改进模拟器参数的设备和方法
    26.
    发明公开

    公开(公告)号:CN116205126A

    公开(公告)日:2023-06-02

    申请号:CN202211511038.6

    申请日:2022-11-29

    Abstract: 提供了一种用于优化和/或改进半导体器件的模拟器参数的设备。该设备包括:存储器,被配置为存储进化池和输入张量‑分数对;以及处理器,被配置为对进化池中的生成器网络进行采样,初始化评价网络以训练被采样的生成器网络,从训练后的生成器网络生成输入张量,初始化模拟器以对输入张量执行黑盒操作以及输出分数作为操作的结果,以及将输入张量和分数作为输入张量‑分数对存储在存储器中,当输出分数大于最小分数时,将在黑盒操作中使用的信息存储在进化池中,对存储的信息进行排序,以及更新进化池,使得只有预设数量的信息留在进化池中。

    用于半导体制造工艺的邻近校正方法

    公开(公告)号:CN113870173A

    公开(公告)日:2021-12-31

    申请号:CN202110724775.3

    申请日:2021-06-29

    Abstract: 一种用于半导体制造工艺的邻近校正方法,包括:从多个样本区域产生多条原始图像数据,其中样本区域从半导体制造工艺中使用的布局数据中选择;从多条原始图像数据中去除彼此重叠的一些条原始图像数据,导致多条输入图像数据;将多条输入图像数据输入到机器学习模型;从机器学习模型获得包括在多条输入图像数据中的目标图案的临界尺寸的预测值;在半导体制造工艺在其上被执行的半导体衬底上测量对应于目标图案的实际图案的临界尺寸的结果值;以及使用预测值和结果值来执行机器学习模型的学习。

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