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公开(公告)号：CN112651206A
公开(公告)日：2021-04-13
申请号：CN202011070639.9
申请日：2020-10-09
Applicant: 罗伯特·博世有限公司
IPC: G06F30/392 , H01L21/66
Abstract: 用于确定在晶片上生产的器件的特征的方法和器件。本发明涉及一种用于推断在晶片（1）上生产的器件（2）的器件特征（）的计算机实现的方法；包括以下步骤：‑提供（S2）将晶片位置与器件特征（）相关联的晶片特征模型，所述晶片位置指示晶片（1）上生产的器件（2）的位置，其中晶片特征模型被配置为通过一个或多个晶片特征图来被训练，并且特别地被配置成高斯过程模型；‑提供（S3）在样本晶片位置处的至少一个器件（2）的样本器件特征；‑取决于所提供的晶片特征模型，推断（S4）晶片（1）的至少一个其他器件的器件特征（）。
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