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公开(公告)号：CN103439867B
公开(公告)日：2015-09-30
申请号：CN201310388961.X
申请日：2013-08-30
Applicant: 清华大学 , 北京华卓精科科技有限公司
IPC: G03F7/20
Abstract: 一种用于光刻机工件台的线缆台，主要应用于半导体光刻机中。该线缆台含有从平面电机引出的线缆束、X方向和Y方向直线导轨滑块机构、X方向直线电机和Y方向驱动装置。Y方向直线导轨滑块机构通过L型连接板与X方向直线导轨滑块机构的滑块连接；线缆束与X方向直线导轨滑块机构的滑块连接；Y方向驱动装置含有微型伺服电机、一个沿Y轴方向布置的同步带传动机构和悬臂支撑杆。本发明的线缆束与平面电机之间没有硬连接，线缆台可自由运动；通过线性光栅尺和光电位置探测器跟随的方式控制线缆台和平面电机动子之间的距离，避免了线缆束对平面电机动子运动的干扰，进而降低了线缆束对工作台的响应速度和运动过程中的速度和运动定位精度的影响。
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公开(公告)号：CN103309176B
公开(公告)日：2015-07-22
申请号：CN201310239699.2
申请日：2013-06-17
Applicant: 清华大学 , 北京华卓精科科技有限公司
IPC: G03F7/20
Abstract: 一种带升降真空爪的六自由度微动台，含有实现微动工作台在水平面内沿X方向、Y方向和绕Z轴旋转的第一种电磁力驱动模块和实现微动工作台沿Z方向、绕X轴旋转和绕Y轴旋转的第二种电磁力驱动模块、真空吸盘、微动台上盖、升降真空爪和基座；真空吸盘设置在微动台上盖的上表面的凹槽内；升降真空爪布置在微动台上盖的下方，包括驱动模块、导向模块和测量模块；驱动模块是一个音圈电机，导向模块由两组微型滚珠导轨组成，测量模块是一个线性光栅尺传感器组件。本发明与现有六自由度微动台相比，由于增加了一个带升降真空爪，使得该六自由度微动台具有一个沿垂直方向的大行程的单自由度抬升与抓取功能，满足了光刻机对于硅片的抬升与抓取的要求。
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公开(公告)号：CN104569013A
公开(公告)日：2015-04-29
申请号：CN201310469579.1
申请日：2013-10-10
Applicant: 清华大学 , 鸿富锦精密工业(深圳)有限公司
IPC: G01N23/22
CPC classification number: G06T7/0006 , G06T2207/10061 , G06T2207/30148 , H01L22/12
Abstract: 一种纳米线带隙分布的测量方法，包括以下步骤：提供一基体，并于该基体设置多个纳米线，该多个纳米线平行于基体表面；形成至少一金属电极于所述基体表面，并与所述多个纳米线相互接触；对上述形成有多个纳米线及至少一金属电极的基体拍摄扫描电子显微镜(ScanningElectronMicroscope,SEM)照片；分析上述扫描电子显微镜照片，获得该多个纳米线的带隙分布。
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公开(公告)号：CN103226296B
公开(公告)日：2015-04-15
申请号：CN201310152958.8
申请日：2013-04-27
Applicant: 清华大学 , 北京华卓精科科技有限公司
Inventor： 朱煜 , 张鸣 , 杨开明 , 成荣 , 刘召 , 刘昊 , 徐登峰 , 张利 , 田丽 , 叶伟楠 , 张金 , 胡金春 , 穆海华 , 尹文生 , 赵彦坡 , 秦慧超 , 胡清平
Abstract: 一种带激光干涉仪测量的粗精动叠层工作台，主要用于光刻机系统中。叠层工作台含有精动台、粗动台、平衡块、四个隔震器和测量机架；粗动台包括粗动台骨架、四个动铁式电磁力驱动模块和四个气浮轴承；精动台设置在粗动台骨架的中间位置；该系统还含有用于六自由度定位装置的承片台和基座之间位置反馈的激光干涉仪测量组件，激光干涉仪测量组件由激光光源、光路组件、激光干涉仪组成，可对该装置的运动部分进行实时的六自由度的测量。本发明具有结构简单、紧凑，运动部分质量轻；粗动台驱动电机采用加长矩形线圈组，在不影响运动精度的前提下，避开了大规模halbach磁钢阵列的制造困难，又增大了驱动电机行程；进而提高了运动的精度。
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公开(公告)号：CN103105742B
公开(公告)日：2015-03-04
申请号：CN201310048284.7
申请日：2013-02-06
Applicant: 清华大学
Abstract: 带光电位置探测器测量的六自由度粗动台的掩模台系统，粗动台含有一个粗动台台体、驱动装置和粗动台重力平衡组件，粗动台台体设置在精动台的外部，将精动台包围在中间，实现粗动台的六自由度运动；该掩模台系统还含有PSD传感器测量系统，该测量系统可测量精动台与粗动台之间相对位置以及测量粗动台与基座之间的相对位置。本发明在调整掩模台姿态的同时既提高了掩模台的速度、加速度和控制带宽，又满足了高运动精度和定位精度的要求，进而提高了光刻机的生产率、套刻精度和分辨率，并且测量精度和测量速度也很高，可适应掩模台的高响应速度、高加速度和高运动定位精度。
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Patent Agency Ranking
公开(公告)号：CN102880013B
公开(公告)日：2015-02-18
申请号：CN201210371884.2
申请日：2012-09-28
Applicant: 清华大学
IPC: G03F7/20
Abstract: 一种掩模台工作台，属于超精密加工和检测设备技术领域。该掩模台工作台含有微动台、粗动台和机座；微动台包含微动台台体和洛伦兹电机；洛伦兹电机包含三种洛伦兹电机，每种洛伦兹电机对称分布在微动台台体沿X轴方向的两侧面；粗动台包含驱动模块和粗动台底座，每个驱动模块由粗动台台体、直线电机和气浮轴承组成。微动台台体和粗动台台体均采用碳化硅陶瓷材料构成。本发明既能满足大行程需要，又能实现高精度六自由度微调；采用碳化硅可加工陶瓷制造主要零部件，重量轻，并将多个零件一体化为一个部件，体积小，使得结构更加紧凑，既减少了微动台零部件数量，又提高了系统的模态、精度和频响。
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公开(公告)号：CN103116250B
公开(公告)日：2015-01-07
申请号：CN201310048743.1
申请日：2013-02-06
Applicant: 清华大学
Abstract: 带激光干涉仪测量的具有六自由度粗动台的掩膜台系统，主要用于光刻机系统中。该系统包括粗动台、精动台和机架；粗动台含有一个粗动台台体、驱动装置和粗动台重力平衡组件，粗动台台体设置在精动台的外部，将精动台包围在中间；该掩膜台系统还包含用于测量精动台台体和测量架之间位置反馈激光干涉仪测量组件，所述的激光干涉仪测量组件由激光光源、光路组件、激光干涉仪和测量架组成，可对该掩膜台系统的运动部分进行实时的六自由度的测量。该掩膜台系统具有结构简单、紧凑，运动部分质量轻从而减小了负载，提高了速度，加速度和控制带宽，配合激光干涉仪测量系统，大大提高了掩膜台系统的运动的精度。
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公开(公告)号：CN104009586A
公开(公告)日：2014-08-27
申请号：CN201410253931.2
申请日：2014-06-09
Applicant: 清华大学 , 北京华卓精科科技有限公司
IPC: H02K9/19
Abstract: 一种电机冷却散热结构，涉及直线电机和平面电机，主要应用于电机功率较大、发热量大且对电机温度控制要求较高的各种高精度、高速度、高加速运动系统。该冷却散热结构含有盖板、骨架和毛细管阵列；盖板上设有进水口出水口，并加工有水道；在骨架上设有四周水道、线圈安装槽和毛细管安装孔，在毛细管的外层镀有一层绝缘层；毛细管安装孔可以为单排孔结构，也可以为双排孔结构，双排孔结构相对散热面积更大，散热更充分。本发明与现有技术相比，其优点体现在可形成对线圈六个面的全方位冷却，且不会产生明显电涡流效应。
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公开(公告)号：CN103929097A
公开(公告)日：2014-07-16
申请号：CN201410183531.9
申请日：2014-04-30
Applicant: 清华大学 , 北京华卓精科科技有限公司
IPC: H02N15/00
Abstract: 一种六自由度磁悬浮运动台，包括运动部分和永磁体阵列定子，其中运动部分包括承载台、多个X向电机动子、多个YZ向电机动子和四个重力补偿机构动子；X向电机动子和YZ向电机动子分别与永磁体阵列定子组成X向动圈式直线电机和YZ向动圈式直线电机；X向动圈式直线电机动子、YZ向动圈式直线电机动子和重力补偿机构动子共用永磁体阵列定子。该磁悬浮运动台利用重力补偿机构动子与永磁体阵列定子间的吸力之差补偿重力，利用X向动圈式直线电机和YZ向动圈式直线电机驱动并调整其悬浮姿态，可实现Y向的大行程运动及X向和Z向的小行程运动，并可实现θX、θY、θZ三个自由度的小角度转动，且能在Y向实现大行程、高速高加速运动，结构简单、功耗低。
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公开(公告)号：CN103926805A
公开(公告)日：2014-07-16
申请号：CN201410175360.5
申请日：2014-04-28
Applicant: 清华大学 , 北京华卓精科科技有限公司
IPC: G03F7/20
CPC classification number: G03F7/70716 , G03F7/70725 , G03F7/70733 , G03F7/70758 , G03F7/70766 , G03F7/70775
Abstract: 一种平面电动机驱动的粗微动一体掩模台，该粗微动一体掩模台包括粗微动一体掩模台动台、平衡质量、驱动电动机、掩模板、基座、隔振系统及测量系统；隔振系统位于平衡质量与基座之间，掩模板安装在粗微动一体掩模台动台上；掩模台动台的驱动电动机为动铁式平面电动机，该平面电动机动子为安装在粗微动一体掩模台动台顶面的永磁体阵列，平面电动机定子为安装在平衡质量上的线圈阵列。本发明可降低掩模台动台驱动电动机的设计复杂性；与直线电动机相比，平面电动机能够提供更多方向的推力，减少电动机的数量，使粗微动一体掩模台动台结构更加紧凑，提高粗微动一体掩模台动台的固有频率及控制带宽，进而提高控制精度。
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