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公开(公告)号：CN110333370B
公开(公告)日：2022-09-09
申请号：CN201910242626.6
申请日：2019-03-28
Applicant: 精工爱普生株式会社
IPC: G01P15/14 , G01C19/5607
Abstract: 本发明提供一种传感器元件、物理量传感器、电子设备以及移动体。该传感器元件具有：基部；驱动臂，其经由从所述基部起在第1轴上延伸的连结臂而连接；第1检测臂和第2检测臂，在所述平面观察时，该第1检测臂从所述基部起朝与所述第1轴垂直的第2轴的正方向延伸，该第2检测臂朝所述第2轴的负方向延伸；驱动信号布线，在所述平面观察时，所述驱动信号布线在所述基部沿着所述第1轴配置；以及第1检测信号布线和第2检测信号布线，在所述平面观察时，它们配置于所述基部，所述第1检测信号布线和所述第2检测信号布线的形状与在所述平面观察时关于所述第1轴线对称的形状不同。
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公开(公告)号：CN114978096A
公开(公告)日：2022-08-30
申请号：CN202210161347.9
申请日：2022-02-22
Applicant: 精工爱普生株式会社
Abstract: 振动元件的制造方法。提供能够抑制槽深度的偏差的振动元件的制造方法。振动元件的制造方法包括：准备工序，准备具有第1面和第2面的石英基板；保护膜形成工序，在石英基板的第1面上，在除了形成槽的槽形成区域以及位于形成第1振动臂的第1振动臂形成区域与形成第2振动臂的第2振动臂形成区域之间的臂间区域之外形成保护膜；以及干蚀刻工序，隔着保护膜从第1面侧对石英基板进行干蚀刻，形成槽和第1振动臂以及第2振动臂的外形。而且，在设干蚀刻工序中形成的槽的深度为Wa、外形的深度为Aa时，满足Wa/Aa
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公开(公告)号：CN113691227A
公开(公告)日：2021-11-23
申请号：CN202110538570.6
申请日：2021-05-18
Applicant: 精工爱普生株式会社
Abstract: 振动元件和振荡器。能够进行高精度的温度补偿。振动元件具有：石英基板，其具有第1振动部、第2振动部和第3振动部；一对第1激励电极，它们形成于石英基板的两个主面；一对第2激励电极，它们形成为在石英基板的厚度方向上夹着第2振动部；以及一对第3激励电极，它们形成为在石英基板的厚度方向上夹着第3振动部，一对第2激励电极中的至少一个第2激励电极形成于相对于两个主面倾斜的第1倾斜面，一对第3激励电极中的至少一个所述第3激励电极形成于相对于两个主面倾斜的第2倾斜面，第2倾斜面相对于第1倾斜面倾斜。
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公开(公告)号：CN112688654A
公开(公告)日：2021-04-20
申请号：CN202011107392.3
申请日：2020-10-16
Applicant: 精工爱普生株式会社
Abstract: 本发明提供振动元件以及振荡器，该振动元件以及振荡器的温度检测精度高。振动元件具有：石英基板，其具有第1振动部和第2振动部；一对第1激励电极，它们在第1振动部处形成在石英基板的两个主面上；以及一对第2激励电极，它们在第2振动部处形成为在石英基板的厚度方向上夹着第2振动部，一对第2激励电极中的至少一个第2激励电极形成在相对于两个主面中的至少一个主面倾斜的倾斜面上。
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公开(公告)号：CN111510103A
公开(公告)日：2020-08-07
申请号：CN202010076811.5
申请日：2020-01-23
Applicant: 精工爱普生株式会社
Abstract: 提供振动器件、振动模块、电子设备以及移动体，能以稳定的姿势支承振动元件，即使针对冲击等振动元件也难以变形。振动器件具有振动元件、基座、将第1焊盘电极与第1布线接合的第1接合部件以及将第2焊盘电极与第2布线接合的第2接合部件，振动元件包含：石英基板；配置于第1面的第1激励电极；与第1激励电极对置地配置于第2面的第2激励电极；及第1、第2焊盘电极，它们配置于第1面，与第1、第2激励电极连接，基座包含基板及配置于基板的第1、第2布线，第1、第2接合部件将经过振动元件的重心并且与X轴平行的第1假想线隔在中间地配置，经过第1、第2接合部件的第2假想线与第1假想线所成的角θ1为100°＜θ1＜140°。
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Patent Agency Ranking
公开(公告)号：CN103363973B
公开(公告)日：2019-04-16
申请号：CN201310089719.2
申请日：2013-03-20
Applicant: 精工爱普生株式会社
IPC: G01C19/5607
Abstract: 本发明提供振动片及其制造方法、陀螺仪传感器、电子设备及移动体，能够在不降低输出信号的强度的情况下提高输出信号的S/N比。振动片(15)具备检测用振动臂（26a、26b）。在检测用振动臂(26a、26b)上设置有电极(41a、41b)。与电极(41a、41b)连接着布线(45a、45b)。布线(45a、45b)配置在基部(25)的压电体上。布线(45a、45b)的至少一部分是调整用电极(54a、54b)。调整用电极(54a、54b)生成与检测用振动臂(26a)的泄漏振动的输出信号相反相位的电信号。
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公开(公告)号：CN108627149A
公开(公告)日：2018-10-09
申请号：CN201810178563.8
申请日：2018-03-05
Applicant: 精工爱普生株式会社
IPC: G01C19/5733
CPC classification number: G01C19/5663 , B60G17/01933 , B60G17/01941 , B60G2401/10 , G01C19/5621 , G01C19/5628 , G01C19/5656 , G01C19/5733
Abstract: 振动器件、角速度传感器、电子设备和移动体。提供振动特性的变动减少的振动器件、具备所述振动器件并且检测精度的减低减少的角速度传感器、具备所述振动器件的电子设备和移动体。振动器件的特征在于，具有：振动元件，其具有多个端子；基体，其具有多个电连接端子；和中继基板，其具有将多个电连接端子与多个端子电连接起来的配线部，将振动元件支承于基体，所述中继基板具有：基体固定部，其被固定于所述基体；振动元件载置部，所述振动元件被载置于该振动元件载置部；和至少一个梁部，其将所述基体固定部与所述振动元件载置部连结起来，所述至少一个梁部具有向第一方向延伸的第一部分和朝向与所述第一方向交叉的第二方向延伸的第二部分。
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公开(公告)号：CN103363972A
公开(公告)日：2013-10-23
申请号：CN201310062676.9
申请日：2013-02-28
Applicant: 精工爱普生株式会社
IPC: G01C19/5607
CPC classification number: G01C19/5607 , G01C19/5621
Abstract: 振动片、传感器单元、电子设备以及振动片的制造方法。本发明提供用于陀螺仪传感器的检测灵敏度更高的振动片，以及使用了该振动片的传感器单元和电子设备。振动陀螺仪元件（1）具有：基部（21）；从基部（21）的一端延伸出的驱动用振动臂（22）；以及从基部（21）的与一端相反侧的另一端延伸出的检测用振动臂（23），在驱动用振动臂（22）的基部（21）侧区域设置有调整膜（30）。
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公开(公告)号：CN119154823A
公开(公告)日：2024-12-17
申请号：CN202410758662.9
申请日：2024-06-13
Applicant: 精工爱普生株式会社
Abstract: 本发明提供振动器件，具有Q值高的振动元件。振动器件具有：基座；以及振动元件，其包含振动部、厚度比振动部薄的薄壁部以及经由薄壁部与振动部连接的支承部，该振动元件在支承部处借助于金属凸块与基座接合，在设振动部的厚度为t1、从薄壁部的表面到振动部的表面为止的长度为h1时，满足0.01≤h1/t1≤0.156。
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公开(公告)号：CN118432538A
公开(公告)日：2024-08-02
申请号：CN202410124739.7
申请日：2024-01-29
Applicant: 精工爱普生株式会社
Abstract: 本发明提供振动器件，能够抑制由应力引起的特性劣化。振动器件(1)包含：基座(2)，其包含在第二面(22)配置有集成电路(10)的半导体基板；振动元件，其与集成电路(10)连接；以及盖(3)，其侧壁部(32)的端面(34)与第一面(21)在接合部(36)处接合。集成电路(10)的第一电路包含第一电路元件，该第一电路元件配置于俯视观察时与接合部(36)重叠的第一区域所包围的第二区域。第一电路元件是无源元件或晶体管，在设第一面(21)与侧壁部(32)的内侧侧面(38)之间的角度为θ时，满足θ＜90°。
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