公开(公告)号：CN114300326A

公开(公告)日：2022-04-08

申请号：CN202111578310.8

申请日：2021-12-22

Applicant: 上海精测半导体技术有限公司

Inventor： 沈晓天 ,  张旭

IPC: H01J37/18

Abstract: 本发明提供了一种真空门阀及具真空环境的带电粒子束设备，真空门阀，活动闭合或打开与腔室连通的第一通孔，并包括阀门杆，与阀门杆随动的主动球，围合主动球的套筒，活动连接套筒的门板，门板容置与主动球抵持的被动球，以及驱动机构；通过驱动机构驱动阀门杆和套筒作正向的水平运动，以通过限位件抵持套筒，驱动阀门杆继续作正向的水平运动实现阀门杆和套筒的相对运动，使主动球顶推被动球，使门板沿竖直方向向下位移，以闭合第一通孔，通过驱动机构驱动阀门杆作反向的水平运动实现相对运动以使门板上移，以打开第一通孔。本发明所揭示的真空门阀具有密封效果良好及使用寿命较长的优点。

公开(公告)号：CN114300326B

公开(公告)日：2024-11-22

申请号：CN202111578310.8

申请日：2021-12-22

Applicant: 上海精测半导体技术有限公司

Inventor： 沈晓天 ,  张旭

IPC: H01J37/18

Abstract: 本发明提供了一种真空门阀及具真空环境的带电粒子束设备，真空门阀，活动闭合或打开与腔室连通的第一通孔，并包括阀门杆，与阀门杆随动的主动球，围合主动球的套筒，活动连接套筒的门板，门板容置与主动球抵持的被动球，以及驱动机构；通过驱动机构驱动阀门杆和套筒作正向的水平运动，以通过限位件抵持套筒，驱动阀门杆继续作正向的水平运动实现阀门杆和套筒的相对运动，使主动球顶推被动球，使门板沿竖直方向向下位移，以闭合第一通孔，通过驱动机构驱动阀门杆作反向的水平运动实现相对运动以使门板上移，以打开第一通孔。本发明所揭示的真空门阀具有密封效果良好及使用寿命较长的优点。