垂直沟道单元阵列晶体管结构和包括其的DRAM器件

    公开(公告)号:CN115802744A

    公开(公告)日:2023-03-14

    申请号:CN202210517382.X

    申请日:2022-05-12

    Abstract: 提供了一种垂直沟道单元阵列晶体管结构和包括其的动态随机存取存储器(DRAM)器件。该垂直沟道单元阵列晶体管结构包括:半导体基板;多个沟道,在半导体基板上布置成阵列并且每个从半导体基板垂直地延伸;在所述多个沟道上的栅极绝缘层;多条字线,在半导体基板上并在第一方向上延伸;以及二维(2D)材料层,在所述多条字线中的每条的至少一个表面上。

    垂直沟道晶体管
    23.
    发明公开

    公开(公告)号:CN115799297A

    公开(公告)日:2023-03-14

    申请号:CN202210498032.3

    申请日:2022-05-09

    Abstract: 一种垂直沟道晶体管包括:第一源/漏电极;第二源/漏电极,在第一方向上与第一源/漏电极间隔开;第一沟道图案,在第一源/漏电极和第二源/漏电极之间;第一栅电极,在第一沟道图案的侧表面上;第一栅绝缘层,在第一沟道图案和第一栅电极之间;以及第一石墨烯插入层,在第一源/漏电极和第一沟道图案之间。

    硬掩模组合物和通过使用该硬掩模组合物形成图案的方法

    公开(公告)号:CN105319854A

    公开(公告)日:2016-02-10

    申请号:CN201510292394.7

    申请日:2015-06-01

    Abstract: 本发明涉及硬掩模组合物和通过使用该硬掩模组合物形成图案的方法。所述硬掩模组合物可包括:溶剂;和包含约0.01原子%-约40原子%氧的2维碳纳米结构体、或其2维碳纳米结构体前体。所述2维碳纳米结构体前体中的氧的含量可低于约0.01原子%或者大于约40原子%。所述硬掩模组合物可用于形成精细图案。

Patent Agency Ranking