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公开(公告)号：CN1889284A
公开(公告)日：2007-01-03
申请号：CN200610104433.7
申请日：2006-07-31
Applicant: 西安工业大学
CPC classification number: Y02P70/521
Abstract: 本发明是一种锆钛酸铅薄膜红外热成像探测器悬空结构的制作方法，采用在硅片上镀制一定厚度的氧化镁薄膜作为制作锆钛酸铅薄膜非致冷焦平面红外热成像探测器悬空结构的牺牲层，并通过控制牺牲层的厚度来控制悬空高度；采用等离子体增强化学气相沉积方法制作SiNx，用于平衡锆钛酸铅薄膜的应力；应用快速热处理方法对共电极Ti/Pt以及锆钛酸铅敏感薄膜进行快速热处理，获得高性能的锆钛酸铅薄膜。本发明主要解决了牺牲层材料的去除方法简单，并与其他结构之间的相容性好、在快速热处理时对读出电路的保护以及探测器的悬空部分与基片连接的问题，满足了工业生产的客观需要。
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公开(公告)号：CN111517313B
公开(公告)日：2021-08-10
申请号：CN202010416004.3
申请日：2020-05-16
Applicant: 西安工业大学
IPC: C01B32/19
Abstract: 本发明公开了一种高连续性的均匀规律孔隙结构三维石墨烯的制备方法，包括以下步骤：1.设计所需三维石墨烯的宏观形状、内部孔隙孔径及孔隙间距；2.准备直径与三维石墨烯孔径相当的微球。3.制备载体微球分散液及氧化石墨烯分散液；3.将载体微球分散液与氧化石墨烯分散液混合；4.根据所设计的孔隙分布调整超声相控阵超声波的频率以及各探头工作情况，形成相应驻波声场，利用驻波控制载体微球在分散液中的空间分布；5.调节分散液pH，形成内部含有载体微球的三维氧化石墨烯，取出干燥；6.去除载体微球，形成具有均匀规律孔隙结构的三维氧化石墨烯；7.将三维氧化石墨烯还原，得到连续性好、孔隙分布均匀规律的三维石墨烯；本发明借助超声相控阵驻波声场控制载体微球形成均匀规律的空间排列，以制备连续性好且具有均匀规律孔隙结构的三维石墨烯，工艺高效、简便、可控性强。
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公开(公告)号：CN111585021B
公开(公告)日：2021-02-19
申请号：CN202010416002.4
申请日：2020-05-16
Applicant: 西安工业大学
Abstract: 本发明公开了一种基于石墨烯复合材料的自供电天线系统及制作方法，该天线系统包括天线模块、发电模块以及储能模块，其中天线模块由金属片表面贴合各向同性三维石墨烯构成，储能模块由三维石墨烯超级电容器和电源管理与控制模块构成，发电模块为正极片层与负极片层交替重叠而成的多层结构；发电模块通过接触分离起电与摩擦起电两种机制共同作用产生电流并通过电极输运到储能模块中进行存储，进而为天线模块供电；发电模块中正极片层和负极片层的制备方法均为滴涂工艺，工艺简单易实现。该天线系统可以通过外界振动获取能量，内部发电供给天线系统,实现自供电，并且有着工艺简单、成本低的优点。
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公开(公告)号：CN111585021A
公开(公告)日：2020-08-25
申请号：CN202010416002.4
申请日：2020-05-16
Applicant: 西安工业大学
Abstract: 本发明公开了一种基于石墨烯复合材料的自供电天线系统及制作方法，该天线系统包括天线模块、发电模块以及储能模块，其中天线模块由金属片表面贴合各向同性三维石墨烯构成，储能模块由三维石墨烯超级电容器和电源管理与控制模块构成，发电模块为正极片层与负极片层交替重叠而成的多层结构；发电模块通过接触分离起电与摩擦起电两种机制共同作用产生电流并通过电极输运到储能模块中进行存储，进而为天线模块供电；发电模块中正极片层和负极片层的制备方法均为滴涂工艺，工艺简单易实现。该天线系统可以通过外界振动获取能量，内部发电供给天线系统,实现自供电，并且有着工艺简单、成本低的优点。
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公开(公告)号：CN109742178B
公开(公告)日：2020-07-17
申请号：CN201910085681.9
申请日：2019-01-29
Applicant: 西安工业大学
IPC: H01L31/109 , H01L31/0224 , H01L31/0336 , H01L31/18
Abstract: 本发明公开了一种透红外的高灵敏可见光探测器及其制备方法，该探测器由钝化层、上电极、异质结、下电极和本征单晶硅衬底组成。上电极为导电且对可见光和红外透明的材料。异质结分为异质结上层和异质结下层，异质结上层为对可见光敏感且能透过红外的纳米薄膜，异质结下层为本征单晶硅。当可见光和红外透过上电极和异质结上层，在异质结中可见光激发出电子空穴对，被上、下电极收集并通过纵向设置的金属柱流出，而红外穿过整个探测结构，实现对可见光探测的同时不影响红外的透过。与传统结构相比，电极与结区距离很小，可降低电子空穴对在到达电极之前的复合率，提高光生载流子的收集效率。纵向金属的结构设计减少光遮挡，提高了灵敏度。
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Patent Agency Ranking
公开(公告)号：CN109950340A
公开(公告)日：2019-06-28
申请号：CN201910275800.7
申请日：2019-04-08
Applicant: 西安工业大学
IPC: H01L31/0392 , H01L31/0224 , H01L31/028 , H01L31/0352 , H01L31/0216 , H01L31/09 , H01L31/18
Abstract: 本发明公开了一种透明柔性的宽光谱光电转换结构及制作方法，该宽光谱光电转换结构包括基底、下电极、光敏层、上电极以及保护层；下电极覆盖在基底的上表面，光敏层覆盖在下电极的上表面，上电极覆盖在光敏层的上表面，保护层覆盖在上电极的上表面，构成多层复合结构；采用透明柔性材料制作基底和保护层，以导电纳米线网格制作下电极和上电极，以宽光谱光电转换材料制作光敏层；下电极、上电极和光敏层的薄膜构成宽光谱光电转换结构，该宽光谱光电转换结构具有良好的透光性和柔韧性，可在一定范围内承受弯折、扭转等变形，并具有优良的耐冲击性能，与柔性电路集成后，可以在曲面上安装，在冲击载荷条件下使用。可满足吸收转换一部分光能，又能透过一部分光能的应用需求。
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公开(公告)号：CN109887944A
公开(公告)日：2019-06-14
申请号：CN201910162595.3
申请日：2019-03-05
Applicant: 西安工业大学
IPC: H01L27/146 , H01L31/09
Abstract: 本发明涉及具有多功能窗口的全天时成像探测器及其制备方法，该装置包括包括多功能窗口和探测部分，多功能窗口包括微透镜阵列、窗口本体和滤光片阵列；所述微透镜阵列集成在窗口本体的上表面，每个微透镜单元顶面均为球冠结构，球冠的俯视投影为正方形，相邻微透镜单元球冠俯视投影的正方形相接；所述滤光片阵列镀制在窗口本体的下表面；所述滤光片阵列包括四种滤光片，分别为三种单色可见光结合红外波段的带通滤光片和一种红外滤光片；所述探测部分由像素单元阵列构成，每个像素单元包括四种亚像素单元，四种亚像素单元与四种滤光片一一正对；本发明还介绍了微透镜阵列的制备方法、探测器的探测方法。本发明装置可以实现全天时探测。
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公开(公告)号：CN103193200B
公开(公告)日：2016-04-13
申请号：CN201310080874.8
申请日：2013-03-14
Applicant: 西安工业大学
Abstract: 本发明公开了一种镀制在衬底上的火棉胶薄膜的图形化方法。该方法包括如下步骤：利用薄膜沉积方法在火棉胶薄膜上沉积一种容易腐蚀的掩模层；利用微加工技术中的光刻、显影、腐蚀等方法把该掩模层进行处理，获得所需要火棉胶薄膜图形的掩模层图形；利用丙酮去除暴露出来的火棉胶薄膜，再利用掩模层材料腐蚀液腐蚀掉表面的掩模层，最终获得火棉胶薄膜所需要的微小图形。该方法能够精细地制作出火棉胶薄膜的微纳图形，而且具有所用材料成本低，方法简单，操作方便等优点，解决了目前火棉胶薄膜的图形化难题。
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公开(公告)号：CN102560398A
公开(公告)日：2012-07-11
申请号：CN201210001559.7
申请日：2012-01-05
Applicant: 西安工业大学
Abstract: 本发明涉及一种利用高刚性薄膜应力提高压电基底性能的方法。本发明是为了解决在现有工艺条件下，叉指电极周期长度不能无限制细微化提高声波传播速度的问题。本发明提供一种利用高刚性薄膜应力提高压电基底性能的方法，是在压电基底上沉积高刚性薄膜，采用磁控溅射镀膜方法控制高刚性薄膜应力，使压应力达到5～10GPa范围内。通过提高机械性能改善声学性能制作高性能SAW器件。
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公开(公告)号：CN100380587C
公开(公告)日：2008-04-09
申请号：CN200610104434.1
申请日：2006-07-31
Applicant: 西安工业大学
Abstract: 本发明是采用非晶硅作为红外敏感材料制作非致冷焦平面红外热成像探测阵列悬空结构技术领域，提供一种在硅片上制作具有自支撑的非晶硅热成像探测器微结构的制作方法，首先采用在硅片上镀制一定厚度的聚酰亚胺作为制作非晶硅非致冷红外热成像探测器悬空微结构的牺牲层；采用快速热处理对PI胶的固化和硬化处理；采用PECVD的方法制作低应力、具有自支撑能力的非晶硅敏感薄膜；最后采用等离子体反应刻蚀去除牺牲层PI胶和剩余的光刻胶，获得悬空结构自支撑的非晶硅非致冷焦平面红外热成像探测阵列微结构。用该方法制作的非晶硅非致冷焦平面红外热成像探测阵列解决了悬空结构性能良好，填充因子高，工艺简单、稳定、重复性好的问题，该方法适于实际工业生产应用。
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