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公开(公告)号：CN105024124B
公开(公告)日：2018-03-06
申请号：CN201510494771.5
申请日：2015-08-13
Applicant: 电子科技大学
IPC: H01P1/203
Abstract: 超宽带滤波器是超宽带通信系统中的关键器件，它决定了系统的整体性能。本发明涉及一种微带超宽带带通滤波器，它基于一种新型多枝节多模谐振器。其特征在于：短路传输线节(33)中间通过第一金属化通孔(34)实现短路，短路传输线节(33)两端与传输线节(32)两端连接，形成一个闭合环；第一开路传输线节(31)、第二开路传输线节(35)、第三开路传输线节(36)、第四开路传输线节(37)、第五开路传输线节(38)和第六开路传输线节(39)分别连接到传输线节(32)上，它们构成一个多枝节多模谐振器。研究表明，本发明所述超宽带带通滤波器具有高性能小型化等优点。
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公开(公告)号：CN107340613A
公开(公告)日：2017-11-10
申请号：CN201710480400.0
申请日：2017-06-22
Applicant: 电子科技大学
IPC: G02F1/015
CPC classification number: G02F1/015
Abstract: 本发明提供了一种微带线加载HEMT嵌套结构的太赫兹波调制器，属于电磁功能器件技术领域。本发明中通过将人工电磁谐振结构与高电子迁移率晶体管相互嵌套的方式实现调制单元结构，在结构中外加电压高速控制晶体管中二维电子气分布从而可形成谐振模式间的高速切换，以实现对太赫兹波高速调制的效果。本发明将微带与调制单元结构结合，减少太赫兹波在器件传输过程中的插损，同时高效的对太赫兹波进行调制，实现99.5％以上的调制深度，同时对太赫兹波的插损小于-1.5dB，调制速度可达到30Gbps以上。本发明通过运用微细加工技术实现，制备工艺成熟可靠，在太赫兹无线通信、太赫兹波谱技术、太赫兹安检成像等领域具有重要的实际应用价值。
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公开(公告)号：CN107102453A
公开(公告)日：2017-08-29
申请号：CN201710541618.2
申请日：2017-07-05
Applicant: 电子科技大学
CPC classification number: G02F1/0081 , G02F2203/13 , H01P1/00
Abstract: 本发明提供了一种鳍线加载HEMT嵌套结构的太赫兹波快速调制器，属于电磁功能器件技术领域。本发明是通过将太赫兹波段鳍线‑波导传输系统与人工电磁谐振结构单元、高电子迁移率晶体管HEMT相结合而实现的。本发明通过电控HEMT的电磁特性实现对人工电磁谐振单元结构中电磁谐振模式的控制，从而实现对鳍线‑波导中传播的太赫兹波幅度、相位进行调制。本发明可实现95％以上的调制深度，同时对太赫兹波的插损可小于‑1.5dB以内。本发明可通过运用微细加工技术实现，制备工艺成熟可靠。本发明实现了半导体材料与人工微结构阵列、太赫兹传输线相结合的调制器件，在太赫兹无线通信、太赫兹波谱技术、太赫兹安检成像等领域具有重要的实际应用价值。
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公开(公告)号：CN106992768A
公开(公告)日：2017-07-28
申请号：CN201710191273.2
申请日：2017-03-23
Applicant: 电子科技大学
Abstract: 本发明属于电子科学技术领域，具体提供一种具有多对驱动感应电极的电容式MEMS谐振器，用以克服现有电容式谐振器输出电流小、带负载能力差的问题；本发明MEMS谐振器，包括1个振动块、4个振动块支撑梁、4个振动块锚点、4个输入输出电极、4个电极支撑梁及4个电极锚点，通过对振动块进行分区掺杂、及输入输出电极掺杂的方法，构造四对驱动感应电极，使谐振器工作时的静电力大幅增加，从而使谐振器的输出电流和最大振动幅度也大幅增加，提高了谐振器的驱动能力。
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公开(公告)号：CN106921363A
公开(公告)日：2017-07-04
申请号：CN201710139948.9
申请日：2017-03-10
Applicant: 电子科技大学
Abstract: 本发明公开了一种薄膜体声波谐振器，涉及射频微机电系统技术领域。本发明谐振器包括基底、支撑台、薄膜结构层和外接电极，所述薄膜结构层包括石墨烯薄膜、压电薄膜和金属钛膜；薄膜结构层中两个石墨烯薄膜分别作为顶电极和底电极，顶电极和底电极相互交叉且隔离设置，并分别对应支撑台形成电气连通；压电薄膜位于顶电极与底电极平面之间形成石墨烯薄膜‑压电薄膜‑石墨烯薄膜的压电谐振堆，顶电极与输入外接电极电气连通，能够基于逆压电效应能够将电能量转换成声波形成谐振，底电极与输出外接电极电气连通，能够将产生信号进行输出。本发明能够有效降低薄膜体声波谐振器的锚点损耗和界面损耗，提高器件的工作频率和高品质因素。
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Patent Agency Ranking
公开(公告)号：CN110112513B
公开(公告)日：2021-08-06
申请号：CN201910392994.9
申请日：2019-05-13
Applicant: 电子科技大学
Abstract: 本发明公开了一种基于可调谐仿表面等离子体的宽带片上太赫兹开关，属于电磁功能器件技术领域。本发明通过将具有相变性质的二氧化钒周期的嵌套到一维亚波长金属刻槽结构中，利用二氧化钒薄膜绝缘态到金属态的相变性质，从而实现对一维亚波长金属刻槽结构的形态重构。一维亚波长金属刻槽结构形态发生变化时，其表面所支持的仿表面等离子体波的色散同时发生变化，引起其截止频率的变化，最终实现对其表面传输的太赫兹仿表面等离子体波传输特性的控制。通过仿真与实验证明，该片上太赫兹开关工作带宽宽，开关比高，便于与其他太赫兹片上器件集成，有助于实现太赫兹器件的小型化。
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公开(公告)号：CN109870831B
公开(公告)日：2020-06-16
申请号：CN201910227583.4
申请日：2019-03-25
Applicant: 电子科技大学
Abstract: 本发明公开了一种腔体外部加载式可调金属线太赫兹波直接调制器，属于电磁功能器件技术领域。包括矩形波导、介质基板、谐振结构、肖特基二极管、接地枝节和滤波馈电结构；介质基板贯穿矩形波导腔体壁并放置在矩形波导的长边；介质基板的上表面由矩形波导内至矩形波导外依次为谐振结构、肖特基二极管和滤波馈电结构。本发明是一种二维平面结构，可通过微细加工手段实现，工艺成熟、易于制作，避免了复杂立体结构的设计方案带来的高难度加工。本发明拥有大的调制带宽、调制深度以及极低插损，可工作于常温、常压、非真空条件下，因此本发明所述调制器有着良好的实际应用前景。
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公开(公告)号：CN106982042B
公开(公告)日：2020-06-16
申请号：CN201710164136.X
申请日：2017-03-20
Applicant: 电子科技大学
Abstract: 本发明属于射频通信及微机电系统(MEMS)技术领域，提供一种新型支撑结构的MEMS压电谐振器，用以克服现有MEMS谐振器的Q值低的缺陷；本发明MEMS压电谐振器结构中增加圆形外框和内支撑梁，采用硅振动块‑内支撑梁‑圆形外框‑外支撑梁‑基底的连接方式，且将圆形外框与外支撑梁的连接位置选取在机械波在圆形外框中传播时的驻波节点处，从而使内支撑梁传导出的两股机械波在节点处反相而相互抵消，显著减小从谐振体到基底通过支撑梁传导造成的能量耗散，降低锚点损耗，从而提升谐振器的品质因数Q。
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公开(公告)号：CN106992768B
公开(公告)日：2020-01-14
申请号：CN201710191273.2
申请日：2017-03-23
Applicant: 电子科技大学
Abstract: 本发明属于电子科学技术领域，具体提供一种具有多对驱动感应电极的电容式MEMS谐振器，用以克服现有电容式谐振器输出电流小、带负载能力差的问题；本发明MEMS谐振器，包括1个振动块、4个振动块支撑梁、4个振动块锚点、4个输入输出电极、4个电极支撑梁及4个电极锚点，通过对振动块进行分区掺杂、及输入输出电极掺杂的方法，构造四对驱动感应电极，使谐振器工作时的静电力大幅增加，从而使谐振器的输出电流和最大振动幅度也大幅增加，提高了谐振器的驱动能力。
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公开(公告)号：CN110535007A
公开(公告)日：2019-12-03
申请号：CN201910843616.8
申请日：2019-09-06
Applicant: 电子科技大学
Abstract: 本发明公开了一种基于鳍线加载谐振单元嵌套二极管的片上太赫兹波幅度调制器，属于电磁功能器件技术领域。通过在鳍线传输线的背面加载嵌套有二极管的谐振单元，利用外部馈电输入结构通过电压控制二极管的工作状态，实现谐振单元工作模式切换，从而实现对传输线中传输的太赫兹波进行快速幅度调制。克服了现有片上调制器在传输线的传输区域直接加载谐振单元造成的传输特性差问题，同时由于外部馈电区直接与调制区中谐振单元相接，降低了外部馈电区与调制区中谐振单元相接时引入的阻抗不匹配，克服了外部馈电区在高频信号输入的反射大问题。
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