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公开(公告)号：CN108227399A
公开(公告)日：2018-06-29
申请号：CN201711307411.5
申请日：2017-12-11
Applicant: 台湾积体电路制造股份有限公司
IPC: G03F7/20
CPC classification number: G03F7/70916 , G03F7/70033 , G03F7/70175 , G03F7/70908 , G03F7/70933 , H05G2/00 , H05G2/001 , H05G2/005 , H05G2/008 , G03F7/2004
Abstract: 一种极紫外光光刻系统，包括配置以收集和反射极紫外光放射线的收集器、与收集器整合的盖体、连接盖体且配置以接收来自收集器的碎屑蒸气的第一排气线路、连接第一排气线路且配置以补集碎屑蒸气的碎屑补集器、以及连接碎屑补集器的第二排气线路。
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公开(公告)号：CN104541207B
公开(公告)日：2017-09-05
申请号：CN201380042232.7
申请日：2013-08-02
Applicant: 卡尔蔡司SMT有限责任公司
Inventor： M.帕特拉
CPC classification number: G03F7/70058 , B82Y10/00 , G03F7/70008 , G03F7/70025 , G03F7/70075 , G03F7/70116 , G03F7/70566 , G21K1/062 , G21K1/067 , H01S3/0903 , H05G2/00
Abstract: 一种EUV投射光刻投射曝光设备(1)的照明系统，包含光源(2)，其产生具有预定偏振态的EUV照明光的输出光束(3)。照明光学单元(5)沿光轴引导输出光束(3)，从而，掩模母版平面(15)中的照明场(14)由输出光束(3)照明。光源(2)包含电子束供应装置(2a)、EUV产生装置(2c)和偏振设定装置(25)。通过电子束供应装置(2a)为EUV产生装置(2c)供应电子束(2b)。偏振设定装置(25)对电子束(2b)施加可调偏转效应，用于设定输出光束(3)的偏振。因此导致以基于电子束的EUV光源为基础进行操作且提供针对分辨率优化的照明而改进的输出光束的照明系统。
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公开(公告)号：CN103906340B
公开(公告)日：2017-04-12
申请号：CN201210586678.3
申请日：2012-12-28
Applicant: 清华大学 , 同方威视技术股份有限公司
IPC: H05H9/04
Abstract: 公开了一种驻波电子直线加速器装置及其方法。该装置包括：直流高压电子枪，配置为产生电子束；脉冲功率源，配置为提供主脉冲功率信号；功分器，对脉冲功率源输出的主脉冲功率信号划分为第一脉冲功率信和第二脉冲功率信号；第一加速管，利用第一脉冲功率信号对电子束进行加速；第二加速管，利用第二脉冲功率信号对电子束进行加速；移相器，连续调节第一脉冲功率信号和第二脉冲功率信号之间的相位差，以在第二加速管的输出产生能量连续调节的加速电子束。
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公开(公告)号：CN104412716B
公开(公告)日：2017-04-05
申请号：CN201380031610.1
申请日：2013-06-12
Applicant: 摩擦透视公司
Abstract: 本发明揭示一种高能辐射产生器，其在低压环境中利用滑动摩擦产生例如X射线等高能辐射。所述滑动摩擦可在存在电子标靶时通过使一个材料抵着第二材料扫掠而产生，例如，使转子的表面抵着隔膜旋转，所述电子标靶可为所述第一材料或所述第二材料中的一者或为不同材料。
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公开(公告)号：CN106094441A
公开(公告)日：2016-11-09
申请号：CN201510800502.7
申请日：2015-11-19
Applicant: 台湾积体电路制造股份有限公司
IPC: G03F7/20
CPC classification number: G03F7/70025 , G03F7/70033 , G03F7/7055 , G03F7/70983 , H05G2/00 , H05G2/001 , H05G2/003 , H05G2/005 , H05G2/006 , H05G2/008
Abstract: 远紫外(EUV)辐射源模块包括目标液滴发生器、第一激光源和第二激光源。目标液滴发生器配置为生成多个目标液滴。第一激光源配置为生成多个第一激光脉冲，第一激光脉冲在相应的激发位置处加热目标液滴，从而生成多个目标羽流。目标液滴的至少一个在与其他目标液滴不同的激发位置处被加热。第二激光源配置为生成多个第二激光脉冲，第二激光脉冲加热目标羽流，从而生成发射EUV辐射的等离子体。本发明的实施例还涉及远紫外光刻收集器污染减少。
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Patent Agency Ranking
公开(公告)号：CN102498541B
公开(公告)日：2016-10-26
申请号：CN201080041188.4
申请日：2010-08-23
Applicant: 瓦里安医疗系统公司
IPC: H01J35/08
CPC classification number: H05G2/00 , H01J2235/081 , H01J2235/087 , H01J2235/186 , Y10T29/49826 , Y10T156/10
Abstract: 一种X射线靶组件，包括：基板；由所述基板支撑的靶，其适于当被电子束撞击时产生X射线；以及位于所述靶的上方的外壳，其为所述靶提供容积。外壳是由电子基本穿透的材料制成的。容积基本为真空或者填充有惰性气体。
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公开(公告)号：CN102918933B
公开(公告)日：2016-08-24
申请号：CN201180014973.5
申请日：2011-01-28
Applicant: 艾可瑞公司
IPC: H05H7/02
CPC classification number: H05H9/02 , H01J35/16 , H05G2/00 , H05H7/02 , H05H2007/022
Abstract: 本公开涉及用于使用磁控管作为电磁波源的直线加速器的交叉操作的系统和方法，以用于将电子加速至至少两个不同的能量范围。加速的电子可以被使用来生成至少两个不同能量范围的x射线。在某些实施方式中，所述加速的电子可以被使用来生成至少两个不同能量范围的x射线。所述系统和方法被应用于行波直线加速器。
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公开(公告)号：CN103907402A
公开(公告)日：2014-07-02
申请号：CN201280053957.1
申请日：2012-10-31
Applicant: 富士胶片株式会社
IPC: H05G1/00
CPC classification number: A61N5/1077 , A61N2005/1094 , A61N2005/1095 , G21K1/02 , H01J35/00 , H01J35/12 , H01J35/16 , H05G2/00
Abstract: 提供一种放射线照射装置，具有：金属靶，当照射电子束时出射制动X线作为放射线束；放射线屏蔽体，具有狭缝状的放射线透过部，该放射线屏蔽体配置于上述金属靶的上述放射线束的出射方向下游侧，使得上述放射线束的一部分透过上述放射线透过部且屏蔽入射到上述放射线透过部以外的区域的放射线束；及电子束发生装置，将出射的上述放射线束的发生点的直径小于上述放射线透过部的入口部的沿着长度方向的长度的电子束照射到上述金属靶。
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公开(公告)号：CN103906340A
公开(公告)日：2014-07-02
申请号：CN201210586678.3
申请日：2012-12-28
Applicant: 清华大学 , 同方威视技术股份有限公司
IPC: H05H9/04
Abstract: 本发明公开了一种驻波电子直线加速器装置及其方法。该装置包括：直流高压电子枪，配置为产生电子束；脉冲功率源，配置为提供主脉冲功率信号；功分器，对脉冲功率源输出的主脉冲功率信号划分为第一脉冲功率信和第二脉冲功率信号；第一加速管，利用第一脉冲功率信号对电子束进行加速；第二加速管，利用第二脉冲功率信号对电子束进行加速；移相器，连续调节第一脉冲功率信号和第二脉冲功率信号之间的相位差，以在第二加速管的输出产生能量连续调节的加速电子束。
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公开(公告)号：CN102460859A
公开(公告)日：2012-05-16
申请号：CN201080031764.7
申请日：2010-05-07
Applicant: 国立科学研究中心
Inventor： 菲利普·巴尔库
IPC: H01S3/09
CPC classification number: H01S3/0903 , H01S3/30 , H01S4/00 , H05G2/00
Abstract: 本发明涉及一种自由电子激光系统，包括生成能够在第一传播方向(Oz)上传播的相对论性电子(21)的包(20)的装置(2)，和生成能够与相对论性电子(21)的包(20)进行相互作用的变换器光束(30)的装置(3，3′)。在该系统中，变换器光束(30)在被包(20)的传播方向(Oz)贯穿的相互作用区域(4)由在不同方向上传播的且每个都在与所述包(20)的所述传播方向(Oz)正交的平面内具有至少一个非零分量的至少两条激光束(31，32)结合产生。本发明还涉及包括俘获和引导被注入相互作用区域(4)的相对论性电子(21)的包(20)而生成自由电子激光束并实现这样的自由电子激光系统的方法。
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