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公开(公告)号：CN118868846B
公开(公告)日：2025-01-17
申请号：CN202411327971.7
申请日：2024-09-24
Applicant: 武汉大学
IPC: H03H9/13 , H03H9/02 , H03H9/145 , H03H9/17 , H03H9/25 , H03H9/54 , H03H9/64 , H03H3/02 , H03H3/08
Abstract: 本申请提供了啁啾型衬底、谐振器、滤波器及制备方法，谐振器包括由上至下依次设置的压电层、啁啾型布拉格反射层和衬底层，啁啾型布拉格反射层由多个布拉格反射层堆叠形成，按层叠方向由上至下包括顶层布拉格反射层、中间布拉格反射层、底层布拉格反射层，多个布拉格反射层均由上至下由低声阻抗布拉格反射层和高声阻抗布拉格反射层层叠设置而成，啁啾型布拉格反射层的厚度与啁啾型布拉格反射层的啁啾率相关并沿着层叠方向呈线性变化。本申请提供的啁啾型衬底，通过将各布拉格反射层的厚度设计成线性相关，改善了谐振器目标频率声波反射率，增大衬底的吸收带宽和低频段增强折射率，在4GHz以上，使啁啾型布拉格反射层的反射能力具有频段集中性，有效抑制高频主模态旁的伪模态。
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公开(公告)号：CN114815333B
公开(公告)日：2024-11-22
申请号：CN202210568818.8
申请日：2022-05-24
Applicant: 武汉大学
Abstract: 本发明属于MEMS声光器件技术领域，公开了一种基于SOI的兰姆波声光调制器，包括SOI平台、波导组件和压电组件，波导组件集成在SOI平台上，SOI平台经刻蚀后形成有空腔，压电组件位于空腔的上方，压电组件激发产生的兰姆波经SOI平台传递至波导组件。本发明将用于激发产生兰姆波的压电组件与波导组件结合，采用更高频率范围的兰姆波代替表面波进行调制，结合设置的空腔能够实现更大的频率调制范围和更高的调制效率，基于SOI平台，有着更好的集成潜力，本发明能实现高灵敏度与多频段调制。
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公开(公告)号：CN114815333A
公开(公告)日：2022-07-29
申请号：CN202210568818.8
申请日：2022-05-24
Applicant: 武汉大学
Abstract: 本发明属于MEMS声光器件技术领域，公开了一种基于SOI的兰姆波声光调制器，包括SOI平台、波导组件和压电组件，波导组件集成在SOI平台上，SOI平台经刻蚀后形成有空腔，压电组件位于空腔的上方，压电组件激发产生的兰姆波经SOI平台传递至波导组件。本发明将用于激发产生兰姆波的压电组件与波导组件结合，采用更高频率范围的兰姆波代替表面波进行调制，结合设置的空腔能够实现更大的频率调制范围和更高的调制效率，基于SOI平台，有着更好的集成潜力，本发明能实现高灵敏度与多频段调制。
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公开(公告)号：CN113726307A
公开(公告)日：2021-11-30
申请号：CN202110947614.0
申请日：2021-08-18
Applicant: 武汉大学
Abstract: 本发明公开了一种有效机电耦合系数可调的超高频谐振器，其结构包括：沟槽，电极，压电薄膜；电极位于压电薄膜上表面。沟槽横截面为矩形、梯形、弧形中任一种，长度方向与电极长度方向一致，沟槽数目、宽度和深度据实际情况确定。沟槽可位于压电薄膜上表面或下表面或位于上下表面，若其位于压电薄膜上表面，则位于电极左右两侧；若其位于压电薄膜下表面，则位于电极正下方；若其位于压电薄膜上下表面，则上表面的沟槽位于电极左右两侧，下表面的沟槽位于电极正下方。刻蚀沟槽能够有效减小超高频谐振器的带宽，且可以通过改变沟槽的宽度和深度调节有效机电耦合系数，实现带宽可调。
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公开(公告)号：CN113193845A
公开(公告)日：2021-07-30
申请号：CN202110373825.8
申请日：2021-04-07
Applicant: 武汉大学
Abstract: 本发明公开了一种具有特殊支撑衬底射频谐振器及其制备方法，该射频谐振器包括带有特殊形貌空腔的衬底、上下电极层和电极层之间的压电层。谐振器上下电极和压电层的工作区域悬浮于凹坑上方。在制备凹坑时保留锚结构和汇流排下方的衬底材料，可以有效增强谐振器的稳定性和可靠性，避免谐振器加工过程中发生翘曲、在工作过程中发生断裂的现象。
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Patent Agency Ranking
公开(公告)号：CN112798821B
公开(公告)日：2021-10-08
申请号：CN202011578920.3
申请日：2020-12-28
Applicant: 武汉大学
IPC: G01P15/09
Abstract: 本发明提供一种双轴压电式加速度计，本加速度计包括处于同一平面且同轴的大矩形框架和小矩形框架，小矩形框架内设有质量块；小矩形框架与质量块之间固定有四根长度相等相互对称的梁，大矩形框架与小矩形框架之间固定有四根长度相等相互对称的梁；令第五至第八梁所在直线的方向为y轴，y轴与所述的x轴相互垂直；梁的表面均设有压电片，每个压电片的四个角上分别设置有一个电极；所有位于同一轴向且用于感受同一形变方向的电极均连接到一起。本发明通过将八根梁分为两组均匀分布在加速度计的内部，两组梁之间相互垂直，加强了加速度计的稳定性，减少了加速度计在工作过程中的扭转变形，提高加速度计的测量精度。
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公开(公告)号：CN113114068A
公开(公告)日：2021-07-13
申请号：CN202110281315.8
申请日：2021-03-16
Applicant: 武汉大学
IPC: H02N2/18
Abstract: 本发明公开了一种基于复合压电薄膜的能量采集器，包括：固定基座，悬臂梁，质量负载；所述固定基座和悬臂梁可以是连续曲面图形或多边形，所述质量负载可根据悬臂梁形状适当调整其形状尺寸，所述悬臂梁与固定基座接触端形成固定端，远离端形成自由端。所述悬臂梁为自上而下多层结构为：上电极、压电层、下电极、支撑层，所述压电层为具有低介电常数(低介电损耗)、低压电系数(较差的压电性能)的压电层和具有高介电常数(高介电损耗)、高压电系数(良好的压电性能)的压电层根据实际情况排列组合为两层或多层结构的复合压电薄膜，所述复合压电薄膜各层厚度根据实际情况确定，整体具有良好的压电和介电性能，能够提高能量采集器的输出电压。
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公开(公告)号：CN112798821A
公开(公告)日：2021-05-14
申请号：CN202011578920.3
申请日：2020-12-28
Applicant: 武汉大学
IPC: G01P15/09
Abstract: 本发明提供一种双轴压电式加速度计，本加速度计包括处于同一平面且同轴的大矩形框架和小矩形框架，小矩形框架内设有质量块；小矩形框架与质量块之间固定有四根长度相等相互对称的梁，大矩形框架与小矩形框架之间固定有四根长度相等相互对称的梁；令第五至第八梁所在直线的方向为y轴，y轴与所述的x轴相互垂直；梁的表面均设有压电片，每个压电片的四个角上分别设置有一个电极；所有位于同一轴向且用于感受同一形变方向的电极均连接到一起。本发明通过将八根梁分为两组均匀分布在加速度计的内部，两组梁之间相互垂直，加强了加速度计的稳定性，减少了加速度计在工作过程中的扭转变形，提高加速度计的测量精度。
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公开(公告)号：CN112532206A
公开(公告)日：2021-03-19
申请号：CN202011485700.6
申请日：2020-12-16
Applicant: 武汉大学
Abstract: 本发明涉及射频滤波器和双工器技术，具体涉及一种双工器，包括衬底基板以及位于衬底基板上的不同频带的接收端滤波器和发射端滤波器；接收端滤波器和发射端滤波器均包括多个堆叠式体声波谐振器，堆叠式体声波谐振器包括衬底、声反射层、底电极、多层压电材料层、多层中间电极层和顶电极。堆叠式体声波谐振器通过压电材料层和各电极层形成多层压电振荡堆串联结构，可以提高谐振器的谐振频率，本发明通过对堆叠式体声波谐振器的堆叠层数进行调整，从而对单个谐振器的谐振频率进行调频，使接收滤波器和发射滤波器的谐振器的谐振频率进行匹配，从而实现双工器的集成。
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公开(公告)号：CN118868846A
公开(公告)日：2024-10-29
申请号：CN202411327971.7
申请日：2024-09-24
Applicant: 武汉大学
IPC: H03H9/13 , H03H9/02 , H03H9/145 , H03H9/17 , H03H9/25 , H03H9/54 , H03H9/64 , H03H3/02 , H03H3/08
Abstract: 本申请提供了啁啾型衬底、谐振器、滤波器及制备方法，谐振器包括由上至下依次设置的压电层、啁啾型布拉格反射层和衬底层，啁啾型布拉格反射层由多个布拉格反射层堆叠形成，按层叠方向由上至下包括顶层布拉格反射层、中间布拉格反射层、底层布拉格反射层，多个布拉格反射层均由上至下由低声阻抗布拉格反射层和高声阻抗布拉格反射层层叠设置而成，啁啾型布拉格反射层的厚度与啁啾型布拉格反射层的啁啾率相关并沿着层叠方向呈线性变化。本申请提供的啁啾型衬底，通过将各布拉格反射层的厚度设计成线性相关，改善了谐振器目标频率声波反射率，增大衬底的吸收带宽和低频段增强折射率，在4GHz以上，使啁啾型布拉格反射层的反射能力具有频段集中性，有效抑制高频主模态旁的伪模态。
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