一种双面集成的单片体声波双工器

    公开(公告)号:CN110277977A

    公开(公告)日:2019-09-24

    申请号:CN201910595492.6

    申请日:2019-07-03

    Applicant: 武汉大学

    Abstract: 本发明公开了一种双面集成的单片体声波双工器,包括相互连接的发射带通滤波器、接收带通滤波器和阻抗匹配电路;其中:该单片体声波双工器中间设置有一个衬底,衬底上下两面均刻蚀有凹槽状的空腔;发射带通滤波器和接收带通滤波器分别沉积在衬底的上下两面。本发明专利提出的结构工艺可以将发射带通滤波器和接收滤波器集成在同一衬底的上下两个面上,从而将体声波双工器集成在同一片衬底上,因此可以有效地减小双工器的面积和体积,从而减少双工器制作的成本。

    一种三维单片集成传感器系统

    公开(公告)号:CN110255489A

    公开(公告)日:2019-09-20

    申请号:CN201910468431.3

    申请日:2019-05-31

    Applicant: 武汉大学

    Abstract: 本发明属于MEMS系统集成制造技术领域,公开了一种三维单片集成传感器系统,包括:集成电路晶圆、传感器层、薄膜封装层;传感器层包括多个传感器,传感器集成在集成电路晶圆上,薄膜封装层位于传感器层之上;集成电路晶圆包括:衬底、电路模块层、第一绝缘层。本发明解决了现有技术中传感器系统体积较大、不易高度集成化、成品率较低的问题,能够满足高度集成化和小型化的传感器系统制作需求。

    便携式血液分离仪
    13.
    发明公开

    公开(公告)号:CN109622245A

    公开(公告)日:2019-04-16

    申请号:CN201811557071.6

    申请日:2018-12-19

    Applicant: 武汉大学

    CPC classification number: B04B5/0442 B04B9/00 B04B2005/045

    Abstract: 本发明提供了一种便携式血液分离仪,包括驱动部件和离心箱体及分离管道。压电马达做驱动部件,离心箱体内的旋转沟槽设计为圆柱体或者圆台,对应的分离管道呈圆形宽管道,方便血液成分在离心之后的沉积分布。离心宽管道的终端设计有几个由阀门控制的独立的分离管道,便于精确分离。本发明最终解决了现行血细胞分离机体积庞大,运行时间长,噪声大,效率低等问题,有利于医疗仪器和医疗器械领域的发展,具有较高的应用价值。

    一种双相纳米复合太阳能吸收涂层及制造方法

    公开(公告)号:CN106500374A

    公开(公告)日:2017-03-15

    申请号:CN201610931796.1

    申请日:2016-10-31

    Applicant: 武汉大学

    Abstract: 本发明公开一种双相纳米复合太阳能吸收涂层及制造方法,该涂层包括在基底上依次设有红外高反射层、主吸收层、次吸收层和减反层,将基底用化学法清洗后置于真空炉中,然后抽真空,往炉中通入高流量氮气,打开Ti靶,在基底沉积TiN的红外高反射层;然后关闭Ti靶,打开AlTi合金靶,通入低流量的氧气和氮气,在低氧低氮环境中,在红外高反射层上沉积双相纳米结构主吸收层;增加氮气流量,在低氧高氮环境中,主吸收层上沉积单相纳米结构的次吸收层;最后关闭氮气,在高氧浓度条件下沉积减反层,关闭加热器,自然冷却即得到四层结构的Ti-Al-O-N双相纳米复合太阳能吸收涂层,本发明制造的涂层吸收效率好,能量转换效率高,具有较大推广应用价值。

    啁啾型衬底、谐振器、滤波器及制备方法

    公开(公告)号:CN118868846A

    公开(公告)日:2024-10-29

    申请号:CN202411327971.7

    申请日:2024-09-24

    Applicant: 武汉大学

    Abstract: 本申请提供了啁啾型衬底、谐振器、滤波器及制备方法,谐振器包括由上至下依次设置的压电层、啁啾型布拉格反射层和衬底层,啁啾型布拉格反射层由多个布拉格反射层堆叠形成,按层叠方向由上至下包括顶层布拉格反射层、中间布拉格反射层、底层布拉格反射层,多个布拉格反射层均由上至下由低声阻抗布拉格反射层和高声阻抗布拉格反射层层叠设置而成,啁啾型布拉格反射层的厚度与啁啾型布拉格反射层的啁啾率相关并沿着层叠方向呈线性变化。本申请提供的啁啾型衬底,通过将各布拉格反射层的厚度设计成线性相关,改善了谐振器目标频率声波反射率,增大衬底的吸收带宽和低频段增强折射率,在4GHz以上,使啁啾型布拉格反射层的反射能力具有频段集中性,有效抑制高频主模态旁的伪模态。

    三维集成的MEMS振荡器
    16.
    发明授权

    公开(公告)号:CN114826192B

    公开(公告)日:2024-07-26

    申请号:CN202210584692.3

    申请日:2022-05-26

    Applicant: 武汉大学

    Abstract: 本发明公开了一种三维集成的MEMS振荡器,包括,集成电路晶圆、MEMS谐振器晶圆。其中集成电路晶圆包含多个振荡器电路;MEMS谐振器晶圆包含多个谐振器组成的谐振器阵列;集成电路晶圆在MEMS谐振器晶圆之上,两者之间通过键合方式连接,并通过沉积金属薄膜的方式实现电气连接。本发明解决了现有技术中MEMS振荡器集成后横纵向尺寸过大,而且不易高度集成和多频集成的问题。

    抑制横波泄露的体声波谐振器
    17.
    发明公开

    公开(公告)号:CN117353698A

    公开(公告)日:2024-01-05

    申请号:CN202311441991.2

    申请日:2023-10-30

    Applicant: 武汉大学

    Abstract: 本发明公开了一种抑制横波泄露的体声波谐振器,该谐振器自上而下包括第一电极层、压电层、第二电极层和衬底;第一电极层设置于压电层上层即远离衬底的一侧,第一电极层的谐振区内设有顶电极;第二电极层设置于压电层下层即靠近衬底的一侧,第二电极层的谐振区内设有底电极;还包括若干声反射栅结构,声反射栅结构设置于第一电极层的谐振区外和/或第二电极层的谐振区外;若干声反射栅结构之间存在多个空气隙隔离层;衬底包括支撑结构和空腔结构。当声波传播到声反射栅结构时,由于其形状不规则、宽度不一且与谐振器谐振区边缘不平行,声波会被多次反射、折射和散射,使其传播路径变的复杂,有效抑制横向声波泄露及杂波响应,提高谐振器的Q值。

    超声检测膝关节活动及血流变化的可穿戴设备

    公开(公告)号:CN116549015A

    公开(公告)日:2023-08-08

    申请号:CN202310462412.6

    申请日:2023-04-26

    Applicant: 武汉大学

    Abstract: 本发明公开了一种超声检测膝关节活动及血流变化的可穿戴设备,包括一个超声波收发贴片。贴片上的超声波收发模块由PMUT阵列组成。贴片的组成结构包括:一个生物粘合层;一个超声波收发层;一个柔性电路层。其中超声波收发层,通过发射和接收回波,可以获取人体活动过程中关节摩擦情况和血流变化、积液等信息,采样得到的信息经过柔性电路层的处理,能得到个性化的健康反馈.此外,该膝关节检测系统还包括无线传输模块及相应外设装置。本发明仅用一层超声波收发层便可采集膝关节相关的生物信息;且采用MEMS工艺制备,该检测设备体积小,便于佩戴,能达到日常监护、及时预警的效果。

    一种高频定点药物吸收促进装置
    19.
    发明公开

    公开(公告)号:CN116350926A

    公开(公告)日:2023-06-30

    申请号:CN202310285157.2

    申请日:2023-03-22

    Applicant: 武汉大学

    Abstract: 本发明提供一种高频定点药物吸收促进装置,包括控制器、插入装置和给药吸收模块,所述插入装置包括管状壳体和位于管状壳体前端的端头,所述控制器与管状壳体后端连接,所述给药吸收模块包括给药组件和吸收组件,其中给药组件包括给药管路,所述给药管路自控制器起穿过管状壳体后由端头伸出,所述吸收组件包括设置于端头表面的高频激励器和设置于管状壳体内的控制线路,所述控制器控制端头移动至给药位置并控制给药组件给药和高频激励器高频振动。本发明能够将药物直接输注到病灶附近,通过高频振动直接促进局部细胞和组织对药物的吸收,实现定点式、局部化的药物供应与促进吸收,提高药物吸收效率,减少药物使用量,降低药物副作用。

    一种VR屏下眼压监测装置
    20.
    发明公开

    公开(公告)号:CN116211242A

    公开(公告)日:2023-06-06

    申请号:CN202310157655.9

    申请日:2023-02-23

    Applicant: 武汉大学

    Abstract: 本申请公开了一种VR屏下眼压监测装置。其包括:VR眼镜;压电式超声换能器阵列,具有多个PMUT单元,位于VR眼镜内,用以通过发射超声波信号采集角膜厚度信息;微处理器,用以根据角膜厚度信息判断眼压值是否异常,并在眼压值异常时关闭VR眼镜。本技术方案中,将压电微机械超声换能器阵列嵌入在VR眼镜内部,超声换能器通过发射超声波测量角膜厚度变化,并反馈给微处理器处理数据,当角膜厚度变化值达到预定值时,微处理器判定此时眼压值异常并在异常时关闭VR眼镜,强制使用者进入休息模式,保证VR眼镜使用者合理分配时间,做到安全用眼。本申请眼压监测具有实时性,可以动态监测VR眼镜使用者眼部状态,保证安全用眼的同时不会对使用者造成测量负担。

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