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公开(公告)号：CN110284111A
公开(公告)日：2019-09-27
申请号：CN201910687597.4
申请日：2019-07-29
Applicant: 福建阿石创新材料股份有限公司
Abstract: 本发明公开了一种金属靶材的制备系统，包括：中控台、冷水机组、真空室以及设置在真空室内的工作台、旋转机构、背管、移动机构、送料器和电子枪；工作台两端设置有旋转机构，旋转机构用于安装并固定背管的端部，中控台控制旋转机构带动背管沿圆周方向旋转；移动机构安装在背管的上方或一侧，且沿背管轴向方向来回移动，移动机构上设置有送料器和电子枪，中控台控制移动机构的运动；中控台控制电子枪发射电子束，电子束朝向背管表面；中控台控制送料器给背管表面进行送料；冷水机组通过连接管与背管连通；中控台利用冷水机组向背管内提供循环冷却水。本发明通过上述系统能够制备高纯度、高密度及晶粒均匀的金属靶材。
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公开(公告)号：CN110257785A
公开(公告)日：2019-09-20
申请号：CN201910688136.9
申请日：2019-07-29
Applicant: 福建阿石创新材料股份有限公司
Abstract: 本发明提供了一种旋转金属靶材及其制备方法和装置，属于靶材制备领域。本发明提供的制备方法包括以下步骤：在真空条件下，对金属管材进行高能电子束区域重熔处理后进行冷却，得到旋转金属靶材。本发明利用高能电子束对金属管材进行区域重熔，同时结合冷却处理，使旋转金属靶材具有高纯度，靶材内部无杂质，旋转金属靶材的晶粒尺寸细化。且提供的制备方法工艺简单，工艺过程易控制，加工设备便宜，成本低。
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公开(公告)号：CN109023269A
公开(公告)日：2018-12-18
申请号：CN201811146501.5
申请日：2018-09-29
Applicant: 福建阿石创新材料股份有限公司
Abstract: 本发明公开一种靶材的制作方法。所述制作方法包括：采用电刷镀方式在靶坯的接触面制作第一膜层；采用电刷镀方式在背板的接触面制作第二膜层；所述第二膜层与所述第一膜层材质相同；用自来水将所述靶坯和所述背板冲净、吹干；将所述靶坯和所述背板叠合固定在加热平台上；叠合时所述靶坯的接触面的第一膜层与所述背板的接触面的第二膜层接触；打开所述加热平台，调节温度范围，所述温度范围为高于所述第一膜层和第二膜层的熔点，且小于所述靶坯和所述背板的熔点的温度范围；保温保压1小时后关闭所述加热平台；冷却后，完成所述靶坯与所述背板的结合，完成靶材的制作。采用本发明靶材的制作方法，可以提高靶材的结合率，提高靶材的质量。
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公开(公告)号：CN105506564B
公开(公告)日：2018-08-17
申请号：CN201510978709.3
申请日：2015-12-24
Applicant: 福建阿石创新材料股份有限公司
Abstract: 本发明涉及一种旋转硅镁合金靶材，其纯度大于99.9%，镁含量分别为30wt%、40wt%、50wt%，硅余量。本发明还公开一种制备旋转硅镁合金靶材的方法，工艺如下：预处理：对不锈钢背管进行预处理，其中包括清洗，喷砂粗化；喷涂粘结层：即利用电弧喷涂，在不锈钢背管喷涂一层0.2‑0.5mm厚的镍铝合金涂层，所述涂层起连接不锈钢背管和后续喷涂的靶材材料作用；等离子喷涂沉积硅镁涂层：利用等离子喷涂设备将配置好的硅镁粉熔射沉积在不锈钢背管上面形成硅镁涂层。本发明的靶材安全性能高，而且均匀性好。
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公开(公告)号：CN115305434B
公开(公告)日：2024-05-24
申请号：CN202210959815.7
申请日：2022-08-11
Applicant: 福建阿石创新材料股份有限公司
Abstract: 本发明提供了一种在薄壁防护罩表面制备陶瓷涂层的方法和带有涂层的防护罩，属于防护涂层技术领域。本发明首先采用46～120目刚玉砂对防护罩进行喷砂粗化，再等离子喷涂镍铬合金打底层和氧化铝面层，刚玉砂的粒径较小，在提高防护罩表面粗糙度的同时不会使其产生明显变形，先喷涂镍铬合金打底层再喷涂氧化铝面层，能够提高氧化铝陶瓷涂层与防护罩的结合强度，使其不易脱落。实施例的结果显示，本发明制备方法制备的陶瓷涂层的结合强度达到15.2MPa，且防护罩无明显形变。
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Patent Agency Ranking
公开(公告)号：CN110394603B
公开(公告)日：2023-05-09
申请号：CN201910690077.9
申请日：2019-07-29
Applicant: 福建阿石创新材料股份有限公司
Abstract: 本发明提供了一种金属旋转靶材及其制备方法和应用，属于集成电路和平面显示制造技术领域。本发明提供的金属旋转靶材的制备方法，包括以下步骤：将金属板坯依次进行铣削、轧制、再结晶处理和车铣，得到金属靶坯；将所述金属靶坯依次进行弯曲变形和对焊，得到金属管状靶坯；将所述金属管状靶坯与不锈钢管绑定后，得到金属旋转靶材。本发明提供的制备方法能够有效地提高靶材的组织均匀性，极大地提高靶材利用率，且靶材致密度高，内部无缺陷，成品率高，制造成本低。
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公开(公告)号：CN111606708A
公开(公告)日：2020-09-01
申请号：CN202010493051.8
申请日：2020-06-03
Applicant: 福建阿石创新材料股份有限公司
IPC: C04B35/495 , C04B35/622 , C04B35/626 , C04B35/64 , C23C14/34 , C23C14/08
Abstract: 本发明提供了一种低电阻率五氧化二铌热压靶材及其制备方法，属于镀膜材料技术领域。本发明将五氧化二铌粉和铌粉的混合物进行真空预烧结，部分五氧化二铌与铌反应生成一氧化铌和二氧化铌，同时五氧化二铌在真空失氧状态下，生成二氧化铌，得到含一氧化铌的铌的氧化物，然后进行热压烧结，得到较高密度的五氧化二铌热压靶材。本发明所得五氧化二铌热压靶材中含有一氧化铌导体和二氧化铌半导体，有效降低了靶材的电阻率，提高了导电性。
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公开(公告)号：CN111593306A
公开(公告)日：2020-08-28
申请号：CN202010493073.4
申请日：2020-06-03
Applicant: 福建阿石创新材料股份有限公司
IPC: C23C14/34
Abstract: 本发明涉及溅射靶材制备技术领域，具体涉及一种端部强化旋转靶材及其制备方法。本发明提供的端部强化旋转靶材，包括旋转靶材和固定在所述旋转靶材两端的靶材连接法兰；所述固定的方式为螺纹连接结合导电银胶填充；所述靶材连接法兰包括法兰盘和设置在所述法兰盘一面的螺纹杆；所述螺纹杆上设有外螺纹，所述旋转靶材的两端设置内螺纹，所述内螺纹的尺寸与所述螺纹杆上外螺纹的尺寸相配合。本发明利用螺纹杆上的外螺纹与旋转靶材的端部固定，配合导电银胶提高连接强度，借助法兰盘的高强度，能够有效提高靶材和设备连接部位的强度，相比较一体靶材能够有效避免旋转靶材在安装过程中出现损坏。
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公开(公告)号：CN110284111B
公开(公告)日：2020-08-14
申请号：CN201910687597.4
申请日：2019-07-29
Applicant: 福建阿石创新材料股份有限公司
Abstract: 本发明公开了一种金属靶材的制备系统，包括：中控台、冷水机组、真空室以及设置在真空室内的工作台、旋转机构、背管、移动机构、送料器和电子枪；工作台两端设置有旋转机构，旋转机构用于安装并固定背管的端部，中控台控制旋转机构带动背管沿圆周方向旋转；移动机构安装在背管的上方或一侧，且沿背管轴向方向来回移动，移动机构上设置有送料器和电子枪，中控台控制移动机构的运动；中控台控制电子枪发射电子束，电子束朝向背管表面；中控台控制送料器给背管表面进行送料；冷水机组通过连接管与背管连通；中控台利用冷水机组向背管内提供循环冷却水。本发明通过上述系统能够制备高纯度、高密度及晶粒均匀的金属靶材。
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公开(公告)号：CN110257785B
公开(公告)日：2020-07-28
申请号：CN201910688136.9
申请日：2019-07-29
Applicant: 福建阿石创新材料股份有限公司
Abstract: 本发明提供了一种旋转金属靶材及其制备方法和装置，属于靶材制备领域。本发明提供的制备方法包括以下步骤：在真空条件下，对金属管材进行高能电子束区域重熔处理后进行冷却，得到旋转金属靶材。本发明利用高能电子束对金属管材进行区域重熔，同时结合冷却处理，使旋转金属靶材具有高纯度，靶材内部无杂质，旋转金属靶材的晶粒尺寸细化。且提供的制备方法工艺简单，工艺过程易控制，加工设备便宜，成本低。
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