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公开(公告)号：CN100489452C
公开(公告)日：2009-05-20
申请号：CN200710038294.7
申请日：2007-03-22
Applicant: 上海交通大学
Abstract: 一种微机电技术领域的反磁转子电磁感应驱动微型陀螺仪。本发明由上定子，转子和下定子构成，采用上、下定子螺旋线圈结构作电磁感应旋转驱动，通过对永磁材料制备的上、下定子公共电容极板结构的四个边缘弧形区以及上、下定子检测Z轴方向线加速度和绕X、Y轴的角加速度的电容极板充磁，同时采用反磁材料制作转子基片，提供了一种相比传统磁悬浮转子微陀螺省去了悬浮线圈和稳定线圈，且改为采用永磁材料和反磁材料相结合实现自稳悬浮的反磁转子电磁感应驱动微型陀螺仪。它可以同时检测包括沿X、Y、Z轴的线加速度以及绕X、Y轴角加速度等多个自由度的加速度，进而可以用来对物体进行精确定位，用于检测外界加速度信号或导航。
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公开(公告)号：CN101216499A
公开(公告)日：2008-07-09
申请号：CN200810032470.0
申请日：2008-01-10
Applicant: 上海交通大学
Abstract: 一种微机电系统领域的圆形及多环形轴向充磁永磁反磁敏感质量微加速度计，由上定子、转子和下定子构成，依靠上、下定子中的圆柱形及多环形轴向充磁永磁体对反磁转子提供悬浮力和侧向稳定力，实现无控制自稳起支悬浮，同时又利用上、下定子的轴向检测及反馈电极和下定子侧向检测及反馈电极与转子之间静电力来提高微加速度计的轴向刚度、侧向刚度和抗冲击能力，增强稳定悬浮性能，降低了转子的起支过程和起支控制难度，不需要复杂控制机构即可实现自稳定，功耗小、实现方便，尺寸小，可以同时检测包括沿X、Y、Z轴的三轴线加速度以及绕X、Y轴二轴角加速度。
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公开(公告)号：CN101216311A
公开(公告)日：2008-07-09
申请号：CN200810032475.3
申请日：2008-01-10
Applicant: 上海交通大学
Abstract: 一种微机电系统领域的圆形及多环形轴向径向充磁永磁反磁转子感应旋转微陀螺，由上定子、转子和下定子构成，依靠上、下定子中的圆柱形及多环形轴向径向充磁永磁体对反磁转子提供悬浮力和侧向稳定力，实现无控制自稳起支悬浮，利用上下定子的旋转线圈产生旋转电磁场，拉动转子高速旋转，同时又利用上、下定子的轴向检测及反馈电极和下定子侧向检测及反馈电极与转子之间静电力来提高微陀螺的轴向刚度、侧向刚度和抗冲击能力，增强稳定悬浮性能，降低了转子的起支过程和起支控制难度，不需要复杂控制机构即可实现自稳定，功耗小、实现方便，尺寸小，可以同时检测包括沿X、Y、Z轴的三轴线加速度以及绕X、Y轴二轴角加速度。
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公开(公告)号：CN1831540A
公开(公告)日：2006-09-13
申请号：CN200610025872.9
申请日：2006-04-20
Applicant: 上海交通大学
IPC: G01P15/125 , G01P15/18
Abstract: 一种抗磁性悬浮永磁转子微加速度计，属于微机电技术领域。本发明采用三明治结构形式，由上、下定子和盘形导电永磁转子构成，上、下定子通过其上的三对弧形铜柱形成了转子腔，转子腔的中心为坐标系OXYZ的原点、Z轴为重力方向，导电永磁转子位于这个转子空腔内，上、下定子通过其上的接线铜柱和其上的共晶铅锡焊flip－chip键合实现电气和机械连接。本发明的检测质量块(永磁转子)的稳定悬浮是基于永磁体与永磁体、永磁体与抗磁体相互作用实现的。本发明的信号获取是通过检测差分电容的变化得到，对转子的反馈力和反馈力矩控制是通过对相应电容极板施加的直流控制电压来实现。本发明可以同时检测沿X、Y、Z轴的线加速度以及绕X、Y轴角加速度。
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公开(公告)号：CN114155980B
公开(公告)日：2025-04-25
申请号：CN202111476594.X
申请日：2021-12-06
Applicant: 上海交通大学
IPC: G21B1/19 , G21B1/11 , B29C64/307 , B33Y40/20 , B33Y80/00
Abstract: 本发明提供了一种用于低温冷冻靶的浸润球壳及其制备方法，包括：基本单元为正四面体结构，所述正四面体结构由实心棱柱构成，内部为空心结构，利用该空心结构作为液体流动、填充空间；所述正四面体结构中设置有微柱或亲水结构。多个基本单元通过密堆积排列形成整体球壳结构。本发明上述球壳基于3D打印制备，利用微结构间的毛细力作用实现液体在结构表面的输运及浸润，同时可以进一步对结构表面进行改性处理，从而有效提高液体浸润效果。该种方法无需采用过程复杂的制备步骤，过程简单便捷，成本较低。
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Patent Agency Ranking
公开(公告)号：CN119689020A
公开(公告)日：2025-03-25
申请号：CN202411879781.6
申请日：2024-12-19
Applicant: 上海交通大学
Abstract: 本发明公开一种基于PT对称的谐振型流场MEMS传感器及其制备方法，包括：两个双端固定音叉谐振器耦合，其结构镜面对称，质量大小相等；两个双端固定音叉谐振器位于同一直线上；梳齿电容对称分布于每个双端固定音叉谐振器的两侧；两个可调阻尼电路通过引线与电极层连接，实现与两个双端固定音叉谐振器的对应连接；两个可调阻尼电路的等效阻尼，符号相反、大小相等；纤毛支撑结构悬空设置在一个双端固定音叉谐振器的一端；微杠杆连接纤毛支撑结构及双端固定音叉谐振器；纤毛设置在纤毛支撑结构上；玻璃作为传感器的基底。本发明能使谐振型流场MEMS传感器获得更高灵敏度的微扰响应性能，实现对微弱流速的灵敏测量。
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公开(公告)号：CN116913559A
公开(公告)日：2023-10-20
申请号：CN202310989060.X
申请日：2023-08-08
Applicant: 上海交通大学
IPC: G21B1/19
Abstract: 本发明提供一种用于激光约束核聚变常温实验的双楔形对撞靶及制备方法，对撞靶包括：连接支撑架，为对撞靶提供支撑作用；一对上下呈面对称的楔形约束结构，设于连接支撑架上，一对楔形约束结构形成对撞结构；每个楔形约束结构包括：两个呈预设夹角的约束面，两个约束面之间留有空隙，约束面上设有高Z材料层；聚合物柱状壳，其两端分别与两个约束面连接，聚合物柱状壳提供激光打靶实验材料，聚合物柱状壳具有预设的弯曲弧度，聚合物柱状壳的弯曲方向朝向约束面。本发明的双锥形对撞靶可用于双锥对撞激光约束核聚变常温实验中，满足对聚合物柱状壳的柱面状原材料进行烧蚀、压缩后，进一步进行对撞的需求。
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公开(公告)号：CN114141392A
公开(公告)日：2022-03-04
申请号：CN202111438179.5
申请日：2021-11-30
Applicant: 上海交通大学
Abstract: 本发明提供一种三锥结构激光聚变点火靶、装配装置和装配方法，该点火靶包括侧面的点火锥体安装孔和上下设置的两个压缩锥体安装孔，形成三锥结构；该装置包括工作台和设于工作台上的置物底座、真空吸附装置、点胶装置、对准装置、三轴位移台、显示机构和三个图像获取机构；该方法包括：通过点胶装置分别向点火靶的压缩锥体安装孔和点火锥体安装孔中点胶；分别将压缩锥体装配于压缩锥体安装孔，将点火锥体装配于点火锥体安装孔；利用对准装置对点火锥体的位置和两个压缩锥体的同轴度进行调整对准；将聚合物球冠分别装配于校准后的两个压缩锥体内。本发明将自动化装配和手工装配方式相结合，能够提高激光聚变点火靶的装配精度和效率。
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公开(公告)号：CN111609887B
公开(公告)日：2021-07-13
申请号：CN202010475567.X
申请日：2020-05-29
Applicant: 上海交通大学
Abstract: 本发明公开了一种柔性聚合物封闭膜仿生纤毛微传感器及其制备方法，涉及微机电技术领域，包括纤毛、柔性膜、SOI硅‑玻璃电容结构，SOI硅‑玻璃电容结构包括上层硅结构(Z向及转角检测电极、公共电极及支撑层)、中间层硅结构(动梳齿电极的检验质量块、X向水平电极、静梳齿电极、硅穿孔铜引线柱)、底层玻璃结构(底层Z向及转角检测轴向电极、公共电极以及引线、引脚)，能测量纤毛转动角度。纤毛受流场作用后，带动硅连接柱及检验质量块发生角位移偏转，使检验质量块与四周的电极形成的转角电容变化，转角电容由流场输入大小、柔性膜扭转刚度和静电控制力矩决定。通过检测电容和静电力矩反馈平衡电压，测量得到输入的流速或剪应力。
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公开(公告)号：CN112978670A
公开(公告)日：2021-06-18
申请号：CN202110189293.2
申请日：2021-02-19
Applicant: 上海交通大学
Abstract: 本发明提供了一种扭转式仿生纤毛流速传感器装置，包括：纤毛、硅结构层、金属电极与引线引脚层以及Pyrex玻璃层；自上而下依次设置纤毛、硅结构层、金属电极与引线引脚层以及Pyrex玻璃层；所述硅结构层包括：电容上极板；所述纤毛紧固连接于电容上极板上；所述金属电极与引线引脚层包括：电容上极板电极引线引脚、电容下极板与其电极引线引脚；所述电容上极板电极引线引脚和电容下极板电极引线引脚设置于金属引脚层的上部；所述电容下极板设置于金属引脚层的下部；所述Pyrex玻璃层设置于扭转式仿生纤毛流速传感器装置的底部。
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