公开(公告)号：CN110993521A

公开(公告)日：2020-04-10

申请号：CN201911266921.1

申请日：2019-12-11

Applicant: 浙江清华柔性电子技术研究院 ,  清华大学

Inventor： 冯雪 ,  张柏诚 ,  刘兰兰 ,  付浩然 ,  蒋晔

IPC: H01L21/66

Abstract: 本申请涉及一种封装测试方法和设备，利用液态金属的流动性，将液态金属作为封装测试材料，以液态金属表面氧化后的灰度值和/或电阻值的变化作为判断依据，通过液态金属在透过待测封装层进入封装内部的水和空气的作用下，发生由液态金属金属相到金属氧化物的转变，通过获取的待测样品的灰度值/或电阻值得到待测样品的水氧透过率，由此判断待测封装层的水氧阻隔效果。

公开(公告)号：CN110890443A

公开(公告)日：2020-03-17

申请号：CN201811049971.X

申请日：2018-09-10

Applicant: 浙江清华柔性电子技术研究院 ,  清华大学

Inventor： 冯雪 ,  蒋晔 ,  陈颖 ,  付浩然 ,  张柏诚 ,  刘兰兰 ,  王志建 ,  邰艳龙 ,  彭祖军

IPC: H01L31/18 ,  H01L21/225 ,  H01L31/068

Abstract: 本发明涉及一种晶体硅太阳能电池扩散层及其制备方法，所述制备方法包括：提供硅片以及扩散源，其中所述扩散源包括扩散元素；采用打印方法将扩散源置于所述硅片上而形成预制层，所述预制层的厚度大于等于2μm；对带有所述预制层的硅片进行退火处理，使所述扩散元素扩散进入所述硅片中，以形成扩散层；以及采用刻蚀溶液去除所述硅片上残留的预制层。本发明的制备方法不受硅片厚度的限制，可实现扩散层的可控制备，不仅工艺简单、成本低，还可以保证硅片的完整性和工艺稳定性，可重复性好，得到的晶体硅太阳能电池扩散层的方阻为20Ω/□～110Ω/□，具有很好的实际应用价值。

公开(公告)号：CN110841080A

公开(公告)日：2020-02-28

申请号：CN201911103259.8

申请日：2019-11-12

Applicant: 浙江清华柔性电子技术研究院 ,  清华大学

Inventor： 冯雪 ,  刘兰兰 ,  张柏诚 ,  唐瑞涛 ,  陈颖 ,  蒋晔 ,  付浩然

IPC: A61K50/00

Abstract: 本申请提供一种导电水凝胶器件及其制备方法，该导电水凝胶器件的水凝胶由带正电荷的聚合物与多酸通过静电作用形成，其上的导电线路是通过打印银离子溶液后进行紫外光照还原形成，得到的导电水凝胶器件无毒、具有抗菌活性。本申请还提供该种导电水凝胶器件在可穿戴医疗检测设备或者植入式医疗检测设备中的应用。

公开(公告)号：CN110553766A

公开(公告)日：2019-12-10

申请号：CN201810542628.2

申请日：2018-05-30

Applicant: 浙江清华柔性电子技术研究院 ,  清华大学

Inventor： 冯雪 ,  张柏诚 ,  陈颖 ,  付浩然 ,  蒋晔 ,  刘兰兰

IPC: G01L1/20

Abstract: 本发明公开了一种力传感器及其制造方法，涉及检测技术领域，所述力传感器包括：柔性基底、形成于所述柔性基底内的至少一个腔体、及设于所述腔体内壁的至少两个电极；所述腔体内填充有液态金属或胶态金属，所述液态金属或所述胶态金属将至少两个所述电极电连通。采用本发明实施例提供的技术方案，避免了现有技术中金属因多次弯折而发生非弹性形变的现象，提高了力检测的可靠性，更利于实现运动检测。

公开(公告)号：CN110526201A

公开(公告)日：2019-12-03

申请号：CN201810517102.9

申请日：2018-05-25

Applicant: 浙江清华柔性电子技术研究院 ,  清华大学

Inventor： 冯雪 ,  蒋晔 ,  陈颖 ,  付浩然 ,  张柏诚 ,  刘兰兰

IPC: B81C1/00

Abstract: 本发明涉及柔性硅片的制备方法，包括步骤：提供一硅片，所述硅片包括第一表面、与所述第一表面相背的第二表面、以及位于所述硅片周侧的侧面；在所述硅片的所述侧面上形成抗刻蚀层；在所述硅片的所述第一表面上和所述第二表面上刻蚀形成微结构；采用反应离子刻蚀技术刻蚀形成有所述微结构的硅片，减薄所述硅片；去除所述微结构和所述抗刻蚀层，得到柔性硅片。本发明柔性硅片的制备方法能够实现全面积减薄，且减薄效率高，成品率高。

公开(公告)号：CN111046607B

公开(公告)日：2025-05-13

申请号：CN201911273684.1

申请日：2019-12-12

Applicant: 浙江清华柔性电子技术研究院 ,  清华大学

Inventor： 冯雪 ,  张柏诚 ,  刘兰兰 ,  蒋晔 ,  付浩然

IPC: G06F30/23 ,  G06F30/38 ,  G06F119/14

Abstract: 本申请涉及一种柔性微流体器件设计方法、柔性微流体器件、计算机设备和存储介质。所述方法包括：通过对柔性衬底建立有限元模型并且对该有限元模型进行模拟拉伸，获取柔性衬底的应力分布数据，并根据应力分布数据和第一阈值确定柔性衬底的应力集中区，在应力集中区不符合预设的形状条件的情况下，改变该应力集中区附近的柔性衬底的形状，在应力集中区符合预设的形状条件的情况下，在柔性衬底的等力线的中值线处设置微流道，通过上述设计方法获得的柔性微流体器件改善了柔性衬底在拉伸时局部应力过高而导致的微流道坍塌的问题，从而很大程度上解决了拉伸时微流体易发生阻断的问题，提高器件使用的可靠性，延长器件的使用寿命。

公开(公告)号：CN110811639B

公开(公告)日：2023-11-21

申请号：CN201911075388.0

申请日：2019-11-06

Applicant: 浙江清华柔性电子技术研究院 ,  清华大学

Inventor： 冯雪 ,  张柏诚 ,  刘兰兰 ,  蒋晔 ,  付浩然 ,  陈颖

IPC: A61B5/1464 ,  A61B5/00

公开(公告)号：CN109768186B

公开(公告)日：2023-04-18

申请号：CN201811622012.2

申请日：2018-12-28

Applicant: 浙江清华柔性电子技术研究院 ,  清华大学

Inventor： 冯雪 ,  张柏诚 ,  陈颖 ,  蒋晔 ,  刘兰兰

IPC: H10K71/00 ,  H10K77/10 ,  H10K71/20

Abstract: 本发明提供一种柔性电子器件衬底的制备方法，包括：提供预聚物和光固化剂的混合溶液；提供可图形化编程的光源；使光源形成与柔性电子器件的功能结构相关的光源图形；利用光源照射固化预聚物和光固化剂混合溶液，形成具有表面凹凸部位或内部沟道的柔性衬底，形成的表面凹凸部位或内部沟道的形状与所要制备的柔性电子器件的功能结构的形状相对应。本发明还提供提供一种柔性电子器件的制备方法，包括在制备出具有表面凹凸部位或内部沟道的柔性衬底后，在所述柔性衬底的表面凹凸部位或内部沟道内填充与所述柔性电子器件的功能对应的功能材料，得到所需的柔性电子器件。本发明的加工过程中柔性衬底一次成型，加工方便，密封性好。

公开(公告)号：CN111081862A

公开(公告)日：2020-04-28

申请号：CN201911411514.5

申请日：2019-12-31

Applicant: 清华大学 ,  浙江清华柔性电子技术研究院

Inventor： 冯雪 ,  付浩然 ,  陈颖 ,  张柏诚 ,  刘兰兰 ,  蒋晔

IPC: H01L41/083 ,  H01L41/09 ,  H01L41/25 ,  H01L41/27

Abstract: 本发明提供一种基于介电效应的电致变形装置及其制作方法，电致变形装置包括载体层(13)和复合层(F)，所述复合层(F)附着于所述载体层(13)，所述复合层(F)包括三层结构，依次为电极层(11)、介电材料层(12)和电极层(11)，所述电极层(11)由导体制成，所述介电材料层(12)由具有介电性能的材料制成，当所述装置未通电时，所述载体层(13)呈螺旋形，当给所述装置通电后，所述装置能发生扭转。根据本发明的电致变形装置，其结构简单且能实现扭转和/或弯曲变形。根据发明的电致变形装置的制备方法，其工艺简单、可操作性强。

公开(公告)号：CN111044183A

公开(公告)日：2020-04-21

申请号：CN201911348848.2

申请日：2019-12-24

Applicant: 浙江清华柔性电子技术研究院 ,  清华大学

Inventor： 冯雪 ,  王志建 ,  刘兰兰 ,  陈颖

IPC: G01L1/16 ,  G01L9/08

Abstract: 柔性压力传感及其制备方法，该柔性压力传感器包括，第一电极层、第二电极层、介电层、设置于介电层与第一电极层之间的第一过渡层及设置于介电层与第二电极层之间的第二过渡层，第一过渡层由第一电极层材料及介电层材料混合而成，第二过渡层由第二电极层材料及第二过渡层材料混合而成。该柔性压力传感器能够使得不同的材料之间具有较高的结合力，提高压力传感器的可靠性。