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公开(公告)号：CN101850943A
公开(公告)日：2010-10-06
申请号：CN200910265656.5
申请日：2009-12-28
Applicant: 雅马哈株式会社
Inventor： 服部敦夫
CPC classification number: G01P15/123 , G01P15/0802 , G01P15/18 , G01P2015/084
Abstract: 本发明公开了一种微机电系统传感器及其制造方法。在SOI中，在支撑基底中限定出用于将质量体和支撑体分离的沟道，在半导体层中限定出十字形柔性梁。在柔性梁的交叉区域中和在支撑体的上方的环形区域中对SOI的半导体层和中间绝缘层进行蚀刻。在被蚀刻的凹入部中掩埋连接件层。将半导体层构图为位于质量体上方的十字形柔性梁。在支撑体基底中蚀刻沟道，以暴露中间绝缘层，随后蚀刻中间绝缘层以在质量体和柔性梁之间形成间隙。在交叉区域的连接件层将质量体和柔性梁联接，并且在柔性梁外侧的连接件层将柔性梁和支撑体联接。止挡件通过在质量体角部的上方延伸连接件层而形成，或者通过保留半导体层而形成。
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公开(公告)号：CN101345225B
公开(公告)日：2010-07-14
申请号：CN200810136067.2
申请日：2008-07-11
Applicant: 雅马哈株式会社
Inventor： 服部敦夫
IPC: H01L23/48 , H01L21/60 , H01R13/20 , H01R13/213
CPC classification number: H05K3/365 , H01L2924/0002 , H01R12/52 , H01R12/718 , H01R13/11 , H01R13/20 , H05K3/326 , H05K3/4007 , H05K2201/0367 , H05K2201/09745 , H05K2201/209 , Y10T29/49204 , H01L2924/00
Abstract: 本发明提供一种电子部件及其制造方法，两个电子部件在与基板垂直的方向层叠，本发明的电子部件具有用于将以狭小的间距二维排列的端子之间连接的连接器。该电子部件是与具有突起电极的其他电子部件连接的电子部件，具有：基板、在所述基板形成的导电性布线元件及相对所述突起电极进行卡合连接的连接器，该连接器由沉积在所述布线元件上的导电膜构成，并且具有：在从所述布线元件向与所述基板的接合面垂直的方向突出有多个部位的脚部，从所述脚部的各突出端向所述脚部的内侧突出的阻挡面，从所述阻挡面的各突出端向所述脚部的外侧后退，同时，在从所述脚部的基端朝向突出端的方向上延伸的导向面。
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公开(公告)号：CN101154035A
公开(公告)日：2008-04-02
申请号：CN200710161280.4
申请日：2007-09-25
Applicant: 雅马哈株式会社
Inventor： 服部敦夫
CPC classification number: G03F7/0002 , B82Y10/00 , B82Y40/00 , G03F7/0017
Abstract: 一种细微模具包括再生目标膜和光屏蔽单元，其中再生目标膜形成成形表面的凸出部，光屏蔽单元构造在比成形表面的底部更深的位置，且光屏蔽单元使再生目标膜再生。具有三维结构的产品的制造成本可以得到降低。
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公开(公告)号：CN1774638A
公开(公告)日：2006-05-17
申请号：CN200480010334.1
申请日：2004-04-15
IPC: G01R1/073
CPC classification number: G01R1/07342 , G01R1/06727
Abstract: 以往的晶片检查用探测器，在40μm间距以下的细微间距的情况下，根据构成材料与制造方法，存在很难确保位置精度、因针径细微导致接触时产生针破坏、因接触力不足而无法得到良好的接触、以及耐久性不足的问题。为了解决这些问题，本发明中的检查探测器，为由：具备有弹性的探针(3)与布线层(5)的基材(4)、设置基材的支持板(7)、检查基板(8)、以及有柔软性的基板(6)构成的探测器结构，其特征在于，具有探针前端上根据半导体装置的电极材料形成接触性良好的材料层(10)、布线层上形成低电阻金属层(9)的结构，且接触性良好的材料层与低电阻金属层相分离。通过该构造，在40μm间距以下的超细微间距中，能够得到非常高的接触可靠性与机械耐久性。
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公开(公告)号：CN2802510Y
公开(公告)日：2006-08-02
申请号：CN200420059326.3
申请日：2004-05-08
Applicant: 雅马哈株式会社
Abstract: 一种探针装置，包括具有基座(20)和多个探针(10)的梳状探针片，每个探针(10)具有宽于突伸基部(14)的端部(12)，该突伸基部(14)通过基座(20)连接于其它突伸基部(14)。通过加宽探针(10)的端部(12)，可以防止探针从试件电极的顶面脱落。进一步地，通过在探针(10)排列方向上使端部(12)不规则，就可以使端部(12)变宽而不用加大探针(10)中心轴线间的间距。因而，排列方向上的相邻探针(10)之间的最小距离可以被缩短，并且不用减小探针(10)的间距，就可以提高探针装置对于具有平行排列的多个细长电极的试件的适用度。
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