导体层的第一面的沟道区中；底部掺杂区，形成于第一半导体层第二面表层；介质层，设置于第一半导体层的第一面及图形沟槽表面；第二半导体层，设置于介质层上，第二半导体层的第二面与介质层相接；第一掺杂区，间隔设置于第二半导体层的第二面的表层；第二掺杂区，设置于第二半导体层的第一面的表层，第二掺杂区和第一掺杂区具有相反的导电类型。本发明将P‑i‑N型吸收区和电子信号放大的晶体管结构进行集成，实现了一种具有原位放大功能的新型电子探测器，可以大大提高电子探测器的响应速度和灵敏度。
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公开(公告)号：CN116960138A
公开(公告)日：2023-10-27
申请号：CN202210412752.3
申请日：2022-04-19
申请人： 上海新微技术研发中心有限公司 , 上海精测半导体技术有限公司
IPC分类号： H01L27/146 , H01L31/105
摘要： 本发明提供一种直接型电子探测器，包括：半导体叠层结构及外围信号测量电路；半导体叠层结构由下向上依次包括：第一半导体层、第二半导体层、本征层及第三半导体层；第一半导体层为第一掺杂类型，第二半导体层及第三半导体层为第二掺杂类型；第三半导体层及本征层形成电子吸收区，第一半导体层及第二半导体层形成雪崩区；外围信号测量电路包括电阻及计数器；半导体叠层结构倒装并与外围信号测量电路焊接在一起，其中电阻与第一半导体层电连接，以实现外围信号测量电路对电信号的计数测量。通过设置雪崩区可有效实现对入射电子的雪崩倍增，提高探测灵敏度；通过减小本征层的厚度，提高探测器信号读取速度。
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