公开(公告)号：CN108350561A

公开(公告)日：2018-07-31

申请号：CN201680063845.2

申请日：2016-10-14

Applicant: 株式会社V技术

Inventor： 工藤修二 ,  木村江梨子 ,  小林郁典

IPC: C23C14/04 ,  B23K26/18 ,  B23K26/38 ,  H01L51/50 ,  H05B33/10

Abstract: 本发明进行如下工序：在能进行激光加工的树脂制的膜(4)的表里任意一面形成树脂制的支撑层(2)的工序，其中，该支撑层(2)包括与上述膜(4)不同的树脂材料，吸收波长比可见光短的激光(L1)；从与上述膜(4)的形成有上述支撑层(2)的面相反的一侧照射激光(L1)，形成贯通该膜(4)的开口图案(3)的工序；以及针对上述膜(4)选择除去上述支撑层(2)的工序。由此，能通过简单的工艺抑制在开口图案的缘部产生毛刺。

公开(公告)号：CN105051243B

公开(公告)日：2017-06-23

申请号：CN201480014059.4

申请日：2014-02-17

Applicant: 株式会社V技术

Inventor： 斋藤雄二 ,  工藤修二 ,  小菅崇之 ,  水村通伸

IPC: C23C14/04

CPC classification number: B32B38/10 ,  B32B15/00 ,  B32B2310/0843 ,  C23C14/042

Abstract: 本发明是将形成了多个开口图案的金属掩模片(4)张紧而固定于框状的金属框架7上的结构的成膜掩模的制造方法，进行如下步骤：第1步骤，在被施加一定张力的合成纤维的网(1)上粘接金属掩模片(4)的周缘部；第2步骤，将与金属掩模片(4)的内含多个开口图案的大小的成膜有效区域对应的网(1)的部分切除；第3步骤，在金属掩模片(4)的周缘部从与网(1)相反的一侧接合、固定框架(7)；以及第4步骤，将网(1)从金属掩模片(4)除去。

公开(公告)号：CN104870682B

公开(公告)日：2017-05-10

申请号：CN201380066197.2

申请日：2013-10-17

Applicant: 株式会社V技术

Inventor： 工藤修二 ,  柳川良胜 ,  后藤隆之

IPC: C23C14/04 ,  B23K26/00 ,  B23K26/36 ,  H01L51/50 ,  H05B33/10

CPC classification number: B23K26/402 ,  B05C21/005 ,  B23K26/0869 ,  B23K26/382 ,  B23K2103/42 ,  B23K2103/50 ,  C23C14/042

Abstract: 本发明的成膜掩模的制造方法，在树脂性薄膜(2)的预先设定的位置进行激光加工而形成贯通的开口图形(1)，在所述薄膜(2)和支承该薄膜(2)的基准基板(13)的平滑面(13b)之间形成液膜(14)的弯液面，在借助由拉普拉斯压力产生的吸附力而使所述薄膜(2)与所述基准基板(13)紧贴之后，激光加工所述开口图形(1)。由此在开口图形的边缘部不产生飞边，能够使激光加工高速化。

公开(公告)号：CN106488995A

公开(公告)日：2017-03-08

申请号：CN201580036959.3

申请日：2015-06-26

Applicant: 株式会社V技术

Inventor： 水村通伸 ,  工藤修二 ,  梶山康一

IPC: C23C14/04 ,  G06F3/041

Abstract: 本发明具备：掩模层(1)，其与在显示面板与该透明电极的形状尺寸相同的开口图案(4)；以及支撑层(2)，其具有横穿开口图案(4)而设置于掩模层(1)的一个面(1a)的多个支撑线(2a)，支撑层(2)的支撑线(2a)的排列间距设为可抑制由作为成膜的膜厚不匀而转印到透明电极上的支撑线(2a)的阴影导致的莫尔条纹或者衍射条纹的发生的尺寸。(5)的显示面上成膜形成的透明电极对应而具有

公开(公告)号：CN105051243A

公开(公告)日：2015-11-11

申请号：CN201480014059.4

申请日：2014-02-17

Applicant: 株式会社V技术

Inventor： 斋藤雄二 ,  工藤修二 ,  小菅崇之 ,  水村通伸

IPC: C23C14/04

CPC classification number: B32B38/10 ,  B32B15/00 ,  B32B2310/0843 ,  C23C14/042

Abstract: 本发明是将形成了多个开口图案的金属掩模片(4)张紧而固定于框状的金属框架7上的结构的成膜掩模的制造方法，进行如下步骤：第1步骤，在被施加一定张力的合成纤维的网(1)上粘接金属掩模片(4)的周缘部；第2步骤，将与金属掩模片(4)的内含多个开口图案的大小的成膜有效区域对应的网(1)的部分切除；第3步骤，在金属掩模片(4)的周缘部从与网(1)相反的一侧接合、固定框架(7)；以及第4步骤，将网(1)从金属掩模片(4)除去。

公开(公告)号：CN104870682A

公开(公告)日：2015-08-26

申请号：CN201380066197.2

申请日：2013-10-17

Applicant: 株式会社V技术

Inventor： 工藤修二 ,  柳川良胜 ,  后藤隆之

IPC: C23C14/04 ,  B23K26/00 ,  B23K26/36 ,  H01L51/50 ,  H05B33/10

CPC classification number: B23K26/402 ,  B05C21/005 ,  B23K26/0869 ,  B23K26/382 ,  B23K2103/42 ,  B23K2103/50 ,  C23C14/042

Abstract: 本发明的成膜掩模的制造方法，在树脂性薄膜(2)的预先设定的位置进行激光加工而形成贯通的开口图形(1)，在所述薄膜(2)和支承该薄膜(2)的基准基板(13)的平滑面(13b)之间形成液膜(14)的弯液面，在借助由拉普拉斯压力产生的吸附力而使所述薄膜(2)与所述基准基板(13)紧贴之后，激光加工所述开口图形(1)。由此在开口图形的边缘部不产生飞边，能够使激光加工高速化。

公开(公告)号：CN103797149A

公开(公告)日：2014-05-14

申请号：CN201280044893.9

申请日：2012-09-14

Applicant: 株式会社V技术

Inventor： 杉本重人 ,  梶山康一 ,  水村通伸 ,  工藤修二 ,  木村江梨子 ,  哈尼·马赫·阿齐兹 ,  梶山佳敬

IPC: C23C14/04 ,  C23C14/24 ,  H01L51/50 ,  H05B33/10

CPC classification number: B05B12/20 ,  B23K26/342 ,  B23K26/359 ,  B23K26/382 ,  C23C14/042 ,  C23C14/24 ,  C23C14/34 ,  C23C14/48 ,  H01L51/0011 ,  H01L51/5012 ,  Y10T156/10

Abstract: 本发明是用于在基板上蒸镀形成一定形状的薄膜图案的蒸镀掩膜，该蒸镀掩膜构成为具备透射可见光的树脂制的膜，该树脂制的膜对应于预先在所述基板上确定的所述薄膜图案的形成区域，形成了与该薄膜图案的形状尺寸相同的贯通的开口图案。