半导体器件结构及其形成方法
    22.
    发明公开

    公开(公告)号:CN118553783A

    公开(公告)日:2024-08-27

    申请号:CN202410212956.1

    申请日:2024-02-27

    Abstract: 本公开提供了半导体器件结构及其形成方法。公开了一种用于在半导体器件中形成瓶颈形背侧接触结构的系统和方法,其中瓶颈形背侧接触结构具有部分地在第一源极/漏极结构内的第一侧、接触背侧电源轨的第二侧以及从第一侧延伸到背侧电源轨的衬垫。衬垫包括由Ta硅化物衬垫或Ti硅化物衬垫构成的第一区域、由Ti/TiN衬垫构成的第二区域以及由Ta硅化物衬垫或Ti硅化物衬垫构成的第三区域。背侧接触结构包括具有正斜率的第一部分以及与第一部分相邻、不具有斜率的第二部分。

    半导体装置
    24.
    发明公开
    半导体装置 审中-实审

    公开(公告)号:CN112992686A

    公开(公告)日:2021-06-18

    申请号:CN202010945564.8

    申请日:2020-09-10

    Abstract: 一种半导体装置包括:晶体管,其位于衬底上;第一层间绝缘层,其位于晶体管上;第一层间绝缘层的上部分中的第一下互连线和第二下互连线;以及分别位于第一下互连线和第二下互连线上的第一过孔和第二过孔。第一下互连线的线宽大于第二下互连线的线宽。第一下互连线和第二下互连线中的每一个包括第一金属图案。第一下互连线还包括第二金属图案,第二金属图案位于第一金属图案上并包含与第一金属图案的金属材料不同的金属材料。第二金属图案不存在于第二下互连线中。第二过孔包括分别与第一层间绝缘层的顶表面和第二下互连线的顶表面接触的第一部分和第二部分,并且第二部分的底表面的最低水平高度低于第一过孔的底表面的最低水平高度。

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