应用于真空室的片架传送机构

    公开(公告)号:CN110282329A

    公开(公告)日:2019-09-27

    申请号:CN201910599083.3

    申请日:2019-07-04

    Abstract: 本发明为真空镀膜领域,公开了一种应用于真空室的片架传送机构,包括滑块A、滑块B、传动杆A和传动杆B,所述传动杆A和传动杆B纵向平行放置,并分别穿过滑块A和滑块B,形成井字形;所述滑块A、滑块B、传动杆A和传动杆B位于工作腔体内,所述传动杆A与电机A连接,所述传动杆B与电机B连接。所述滑块A和滑块B上设置有传动杆螺孔和传动杆过度通孔。本发明通过控制传动杆A和B的转动,可以自由控制片架的传送速度和传送方向,由于其结构简单,配件少,在降低传动机构成本的同时,可提高传动机构的可靠性。

    真空室活动片架在线测温系统

    公开(公告)号:CN108181020A

    公开(公告)日:2018-06-19

    申请号:CN201810044332.8

    申请日:2018-01-17

    Abstract: 本发明公开了一种真空室活动片架在线测温系统,包括分布在片架一侧边的声表面波无线无源传感器陈列,安装于真空室内远离磁控溅射区的传输天线,以及安装在真空室外与真空室内传输天线连接的信号处理装置。本发明的真空室活动片架测温系统,解决了传统热电偶测量系统无法在线测量活动片架温度的问题,同时采用传感器阵列解决了大片架在不同区域温度分布不均而无法全面测量的问题。

    真空镀膜腔内无线无源温度测量装置及测量方法

    公开(公告)号:CN108051111A

    公开(公告)日:2018-05-18

    申请号:CN201810043892.1

    申请日:2018-01-17

    Abstract: 本发明公开了一种真空镀膜腔内无线无源温度测量装置,包括置于真空室外的射频读取器、与射频读取器通过接线盘连接的置于真空室内的传输天线和与传输天线无线连接的置于真空室内的传感器单元。测温步骤为a)射频读取器通过传输天线发射一段射频脉冲给传感器单元b)传感器单元接收传输天线电信号并转化为声波信号c)传感器单元的温度变化将改变声波信号d)被改变的声波信号被传感器单元转为新的电信号返回到传输天线;e)射频读取器通过传输天线读取新的电信号f)射频读取器通过分析发送和接收的电信号区别得到传感器单元温度变化信息。本发明解决了传统热电偶温度测量系统无法测量运动对象的缺点,同时具有安装灵活,方便快捷等优点。

    一种CoSb3/石墨烯纳米复合材料的制备方法及其产品和应用

    公开(公告)号:CN103824931B

    公开(公告)日:2016-04-27

    申请号:CN201410054804.X

    申请日:2014-02-18

    Applicant: 浙江大学

    Abstract: 本发明公开了一种CoSb3/石墨烯纳米复合材料的制备方法,首先通过共沉淀法制备氧化石墨/钴锑氢氧化物前驱体,再通过氢还原法将所述的氧化石墨/钴锑氢氧化物前驱体还原为CoSb3/石墨烯纳米复合材料;本发明还公开了采用所述的制备方法制备的CoSb3/石墨烯纳米复合材料及其在作为热电材料中的应用。本制备方法工艺简单,能耗低、成本低;制备得到的CoSb3/石墨烯纳米复合材料,颗粒尺寸细小且分布均匀,具有较高的赛贝克系数,热电性能良好。

    低热导率、高强度致密纯相锆酸镧陶瓷及其制备方法

    公开(公告)号:CN103803973B

    公开(公告)日:2015-09-09

    申请号:CN201310730564.6

    申请日:2013-12-26

    Applicant: 浙江大学

    Abstract: 本发明公开了一种低热导率、高强度致密纯相锆酸镧陶瓷及其制备方法。所述锆酸镧陶瓷的化学式为La2Zr2O7,致密度大于85%,压缩强度为310~500MPa,常温热导率与热扩散系数分别为1.55~1.79W/(m·K)、(0.90~0.76)×10-6m2/s,1200℃热导率与热扩散系数分别为0.75~0.94W/(m·K)、(0.35~0.45)×10-6m2/s,断裂韧性为1.45~1.70MPa。按照本发明提供的锆酸镧陶瓷制备方法得到的锆酸镧陶瓷具有低热导率、高熔点、良好的抗氧化性、优良的力学性能和良好的高温相稳定性等优点,能够满足高超声速航空航天器对高强度隔热陶瓷材料性能的要求。

    过渡金属锡化物/石墨烯复合材料及其制备方法和应用

    公开(公告)号:CN102800849B

    公开(公告)日:2014-12-24

    申请号:CN201210254835.0

    申请日:2012-07-23

    Applicant: 浙江大学

    Abstract: 本发明公开了一种过渡金属锡化物/石墨烯复合材料,由纳米级过渡金属锡化物和石墨烯组成,所述的过渡金属锡化物的通式为MSn2或M3Sn2,其中M代表VIII族过渡金属元素。该复合材料中过渡金属锡化物由于石墨烯的分散和承载作用能够均匀分布,可有效提高过渡金属锡化物在充放电过程中的稳定性,可用作锂离子电池负极材料。本发明还公开了该复合材料的一步水热法或一步溶剂热法的制备方法,具有工艺简单、成本低、周期短、能耗低等优点。

    卷绕式双面镀膜设备
    20.
    发明公开

    公开(公告)号:CN101348896A

    公开(公告)日:2009-01-21

    申请号:CN200810120619.0

    申请日:2008-08-27

    Applicant: 浙江大学

    Abstract: 本发明属于溅射镀膜技术领域,特别是涉及一种卷绕式双面镀膜设备;它包括真空腔体和盖板,其特征是所述盖板与真空腔体的端面相配合,在真空腔体内设有送料辊、收料辊、第一至第三展平辊、第一至第五过渡辊,所述真空腔体分别与高真空抽气装置和惰性气体充气器相连通,所述真空腔体内设有第一滚筒和第二滚筒,这两个滚筒的一侧分别设有与之相对应的等离子发生器和磁控溅射装置,所述磁控溅射装置由溅射过渡膜的磁控溅射靶和溅射导电膜的磁控溅射靶构成,所述第一滚筒的另一侧设置有第一展平辊和第三过渡辊,第二滚筒的另一侧设置有第二展平辊和第四过渡辊;具有结构紧凑、设计合理、能同时对聚合物薄膜两面进行镀覆膜层的特点。

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