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公开(公告)号：CN102815672A
公开(公告)日：2012-12-12
申请号：CN201210295039.1
申请日：2005-04-05
Applicant: 三菱电机株式会社
IPC: C01B13/11
CPC classification number: C01B13/11 , C01B2201/12 , C01B2201/22 , C01B2201/34 , C01B2201/64
Abstract: 本发明提供一种臭氧发生装置，其目的在于：在以极高纯度的氧（纯度≥99.9%）为原料气体的情况下，高效率地生成不含氮氧化物的高浓度臭氧气体。本发明的臭氧发生装置具有通过施加交流电压而放电的两个电极（11、12），以及设置在上述电极间的至少一个电介体（22）；向发生上述放电的放电空间（40）内提供含氧的原料气体，经上述放电产生臭氧；在至少一个上述电极和放电空间之间的与放电接触的面的表面电阻率为104Ω~1011Ω；提供给上述放电空间的原料气体为纯度≥99.9%的高纯度的氧。
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公开(公告)号：CN1217853C
公开(公告)日：2005-09-07
申请号：CN02127123.2
申请日：2002-07-26
Applicant: 三菱电机株式会社
CPC classification number: C01B13/11 , C01B2201/12 , C01B2201/22 , C01B2201/32 , C01B2201/76
Abstract: 根据本发明能够获得组装简单、小型且浓度度高、效率高的臭氧发生器。在本发明的臭氧发生器中，低压电极(29)由与高压电极(8)相对的圆形的低压电极主体(29a)和设在该低压电极主体(29a)的一侧上的延设部(29b)构成，并且该延设部(29b)通过块状体(30)多级叠层，在延设部(29b)和块状体(30)上，向制冷剂通路(34)供给制冷剂的制冷剂入口部、将来自制冷剂通路(34)的制冷剂排出的制冷剂出口部35和将来自臭氧气体通路(36)的臭氧气体排出的臭氧气体出口部(33)分别贯通地形成在放电单元(28)的叠层方向上。
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公开(公告)号：CN1421381A
公开(公告)日：2003-06-04
申请号：CN02127134.8
申请日：2002-07-26
Applicant: 三菱电机株式会社
CPC classification number: C01B13/11 , C01B2201/12 , C01B2201/22 , C01B2201/32 , C01B2201/76
Abstract: 本发明提供一种可提高放电间隙冷却性能并可形成用于产生纯净臭氧的放电间隙的臭氧发生器，它具有平板状的低压电极7、与电压电极7的主表面相对的平板状的高压电极3、设置在低压电极7与高压电极3之间的平板状的电介质5以及用于在叠层方向上形成厚度小的放电间隙6的衬垫、设置在高压电极3的与放电间隙6的反面侧主面相对的用于冷却高压电极3的电极冷却板1、夹在高压电极3与电极冷却板1之间的导热·电气绝缘板2，使得在低压电极7与高压电极3之间施加交流电压，在输入了氧气的放电间隙6中产生放电并生成臭氧气体。
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公开(公告)号：CN1421379A
公开(公告)日：2003-06-04
申请号：CN02127123.2
申请日：2002-07-26
Applicant: 三菱电机株式会社
CPC classification number: C01B13/11 , C01B2201/12 , C01B2201/22 , C01B2201/32 , C01B2201/76
Abstract: 根据本发明能够获得组装简单、小型且浓度高、效率高的臭氧发生器。在本发明的臭氧发生器中，低压电极(29)由与高压电极(8)相对的圆形的低压电极主体(29a)和设在该低压电极主体(29a)的一侧上的延设部(29b)构成，并且该延设部(29b)通过块状体(30)多级叠层，在延设部(29b)和块状体(30)上，向制冷剂通路(34)供给制冷剂的制冷剂入口部、将来自制冷剂通路(34)的制冷剂排出的制冷剂出口部35和将来自臭氧气体通路(36)的臭氧气体排出的臭氧气体出口部(33)分别贯通地形成在放电单元(28)的叠层方向上。
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公开(公告)号：CN1291347A
公开(公告)日：2001-04-11
申请号：CN99803006.6
申请日：1999-11-12
Applicant: 三菱电机株式会社 , 岛田理化工业株式会社
IPC: H01L21/027 , G03F7/42
CPC classification number: H01L21/67075 , G03F7/42 , G03F7/422 , G03F7/423 , G03F7/428
Abstract: 提供了在减少材料消耗并降低通风设施成本的同时高效率且对环境无害地去除光刻胶膜的方法及其装置。去除覆在衬底表面上的光刻胶膜的方法包括:在密闭系统中,使带有光刻胶膜的衬底表面接触光刻胶膜去除溶液;在光刻胶膜去除溶液的液面附近使臭氧以气相和/或混入溶液的状态存在;改变衬底表面与溶液液面之间的相对位置以便从衬底上除去光刻胶膜或使之分解;其中,在衬底底边从位于溶液液面上方的一个位置到衬底顶边位于溶液液面下方的另一个位置之间的范围内,连续或断续地改变相对位置。用于上述方法的装置。
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Patent Agency Ranking
公开(公告)号：CN1188070A
公开(公告)日：1998-07-22
申请号：CN97113630.0
申请日：1997-06-20
Applicant: 三菱电机株式会社
IPC: C01B13/10
CPC classification number: C01B13/11 , C01B2201/10 , C01B2201/22 , C01B2201/32
Abstract: 以小型化实现大容量的臭氧发生装置,进而实现安装及维护容易的臭氧发生装置。臭氧发生装置包括把接地电极及高压电极通过电介质相对配置、在上述电极间外加高压发生放电的放电体;把含氧气体供到电极间,借助于放电产生臭氧,其中,放电体具有多个放电单元,该放电单元通过对共同的接地电极配置多个电介质和/或电极而构成。把放电体多级层叠、连接起来构成块,把块多级层叠、连接起来构成组件。
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公开(公告)号：CN115427348A
公开(公告)日：2022-12-02
申请号：CN202080096008.6
申请日：2020-04-09
Applicant: 三菱电机株式会社
Abstract: 本发明提供一种能够高效地将氧自由基注入空气的氧自由基产生装置。具备：第一气体供给部(62)，其被供给包含氧的第一气体；第二气体供给部(71)，其被供给包含氧的第二气体；放电处理部(72)，其对供给到第二气体供给部的第二气体实施放电处理而产生氧自由基；混合部(63)，其生成将由放电处理部实施放电处理后的所述第二气体与供给到所述第一气体供给部的第一气体混合而成的混合气体；以及混合气体排出部(65)，其将由混合部生成的混合气体排出。
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公开(公告)号：CN101128964B
公开(公告)日：2012-05-09
申请号：CN200680006165.3
申请日：2006-03-16
Applicant: 三菱电机株式会社
CPC classification number: H01T19/00 , C01B13/11 , C01B2201/12 , C01B2201/14 , C01B2201/22 , C01B2201/24 , C01B2201/32 , C01B2201/34 , C01B2201/60 , C01B2201/64 , C01B2201/76 , C01B2201/90
Abstract: 在本发明的无声放电式等离子体产生装置包括电介体、夹着电介体而相对地配置的1组电极、向电极之间施加交流电压而使其放电的交流电源，向产生放电的放电空间供给气体而形成等离子体。电极的至少一个由形成在电介体上的导电性供电薄膜构成，在电介体破损而在电极之间产生了电弧放电的情况下，使产生了电弧放电的部分的供电薄膜消失或氧化，使得停止产生电弧放电。
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公开(公告)号：CN100584431C
公开(公告)日：2010-01-27
申请号：CN200710108900.8
申请日：2005-12-22
Applicant: 三菱电机株式会社
IPC: B01D53/04
Abstract: 本发明提供一种防止由于含在汽油蒸汽中的水分的影响而使吸附剂中毒、并且小型、廉价的气体状烃的处理、回收装置及方法，该方法是，在具有吸附塔和解吸塔分别至少一个的吸附解吸装置中，具备冷却该吸附解吸装置的手段，作为吸附剂，使用孔径4-100埃的单独的硅胶或合成沸石或其混合物，进行吸附解吸，进一步将吸附塔的出口气体的一部分送到解吸塔中，使用解吸时的气体作为净化气体。
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公开(公告)号：CN100531866C
公开(公告)日：2009-08-26
申请号：CN200710139977.1
申请日：2005-06-29
Applicant: 三菱电机株式会社
CPC classification number: Y02A50/235
Abstract: 本发明的VOC处理装置具备：与处理对象气体接触以吸附挥发性有机化合物的吸附体1C；以与该吸附剂1C的一部分接触的方式发生放电的多个电极对1A、1D；以及通过对该电极对1A、1D施加电压来控制在哪个电极对1A、1D中发生放电的放电控制机构3，其中，电极对1A、1D被分成多个组，放电控制机构3对电极对1A、1D的每个组施加电压，以使不同的吸附体1C的部分顺序地与放电接触。
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