体声波谐振器及制造体声波谐振器的方法

    公开(公告)号:CN108736856A

    公开(公告)日:2018-11-02

    申请号:CN201810030542.1

    申请日:2018-01-12

    CPC classification number: H03H9/173 H03H9/02015 H03H9/0514

    Abstract: 本发明提供一种体声波谐振器及制造体声波谐振器的方法。所述体声波谐振器包括:基板,包括腔槽;膜层,设置在所述基板的上方并包括凸起部。下电极的一部分设置在所述凸起部上。所述体声波谐振器还包括压电层和上电极,所述压电层被构造为使得所述压电层一部分设置在所述凸起部之上,所述上电极设置在所述压电层上。通过所述腔槽形成的第一空间以及通过所述凸起部形成的第二空间形成腔,所述腔槽设置在有效区域之下,所述凸起部包括设置在所述腔槽的外部的倾斜表面。

    声波谐振器及声波谐振器滤波器

    公开(公告)号:CN111835310B

    公开(公告)日:2024-06-11

    申请号:CN201911218963.8

    申请日:2019-12-03

    Abstract: 本发明提供一种声波谐振器及声波谐振器滤波器,所述声波谐振器包括:上电极,包括设置在压电层的上部上的第一有效区和从所述第一有效区延伸的第一延伸区;下电极,包括设置在所述压电层的下部上的第二有效区和从所述第二有效区延伸的第二延伸区;第一金属层,包括设置在所述第一延伸区上的第一电阻减小区;以及第二金属层,包括设置在所述第二延伸区上的第二电阻减小区。所述第一金属层包括从所述第一电阻减小区延伸的第一导电连接区。所述第二金属层包括从所述第二电阻减小区延伸的第二导电连接区。所述第一导电连接区和所述第二导电连接区与所述第一有效区和所述第二有效区的侧边界的各个部分对应。

    声波谐振器滤波器
    25.
    发明公开

    公开(公告)号:CN114124018A

    公开(公告)日:2022-03-01

    申请号:CN202110163071.3

    申请日:2021-02-05

    Abstract: 提供一种声波谐振器滤波器。所述声波谐振器滤波器包括:后滤波器,电连接在射频(RF)信号通过的前端口和后端口之间,所述后滤波器包括至少一个薄膜体声波谐振器(FBAR);以及前滤波器,电连接在所述前端口和所述后滤波器之间,并且包括至少一个固态装配型谐振器(SMR)。

    声波谐振器及声波谐振器滤波器

    公开(公告)号:CN111835310A

    公开(公告)日:2020-10-27

    申请号:CN201911218963.8

    申请日:2019-12-03

    Abstract: 本发明提供一种声波谐振器及声波谐振器滤波器,所述声波谐振器包括:上电极,包括设置在压电层的上部上的第一有效区和从所述第一有效区延伸的第一延伸区;下电极,包括设置在所述压电层的下部上的第二有效区和从所述第二有效区延伸的第二延伸区;第一金属层,包括设置在所述第一延伸区上的第一电阻减小区;以及第二金属层,包括设置在所述第二延伸区上的第二电阻减小区。所述第一金属层包括从所述第一电阻减小区延伸的第一导电连接区。所述第二金属层包括从所述第二电阻减小区延伸的第二导电连接区。所述第一导电连接区和所述第二导电连接区与所述第一有效区和所述第二有效区的侧边界的各个部分对应。

    滤波器
    27.
    发明公开

    公开(公告)号:CN111049497A

    公开(公告)日:2020-04-21

    申请号:CN201910618690.X

    申请日:2019-07-10

    Abstract: 本发明提供一种滤波器,所述滤波器包括:多个串联部,每个串联部包括一个或更多个串联谐振器;以及多个分路部,每个分路部包括一个或更多个分路谐振器。所述多个分路部中的至少一个分路部包括彼此反串联连接的两个分路谐振器,并且所述两个分路谐振器的反谐振频率位于通带之外。

    滤波器
    28.
    发明公开

    公开(公告)号:CN110875727A

    公开(公告)日:2020-03-10

    申请号:CN201910475470.6

    申请日:2019-06-03

    Abstract: 本公开提供一种滤波器,所述滤波器包括:串联部,设置在信号输入端子与信号输出端子之间,并且包括至少一个第一体声波谐振器;电感器部,包括第一电感器和第二电感器,所述第一电感器设置在所述串联部的两端之间,所述第二电感器具有与所述串联部和所述第一电感器的连接节点连接的第一端;以及分路部,设置在所述第二电感器的第二端与地之间,并且包括至少一个第二体声波谐振器,其中,所述至少一个第二体声波谐振器的谐振频率比所述至少一个第一体声波谐振器的谐振频率高。

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