公开(公告)号：CN110998234A

公开(公告)日：2020-04-10

申请号：CN201880051392.0

申请日：2018-07-30

Applicant: 罗伯特·博世有限公司

Inventor： R·诺伊 ,  A·拉斯尔 ,  J-T·利韦德 ,  N·博德 ,  M·屈内尔 ,  B·库尔曼 ,  O-A·普吕茨 ,  N·F·库尔曼 ,  P·德根费尔德-舍恩堡

IPC: G01C19/5783 ,  G01C19/5733

Abstract: 本发明要求保护一种转速传感器，该转速传感器具有衬底，其中，所述衬底具有主延伸平面(110、120)，其中，所述转速传感器具有能置于振动中的至少一个第一质量元件和第二质量元件(10、20)，其中，所述衬底的第一主延伸方向(110)从所述第一质量元件(10)指向所述第二质量元件(20)，其中，沿第一主延伸方向(110)在所述第一质量元件和第二质量元件(10、20)之间布置有耦合结构(30)，其特征在于，所述耦合结构(30)的第一耦合区域(31)布置在第一功能层(1)中，其中，所述第一质量元件(10)的第一质量区域(11)布置在所述第一功能层(1)中，其中，所述第一质量元件(10)的第二质量区域(12)布置在第二功能层(2)中，其中，所述第一功能层(1)沿垂直于所述主延伸平面(110、120)的延伸方向(200)布置在所述衬底和所述第二功能层(2)之间，其中，第二主延伸方向(120)垂直于所述第一主延伸方向(110)，其中，所述第一耦合区域(31)沿所述第一主延伸方向(110)具有大于沿所述第二主延伸方向(120)的延展尺度。

公开(公告)号：CN111051815B

公开(公告)日：2024-03-01

申请号：CN201880057522.1

申请日：2018-08-08

Applicant: 罗伯特·博世有限公司

Inventor： R·诺伊 ,  A·拉斯尔 ,  B·库尔曼 ,  P·德根费尔德-舍恩堡 ,  O-A·普吕茨 ,  N·F·库尔曼 ,  J-T·利韦德 ,  N·博德 ,  M·屈内尔

IPC: G01C19/5712 ,  G01C19/5747

Abstract: 本发明涉及一种微机械转速传感器组件和一种相应的制造方法。所述微机械转速传感器组件包括能够围绕第一轴(z)旋转振荡地被驱动的第一转速传感器装置(100)，以用于感测围绕第二轴(y)的第一外部转速和围绕第三轴(x)的第二外部转速，其中，第一、第二和第三轴(z、y、x)彼此垂直地布置，并且包括能够通过驱动装置(AT；AT’；AT”)沿着所述第二轴(y)直线振荡地驱动的第二转速传感器装置(200；201；202)，以用于感测围绕所述第一轴(z)的第三外部转速。为了通过所述驱动装置(200；201；202)驱动所述第一转速传感器装置(100)，所述第二转速传感器装置(200；201；202)与所述第一转速传感器装置F12)连接。(100)通过第一耦合装置(S1、F5；S2、F6；SA、SB、

公开(公告)号：CN110998234B

公开(公告)日：2024-03-01

申请号：CN201880051392.0

申请日：2018-07-30

Applicant: 罗伯特·博世有限公司

Inventor： R·诺伊 ,  A·拉斯尔 ,  J-T·利韦德 ,  N·博德 ,  M·屈内尔 ,  B·库尔曼 ,  O-A·普吕茨 ,  N·F·库尔曼 ,  P·德根费尔德-舍恩堡

IPC: G01C19/5783 ,  G01C19/5733

Abstract: 间，其中，第二主延伸方向(120)垂直于所述第一本发明要求保护一种转速传感器，该转速传 主延伸方向(110)，其中，所述第一耦合区域(31)感器具有衬底，其中，所述衬底具有主延伸平面 沿所述第一主延伸方向(110)具有大于沿所述第(110、120)，其中，所述转速传感器具有能置于振 二主延伸方向(120)的延展尺度。动中的至少一个第一质量元件和第二质量元件(10、20)，其中，所述衬底的第一主延伸方向量元件(20)，其中，沿第一主延伸方向(110)在所述第一质量元件和第二质量元件(10、20)之间布置有耦合结构(30)，其特征在于，所述耦合结构(30)的第一耦合区域(31)布置在第一功能层(1)中，其中，所述第一质量元件(10)的第一质量区域(11)布置在所述第一功能层(1)中，其中，所述第一质量元件(10)的第二质量区域(12)布置在第二功能层(2)中，其中，所述第一功能层(1)沿(110)从所述第一质量元件(10)指向所述第二质

公开(公告)号：CN111183112B

公开(公告)日：2023-11-14

申请号：CN201880062686.3

申请日：2018-09-20

Applicant: 罗伯特·博世有限公司

Inventor： R·诺伊 ,  A·拉斯尔 ,  P·德根费尔德-舍恩堡 ,  N·F·库尔曼 ,  F·沙茨 ,  N·博德 ,  M·屈内尔

IPC: B81B3/00 ,  G01C19/5733

Abstract: 本发明涉及一种MEMS设备以及一种相应的运行方法。所述MEMS设备配备有能振动的微机械系统(100)，该能振动的微机械系统能够以多个使用模式激励，其中，所述能振动的微机械系统(100)具有至少一个系统部件(1)，该系统部件由于所述使用模式的叠加能够以至少一个寄生干扰模式激励。设置有补偿装置(50)，所述补偿装置构型成，使得所述补偿装置通过将电磁相互作用(W)施加到所述系统部件(1)上来抵抗所述寄生干扰模式。

公开(公告)号：CN109490568B

公开(公告)日：2022-04-26

申请号：CN201811064369.3

申请日：2018-09-12

Applicant: 罗伯特·博世有限公司

Inventor： N·博德 ,  A·拉斯尔 ,  B·库尔曼 ,  J-T·利瓦尔德 ,  M·屈内尔 ,  N·F·库尔曼 ,  O-A·普吕茨 ,  P·德根费尔德-舍恩堡 ,  R·努尔

IPC: G01P3/44 ,  G01C19/5712

Abstract: 本发明实现一种微机械转速传感器组件和一种相应的制造方法。所述微机械转速传感器组件包括能够通过所述驱动装置经由所述驱动框架装置围绕第一轴(z)旋转振荡地被驱动的第一转速传感器装置，用于感测围绕第二轴(y)的第一外部转速和围绕第三轴(x)的第二外部转速，其中，第一、第二和第三轴相对彼此垂直地布置；和能够通过驱动装置经由驱动框架装置沿着第二轴(y)线性振荡地被驱动的第二转速传感器装置，用于感测围绕第一轴(z)的第三外部转速。第一转速传感器装置通过驱动框架装置与第二转速传感器装置连接。驱动框架装置具有第一驱动框架和第二驱动框架，这些驱动框架能够通过驱动装置沿着第三轴(x)反相振荡地被驱动。

公开(公告)号：CN112651206A

公开(公告)日：2021-04-13

申请号：CN202011070639.9

申请日：2020-10-09

Applicant: 罗伯特·博世有限公司

Inventor： C·齐默 ,  D·拉多维克 ,  E·S·施密特 ,  M·屈内尔 ,  M·赫尔曼 ,  刘文庆 ,  M·鲁比谦

IPC: G06F30/392 ,  H01L21/66

Abstract: 用于确定在晶片上生产的器件的特征的方法和器件。本发明涉及一种用于推断在晶片（1）上生产的器件（2）的器件特征（）的计算机实现的方法；包括以下步骤：‑提供（S2）将晶片位置与器件特征（）相关联的晶片特征模型，所述晶片位置指示晶片（1）上生产的器件（2）的位置，其中晶片特征模型被配置为通过一个或多个晶片特征图来被训练，并且特别地被配置成高斯过程模型；‑提供（S3）在样本晶片位置处的至少一个器件（2）的样本器件特征；‑取决于所提供的晶片特征模型，推断（S4）晶片（1）的至少一个其他器件的器件特征（）。

公开(公告)号：CN111316062A

公开(公告)日：2020-06-19

申请号：CN201880071749.1

申请日：2018-10-25

Applicant: 罗伯特·博世有限公司

Inventor： R·诺伊 ,  A·拉斯尔 ,  B·库尔曼 ,  P·德根费尔德-舍恩堡 ,  N·F·库尔曼 ,  J-T·利韦德 ,  N·博德 ,  M·屈内尔

IPC: G01C19/5712

Abstract: 本发明请求保护一种转速传感器(1)，该转速传感器带着具有主延伸平面(100、200)的衬底，其中，所述转速传感器(1)包括旋转元件组件(10、20)，其中，所述旋转元件组件(10、20)构造成用于探测沿所述衬底的第一主延伸轴线(100)起作用的转速和沿所述衬底的垂直于所述第一主延伸轴线(100)的第二主延伸轴线(200)起作用的转速，其特征在于，所述转速传感器(1)具有传感器组件(40)，其中，所述传感器组件(40)构造成用于探测所述衬底的垂直于所述主延伸平面(100、200)起作用的转速，其中，所述传感器组件(40)和所述旋转元件组件(10、20)能够借助于驱动组件(30)被驱动，其中，所述驱动组件(30)构造成用于沿着所述第一主延伸轴线(100)驱动运动。

公开(公告)号：CN111051815A

公开(公告)日：2020-04-21

申请号：CN201880057522.1

申请日：2018-08-08

Applicant: 罗伯特·博世有限公司

Inventor： R·诺伊 ,  A·拉斯尔 ,  B·库尔曼 ,  P·德根费尔德-舍恩堡 ,  O-A·普吕茨 ,  N·F·库尔曼 ,  J-T·利韦德 ,  N·博德 ,  M·屈内尔

IPC: G01C19/5712 ,  G01C19/5747

Abstract: 本发明涉及一种微机械转速传感器组件和一种相应的制造方法。所述微机械转速传感器组件包括能够围绕第一轴(z)旋转振荡地被驱动的第一转速传感器装置(100)，以用于感测围绕第二轴(y)的第一外部转速和围绕第三轴(x)的第二外部转速，其中，第一、第二和第三轴(z、y、x)彼此垂直地布置，并且包括能够通过驱动装置(AT；AT’；AT”)沿着所述第二轴(y)直线振荡地驱动的第二转速传感器装置(200；201；202)，以用于感测围绕所述第一轴(z)的第三外部转速。为了通过所述驱动装置(200；201；202)驱动所述第一转速传感器装置(100)，所述第二转速传感器装置(200；201；202)与所述第一转速传感器装置(100)通过第一耦合装置(S1、F5；S2、F6；SA、SB、F12)连接。

公开(公告)号：CN108872938A

公开(公告)日：2018-11-23

申请号：CN201810270837.6

申请日：2018-03-29

Applicant: 罗伯特·博世有限公司

Inventor： M·屈内尔 ,  S·施耐德 ,  S·莱迪希 ,  T·布克

IPC: G01S5/18

CPC classification number: G01S5/22

Abstract: 本发明涉及用于定位的方法。所述方法考虑至少一个第一声源的第一声源信号，包括以下步骤：在第一位置处接收第一声源信号，并且确定第一声源信号的第一声信号值以用于第一位置，并且在至少一个第二位置处接收第一声源信号，并且确定第一声源信号的至少一个另外的声信号值以用于第二位置，其中第一声信号值和至少一个另外的声信号值形成测量信号变化曲线；将测量信号变化曲线与多个基准信号变化曲线进行比较，其中每个基准信号变化曲线分别与一条轨迹对应；将测量信号变化曲线与所述多个基准信号变化曲线中所确定的一个基准信号变化曲线进行对应，并且选择与所确定的基准信号变化曲线对应的轨迹；从所对应的轨迹中获取当前位置；输出所获取的位置。