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公开(公告)号:CN116472458A
公开(公告)日:2023-07-21
申请号:CN202180074256.5
申请日:2021-11-02
Applicant: 国立大学法人浜松医科大学 , NTN株式会社
IPC: G01N33/543
Abstract: 一种免疫层析化验试剂盒(100),包括:样品滴下部(1),上述样品滴下部供样品滴下;偶联部(2),上述偶联部供具有与样品中的检测目标结合的性质的标记抗体固定;以及至少一个检测部(3),上述至少一个检测部供具有与检测目标结合的性质的捕获抗体固定。试样滴下部(1)、偶联部(2)和多个检测部(3)形成在多孔构件上。每个检测部(3)的外形是点状的。
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公开(公告)号:CN107073513A
公开(公告)日:2017-08-18
申请号:CN201580050407.8
申请日:2015-09-07
Applicant: NTN株式会社
Inventor: 大庭博明
Abstract: 在该墨水涂布方法中,使墨水(22)附着于涂布针(24)的前端部(24a),将涂布针(24)配置在MEMS(40)的机构部(40a)的上方,使涂布针(24)下降而使前端部(24a)与机构部(40a)的表面接触并待机一定时间。接下来,一边使涂布针(24)与MEMS(40)沿水平方向相对移动,一边使涂布针(24)上升而使涂布针(24)的前端部(24a)从机构部(40a)的表面脱离,在机构部(40a)的表面形成墨水层(22a)。与仅使涂布针(24)沿垂直方向上升的情况相比,能减轻机构部(40a)被墨水(22)的粘着力拉伸的力。
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公开(公告)号:CN103959108A
公开(公告)日:2014-07-30
申请号:CN201280058501.4
申请日:2012-11-30
Applicant: NTN株式会社
Inventor: 大庭博明
IPC: G02B5/20 , G01N21/956 , G02F1/13 , G02F1/1335
CPC classification number: G01N21/956 , G01N2021/8861 , G01N2021/8874 , G01N2021/9513 , G02B5/201 , G02F1/1303 , G02F1/133512 , G03F1/72 , G03F1/84 , G03F7/0007 , G03F7/7065 , G06T7/0004 , G06T2207/30148
Abstract: 缺陷校正设备具有多个涂布针,并且可以根据基板中的缺陷执行有效的校正操作。缺陷校正设备(100)具有:墨水涂布机构(34),其包括多个针,用于校正缺陷并且涂布直径各不相同;图像处理单元(21),用于检测基板中的缺陷位置;计算单元(25),用于基于所检测的缺陷位置的图像来计算表示缺陷尺寸的缺陷尺寸值;选择单元(26),用于根据计算出的缺陷尺寸值选择具有要用于校正的涂布直径的针;以及校正处理单元(50),用于使用具有一涂布直径的选定针来校正缺陷。
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公开(公告)号:CN101178538B
公开(公告)日:2012-02-22
申请号:CN200710166982.1
申请日:2007-11-07
Applicant: NTN株式会社
Inventor: 大庭博明
IPC: G03F7/00 , G02F1/1335
CPC classification number: Y02W30/828
Abstract: 提供能方便地校正目标位置与涂敷位置的位置偏移的图案修改装置。此图案修改装置(1)在进行更新校正值的校正模式时,对镜(51)的测试区(51a)的目标位置(P1)涂敷修改墨(49),根据涂墨前后的测试区(51a)的图像,检测出实际涂敷修改墨(49)的涂敷位置(P2),从而检测出目标位置(P1)与涂敷位置(P2)的位置偏移量,并根据其检测结果,更新校正值。因而,图案修改装置(1)本身更新校正值,因此操作者不必进行校正作业。
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公开(公告)号:CN108474648B
公开(公告)日:2021-05-28
申请号:CN201780006528.1
申请日:2017-01-10
Applicant: NTN株式会社
Inventor: 大庭博明
Abstract: 微小突起的体积测定方法包括如下步骤:利用白光干涉法测定微小突起的三维形状(S102);比较检测出干涉光强度的包络线的第一个峰值的高度与基准面的高度,并提取高于基准面的部分作为微小突起的突起顶点部(S103);检测提取出的突起顶点部的高度(S104);检测由突起顶点部和高度与基准面的高度不同的部位构成的区域中的外接四边形的横向尺寸、纵向尺寸、或横向尺寸与纵向尺寸的平均的任一个来作为直径,其中该部位包含突起顶点部或与突起顶点部接触(S105);以及基于突起顶点部的高度与直径计算微小突起的体积(S106)。
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公开(公告)号:CN106714982B
公开(公告)日:2021-05-25
申请号:CN201580050338.0
申请日:2015-09-07
Applicant: NTN株式会社
Inventor: 大庭博明
Abstract: 墨水涂布方法执行多次使墨水(22)附着于涂布针(24)的前端部(24a),将涂布针(24)配置在基板(35)的对象区域(35a)上方的预定位置,使涂布针(24)下降和上升而将墨水(22)涂布于对象区域(35a),来形成墨水层(22a)的工序,从而层积多层墨水层(22a),其中,随着执行的工序次数增多,使涂布针(24)从预定位置朝向对象区域(35a)下降的距离减小。因此,在涂布墨水时能缓和从涂布针(24)的前端经由墨水层(22a)施加于对象区域(35a)的冲击。
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公开(公告)号:CN108603751A
公开(公告)日:2018-09-28
申请号:CN201780010383.2
申请日:2017-01-10
Applicant: NTN株式会社
Inventor: 大庭博明
IPC: G01B11/24
Abstract: 本发明提供一种能准确地测量目标物体的形状的形状测量装置及使用该形状测量装置制造待涂覆目标物体的方法。根据本发明的形状测量装置,通过向目标物体照射白光并使用来自目标物体的反射光来测量目标物体的形状。其包括光源、双光束干涉物镜、成像装置、观察光学系统、定位装置、控制装置。控制装置对于由成像装置获得的多个图像中的每个单位区域,计算在多个图像中基于亮度的评估值达到最大时的双光束干涉物镜的位置作为单位区域的焦点位置,并基于多个图像中的每个单位区域的焦点位置来测量目标物体的形状。控制装置使用多个图像中的每个单位区域的亮度、以及与该单位区域的亮度和该单位区域相邻的多个单位区域的亮度之差相关的值,作为评估值。
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公开(公告)号:CN108474648A
公开(公告)日:2018-08-31
申请号:CN201780006528.1
申请日:2017-01-10
Applicant: NTN株式会社
Inventor: 大庭博明
CPC classification number: B05D1/26 , B05D3/00 , G01B11/00 , G01B11/0608 , G01B11/2441
Abstract: 微小突起的体积测定方法包括如下步骤:利用白光干涉法测定微小突起的三维形状(S102);比较检测出干涉光强度的包络线的第一个峰值的高度与基准面的高度,并提取高于基准面的部分作为微小突起的突起顶点部(S103);检测提取出的突起顶点部的高度(S104);检测由突起顶点部和高度与基准面的高度不同的部位构成的区域中的外接四边形的横向尺寸、纵向尺寸、或横向尺寸与纵向尺寸的平均的任一个来作为直径,其中该部位包含突起顶点部或与突起顶点部接触(S105);以及基于突起顶点部的高度与直径计算微小突起的体积(S106)。
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公开(公告)号:CN103630542B
公开(公告)日:2018-03-20
申请号:CN201310377121.3
申请日:2013-08-26
Applicant: NTN株式会社
Inventor: 大庭博明
Abstract: 本发明的缺陷检测装置包括:摄像头,该摄像头拍摄基板并输出电信号;以及图像处理装置,该图像处理装置中输入有由摄像头输出的电信号。图像处理装置使用从电信号中得到的多个信号各自的图像对比度中较大的对比度,来检测基板的缺陷部。由于使用多个信号各自的图像对比度中较大的对比度来检测缺陷部,因此即使对于在被区分为各信号之前的图像中与正常部之间的对比度较小的缺陷部,也能够检测出缺陷部,而不会使灵敏度显著降低。
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公开(公告)号:CN106714982A
公开(公告)日:2017-05-24
申请号:CN201580050338.0
申请日:2015-09-07
Applicant: NTN株式会社
Inventor: 大庭博明
Abstract: 墨水涂布方法执行多次使墨水(22)附着于涂布针(24)的前端部(24a),将涂布针(24)配置在基板(35)的对象区域(35a)上方的预定位置,使涂布针(24)下降和上升而将墨水(22)涂布于对象区域(35a),来形成墨水层(22a)的工序,从而层积多层墨水层(22a),其中,随着执行的工序次数增多,使涂布针(24)从预定位置朝向对象区域(35a)下降的距离减小。因此,在涂布墨水时能缓和从涂布针(24)的前端经由墨水层(22a)施加于对象区域(35a)的冲击。
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