-
公开(公告)号：CN113257763A
公开(公告)日：2021-08-13
申请号：CN202110557332.X
申请日：2021-05-21
Applicant: 北京大学
IPC: H01L23/367 , H01L23/473 , H01L23/49 , H01L23/31
Abstract: 本发明涉及一种包括嵌入歧管式微流道的引线键合结构，其包括:芯片，包括衬底和位于所述衬底背部的嵌入式微流道；转接板,包括歧管通道、入液口和出液口；用于使所述嵌入式微流道和所述歧管通道密封连通的低温密封层，所述低温密封层位于所述芯片和所述转接板之间；以及用于实现所述芯片至所述转接板的电气连接的键合引线。本发明还涉及一种包括嵌入歧管式微流道的引线键合结构的制备方法。本发明的引线键合结构同时具有低温工艺兼容性和封装兼容性并且具有高的散热效率。本发明的嵌入歧管式微流道具有流动距离短、流阻小、热阻小的优势，更适合集成在高功率芯片中进行高效散热。
-
公开(公告)号：CN107694347B
公开(公告)日：2020-11-13
申请号：CN201710679586.2
申请日：2017-08-10
Applicant: 北京大学
Abstract: 本发明公开了一种微孔阵列滤膜及其制备方法和应用，基于保形淀积的聚合物的微机电系统工艺(如Parylene MEMS工艺)制造了具有1平方厘米以上工作面积、可精确调控孔径及孔间隙的微孔阵列滤膜，该微孔阵列滤膜具有2.5维特点和超高孔隙率，能够实现超大体积通量的细胞富集分离。
-
公开(公告)号：CN110386587A
公开(公告)日：2019-10-29
申请号：CN201810350030.3
申请日：2018-04-18
Applicant: 北京大学
IPC: B81C1/00
Abstract: 本发明提供一种基于ALD技术的硅湿法腐蚀掩膜方法，其步骤包括：准备待腐蚀的硅片；采用ALD技术在所述硅片表面上淀积一层硅湿法腐蚀掩膜；对所述掩膜进行减薄，直至露出下方的硅片表面；利用湿法腐蚀溶液对所述硅片进行腐蚀，获得微结构。本发明利用ALD技术制备硅湿法腐蚀掩膜，淀积温度低，残余应力小，制备的掩膜材质致密，保形覆盖性好，抗腐蚀时间长，可以实现对带有金属、不能经受高温或应力敏感、有高深宽比结构或可动结构的硅片的腐蚀保护。
-
公开(公告)号：CN106308787B
公开(公告)日：2019-07-30
申请号：CN201610709811.8
申请日：2016-08-23
Applicant: 北京大学
Abstract: 本发明提供了一种荧光可见的电生理微电极结构及其制作方法。主要包括：绝缘毛细管体、绝缘微米针尖和荧光涂敷层；绝缘毛细管体为管状中空结构，一端与绝缘微米针尖相连，另外一端裸露在外；绝缘微米针尖为中空结构，与特定细胞进行吸附封接，与绝缘毛细管体共同形成毛细管内的电学通路；荧光涂敷层为薄膜结构，包裹在绝缘毛细管体和绝缘微米针尖上，荧光涂敷层具有荧光特性，形成电极的荧光标记。本发明利用了Parylene材料退火后良好的自发荧光特性，解决了电生理微电极的荧光观察问题，具有良好的化学稳定性，生物兼容性和荧光可见能力。通过微电子工艺加工的方式，其成本低廉，加工重复性好，形貌控制均匀，成品率高，可批量生产。
-
公开(公告)号：CN109554285A
公开(公告)日：2019-04-02
申请号：CN201811643014.X
申请日：2018-12-29
Applicant: 北京大学
Abstract: 本发明涉及生物医药与先进制造技术领域，具体涉及一种柔性微孔膜及应用其制备的细胞分离装置；本发明所述柔性微孔膜包括微孔孔径≥15μm，孔隙率≥50％的工作区域，还包括支撑区域，所述支撑区域赋予工作区域刚性、硬度和机械强度，避免其发生变形；本发明还提供了一种细胞分离装置，所述细胞分离装置包括至少一个初级分离膜和至少一个末级分离膜，所述初级分离膜采用本发明所述的柔性微孔膜，所述初级分离膜用以分离复杂液体样品的大块背景成分和细胞成分，防止分离膜的堵塞，增加通量，所述末级分离膜孔径≤15μm，孔隙率≥25％，过滤截留液体样品后，初级分离膜和末级分离膜都可于显微镜下观察，增加目标物阳性检出率，实用性好。
-
Patent Agency Ranking
公开(公告)号：CN108735693A
公开(公告)日：2018-11-02
申请号：CN201810330872.2
申请日：2018-04-13
Applicant: 北京大学
IPC: H01L23/473 , H01L21/48
Abstract: 本发明提供一种高散热性硅/玻璃复合转接板。包括依次层叠的下层硅片、上层硅片及玻璃片；其中，所述下层硅片背面形成有叉指状冷却液进出流道，正面形成有与冷却液进出流道的两端连通的冷却液进出口；所述上层硅片背面形成有与冷却液进出流道连通的毛细微流道，正面形成有至少一键合凸起部；所述玻璃片通过该键合凸起部与上层玻璃片键合。该复合转接板具有高散热性能，流阻小的优点，且提供一个良好的电介质环境，为射频领域中实现高散热且良好电绝缘转接板提供一套成熟可行的解决方案。同时提供上述转接板的制造方法。
-
-
-
公开(公告)号：CN106308787A
公开(公告)日：2017-01-11
申请号：CN201610709811.8
申请日：2016-08-23
Applicant: 北京大学
CPC classification number: A61B5/04 , A61B5/04001 , A61B5/6848 , A61B2562/0209 , B81C1/00015 , C23C16/44 , C23C16/56
Abstract: 本发明提供了一种荧光可见的电生理微电极结构及其制作方法。主要包括：绝缘毛细管体、绝缘微米针尖和荧光涂敷层；绝缘毛细管体为管状中空结构，一端与绝缘微米针尖相连，另外一端裸露在外；绝缘微米针尖为中空结构，与特定细胞进行吸附封接，与绝缘毛细管体共同形成毛细管内的电学通路；荧光涂敷层为薄膜结构，包裹在绝缘毛细管体和绝缘微米针尖上，荧光涂敷层具有荧光特性，形成电极的荧光标记。本发明利用了Parylene材料退火后良好的自发荧光特性，解决了电生理微电极的荧光观察问题，具有良好的化学稳定性，生物兼容性和荧光可见能力。通过微电子工艺加工的方式，其成本低廉，加工重复性好，形貌控制均匀，成品率高，可批量生产。
-
公开(公告)号：CN106197933A
公开(公告)日：2016-12-07
申请号：CN201610565292.2
申请日：2016-07-18
Applicant: 北京大学
IPC: G01M7/08
CPC classification number: G01M7/08
Abstract: 本发明提供一种热驱冲击试验机，包括：一热驱加载机构，包括两个加载热驱执行器，通过一加载放大杠杆连接，该加载放大杠杆的中点处连接一加载锯齿扣，该加载锯齿扣含有多个一类锯齿；该中点处还通过一单梁连接一冲击质量块和一负载储能弹簧；一热驱卸载机构，包括两个释放热驱执行器，通过一释放放大杠杆连接，该释放放大杠杆的中点处连接一释放锯齿扣，该释放锯齿扣含有一二类锯齿；一锯齿锁，包括两个互相平行的横梁，该两个横梁的一端设有一对三类锯齿，该三类锯齿与所述一类锯齿抵近并配合；另一端设有一对四类锯齿，该四类锯齿与所述二类锯齿抵近并配合。本发明另提供一种在线检测系统。本发明还提供一种在线检测方法。
-
-
-
-
-
-
-
-
-
Search Results
306
records
(took 0.032 seconds)
