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公开(公告)号：CN101246948A
公开(公告)日：2008-08-20
申请号：CN200810007370.2
申请日：2003-06-24
Applicant: 精工爱普生株式会社
Inventor： 村井正己
Abstract: 本发明提供一种压电元件及使用该压电元件的液体喷头，其中所述压电元件可以得到良好的结晶性，并可提高其均匀性，此外，可以防止压电膜的破坏，从而可以得到稳定的位移特性。本发明的压电元件具有下电极、在下电极上形成的压电膜、在所述压电膜上形成的上电极，其特征在于，所述压电膜具有柱状结晶，该柱状结晶在所述上电极侧的结晶粒径比在所述下电极侧大，所述压电膜的规定面取向的取向度比其他面取向的取向度高。
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公开(公告)号：CN100382969C
公开(公告)日：2008-04-23
申请号：CN03801750.4
申请日：2003-07-08
Applicant: 精工爱普生株式会社
Inventor： 村井正己
CPC classification number: B41J2/161 , B41J2/14233 , B41J2/1628 , B41J2/1631 , B41J2/1645 , B41J2/1646 , B41J2202/03
Abstract: 本发明提供一种使用能够通过外加驱动电压而得到充分的位移的压电元件的液体喷出头。在具有形成有压力室(21)的基板(20)、在基板上形成的振动板(30)、在振动板上形成的压电薄膜元件(40)的液体喷出头中，所述振动板向所述压力室一侧凸出地挠曲，所述振动板的挠曲量为所述压力室的宽度(W)的0.4%以下。
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公开(公告)号：CN1305677C
公开(公告)日：2007-03-21
申请号：CN02817740.1
申请日：2002-09-11
Applicant: 精工爱普生株式会社
CPC classification number: B41J2/04581 , B41J2/04588 , B41J2/04593
Abstract: 本发明的目的在于提供一种可以获得良好特性、扩大材料选择范围的液体喷出装置。该装置是通过对压电体附加电压使压力室收缩以喷出液体的液体喷出装置，相对于所述压电体在液体喷出动作时附加的驱动波形包含：高电位期(a2)，在该高电位期附加表示超过所述压电体的矫顽电场的电场强度的电压；反向电位期(a6)，在该反向电位期附加与所述高电位期的电位极性相反或电位为零的电压。
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公开(公告)号：CN1553859A
公开(公告)日：2004-12-08
申请号：CN02817740.1
申请日：2002-09-11
Applicant: 精工爱普生株式会社
CPC classification number: B41J2/04581 , B41J2/04588 , B41J2/04593
Abstract: 本发明的目的在于提供一种可以获得良好特性、扩大材料选择范围的液体喷出装置。该装置是通过对压电体附加电压使压力室收缩以喷出液体的液体喷出装置，相对于所述压电体在液体喷出动作时附加的驱动波形包含：高电位期(a2)，在该高电位期附加表示超过所述压电体的矫顽电场的电场强度的电压；反向电位期(a6)，在该反向电位期附加与所述高电位期的电位极性相反或电位为零的电压。
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公开(公告)号：CN1890103A
公开(公告)日：2007-01-03
申请号：CN200480035810.5
申请日：2004-12-09
Applicant: 精工爱普生株式会社
Abstract: 公开了一种制造致动器装置的方法和液体喷射装置，其通过防止振动板分离而实现了提高的耐久性和可靠性。该方法包括在衬底的一侧上制造振动板的步骤以及在该振动板上制造由下电极、压电层和上电极构成的压电元件的步骤。振动板制造步骤包括绝缘膜形成子步骤，在该子步骤中通过溅射在衬底的所述一侧上形成锆层，将具有锆层的衬底以200mm/min或更大的速度插入加热到700℃以上的热氧化炉而使锆层热氧化，由此形成氧化锆绝缘膜。
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Patent Agency Ranking
公开(公告)号：CN1782121A
公开(公告)日：2006-06-07
申请号：CN200510127411.8
申请日：2005-12-02
Applicant: 精工爱普生株式会社
Inventor： 村井正己
CPC classification number: C23C14/3414 , B41J2/161 , B41J2/1646
Abstract: 本发明公开了一种溅射靶，其通过辊压包括铂的金属材料以形成具有预定厚度的金属板并且加热所述金属板以进行重结晶来获得，所述溅射靶具有沿平面方向和厚度方向中的任意方向各向同性的结晶织态结构，并且具有60或者更低的维氏硬度最大值。本发明还公开了一种用于制备溅射靶的方法、一种溅射装置以及一种液体喷射头。
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公开(公告)号：CN1630949A
公开(公告)日：2005-06-22
申请号：CN03803684.3
申请日：2003-09-17
Applicant: 精工爱普生株式会社
Inventor： 村井正己
CPC classification number: B41J2/14233 , B41J2/161 , B41J2/1623 , B41J2/1628 , B41J2/1631 , B41J2/1642 , B41J2/1646 , B41J2002/14258 , B41J2002/14491 , H01L41/0973 , H01L41/1876 , H01L41/318
Abstract: 本发明提供一种压电元件及液体喷出头，该压电元件具有振动板(30)、在前述振动板上形成规定布线图案的下部电极(42d)、形成在前述下部电极上的压电薄膜(43)、形成在前述压电薄膜上的上部电极(44)，在前述压电薄膜的附近设有金属层(42b)，该金属层(42b)与形成在前述振动板上的前述下部电极及前述上部电极电隔离。下部电极与金属层之间的间隔为200μm以下。由此，即使在下部电极端部附近，压电薄膜的结晶性也很好，因此可耐高电压，可靠性更高。
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公开(公告)号：CN1579025A
公开(公告)日：2005-02-09
申请号：CN03801388.6
申请日：2003-05-15
Applicant: 精工爱普生株式会社
IPC: H01L41/083 , B41J2/045 , B41J2/055
CPC classification number: H01L41/0973 , B41J2/14233 , B41J2202/03 , H01L41/047 , H01L41/0478 , H01L41/0815 , H01L41/319
Abstract: 本发明公开了一种压电致动器，具有在将(100)取向的钌酸锶用作下部电极时最合适的层结构。该压电致动器包括：振动板(30)，所述振动板(30)由在(100)－Si衬底(20)上外延生长的具有(100)取向的氧化钇稳定的氧化锆、CeO2或ZrO2构成；具有(001)取向的REBa2Cu3Ox的缓冲层(41)，所述缓冲层(41)形成在所述振动板(30)上；下部电极(42)，所述下部(42)电极形成在所述缓冲层上，且包括(100)取向的钌酸锶；压电层(43)，所述压电层(43)形成在所述下部电极(42)上，且由(100)取向的PZT构成；以及形成在所述压电层上的上部电极(44)。
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公开(公告)号：CN1438117A
公开(公告)日：2003-08-27
申请号：CN03103312.1
申请日：2003-01-22
Applicant: 精工爱普生株式会社
CPC classification number: B41J2/14233 , B41J2/161 , B41J2/1628 , B41J2/1642 , B41J2/1645 , B41J2/1646 , B41J2002/14491 , H01L41/1876 , H01L41/318 , H01L41/319 , Y10T29/42 , Y10T29/49155
Abstract: 一种压电体元件及使用它的喷墨式打印头的制造方法，在下部电极(42)上形成Ti膜后，通过多次形成构成压电体薄膜(43)的压电体层膜，并在该压电体薄膜(43)上形成上部电极(44)，从而完成压电体元件(40)的制造。在多次形成所述压电体层膜时，使第1次形成膜的烧结温度比其它各次形成膜的烧结温度高。另外，使第1次形成膜的烧结时间比其它各次形成膜的烧结时间长。这样，可以使100面取向度提高，并能防止下部电极的氧化和Pb的扩散。
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公开(公告)号：CN100433393C
公开(公告)日：2008-11-12
申请号：CN03803684.3
申请日：2003-09-17
Applicant: 精工爱普生株式会社
Inventor： 村井正己
CPC classification number: B41J2/14233 , B41J2/161 , B41J2/1623 , B41J2/1628 , B41J2/1631 , B41J2/1642 , B41J2/1646 , B41J2002/14258 , B41J2002/14491 , H01L41/0973 , H01L41/1876 , H01L41/318
Abstract: 本发明提供一种压电元件及液体喷出头，该压电元件具有振动板(30)、在前述振动板上形成规定布线图案的下部电极(42d)、形成在前述下部电极上的压电薄膜(43)、形成在前述压电薄膜上的上部电极(44)，在前述压电薄膜的附近设有金属层(42b)，该金属层(42b)与形成在前述振动板上的前述下部电极及前述上部电极电隔离。下部电极与金属层之间的间隔为200μm以下。由此，即使在下部电极端部附近，压电薄膜的结晶性也很好，因此可耐高电压，可靠性更高。
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