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公开(公告)号：CN114402447A
公开(公告)日：2022-04-26
申请号：CN202080064677.5
申请日：2020-05-25
Applicant: 株式会社村田制作所
IPC: H01L41/047 , H01L41/053 , H01L41/187 , H01L41/29 , H01L41/313 , H01L41/332 , H01L41/337
Abstract: 压电元件(100)包括压电体层(110)、第1电极层(120)以及第2电极层(130)。压电体层(110)具有第1面(111)和第2面(112)。第2面(112)位于与第1面(111)相反的那一侧。第1电极层(120)设于第1面(111)上。第2电极层(130)设于第2面(112)上。第2电极层(130)至少局部隔着压电体层(110)而与第1电极层(120)相对。第2电极层(130)含有硅作为主要成分。压电体层(110)由单晶形成。
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公开(公告)号：CN113826408A
公开(公告)日：2021-12-21
申请号：CN202080035943.1
申请日：2020-04-08
Applicant: 株式会社村田制作所
Abstract: 压电装置(100)包括基板(110)、压电元件(120)以及盖部(130)。压电元件(120)包含基部(121)和膜片部(122)。基部(121)位于第1主面(111)上，并且，在从第1主面(111)的法线方向观察时具有环状的外形。膜片部(122)在从法线方向观察时位于基部(121)的内侧。盖部(130)位于第1主面(111)上，在第1主面(111)侧与压电元件(120)分开且覆盖压电元件(120)。基板(110)在与膜片部(122)面对的位置形成有从第1主面(111)到达第2主面(112)的第1贯通孔(113)。在膜片部(122)形成有贯通狭缝(123)。
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公开(公告)号：CN113412579A
公开(公告)日：2021-09-17
申请号：CN201980091764.7
申请日：2019-09-26
Applicant: 株式会社村田制作所
IPC: H03H9/17 , H01L41/29 , H04R17/00 , H01L41/047 , H01L41/09 , H01L41/187 , H01L41/257
Abstract: 压电驱动部(120)由多个层构成，直接或间接支承于基部(110)。压电驱动部(120)包含压电体层(130)、上部电极层(140)以及下部电极层(150)。上部电极层(140)配置于压电体层(130)的上侧。下部电极层(150)以夹着压电体层(130)而与上部电极层(140)的至少局部相对的方式配置。在压电驱动部(120)中，通过设有沿着上下方向贯通的贯通槽(121)而形成一对内侧面(122)。一对内侧面(122)分别包含贯通槽(121)的宽度从压电体层(130)的上端面(131)朝向下方逐渐变窄的第1窄幅部(123)。
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公开(公告)号：CN113261308A
公开(公告)日：2021-08-13
申请号：CN201980079191.6
申请日：2019-08-16
Applicant: 株式会社村田制作所
IPC: H04R17/00 , H01L41/09 , H01L41/113
Abstract: 板状部(121)具有遍及上下方向的整个厚度而与连接部(123)连接的多个第1连接区域(121R)。多个第1连接区域(121R)沿着板状部(121)的外周侧面(121S)的周向而位于相互隔开间隔的位置。基端部(122)具有遍及上下方向的整个厚度而与连接部(123)连接的多个第2连接区域(122R)。多个第2连接区域(122R)沿着上述周向而位于相互隔开间隔的位置。连接部(123)具有如下形状：在从多个第1连接区域(121R)之中的任意的第1连接区域(121R)向板状部(121)的外周侧延伸并通过多个第2连接区域(122R)之中的任意的第2连接区域(122R)的多个虚拟直线(L)上分别由于设置于隔膜部(120)的至少一个槽部(124)而变得不连续。
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公开(公告)号：CN112470298A
公开(公告)日：2021-03-09
申请号：CN201980049523.6
申请日：2019-07-10
Applicant: 株式会社村田制作所
IPC: H01L41/047 , B81B7/02 , H01L41/09 , H03H9/17
Abstract: MEMS器件(101)具备由压电体的单晶构成的压电层(10)、配置于压电层(10)的第一方向(91)的表面的第一电极(14)、以及配置为覆盖压电层(10)的第一方向(91)的表面的作为第一层的中间层(3)。压电层(10)的至少一部分包含在膜片部(6)中。第一电极(14)被第一层(3)覆盖且具有凹部。压电层(10)在与第一电极(14)的至少一部分对应的位置处具有贯通孔(18)，该贯通孔(1g)贯穿压电层(10)，使得将压电层(10)的与第一方向(91)相反的一侧即第二方向(92)的表面与所述凹部连结。
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公开(公告)号：CN107852449B
公开(公告)日：2020-08-18
申请号：CN201680040944.9
申请日：2016-06-30
Applicant: 株式会社村田制作所
Abstract: 本发明提供一种振动装置，能不对压电振子施加较大负荷，有利地去除附着在外罩、镜头上的水滴等。振动装置(2)使用于具有透镜(9)的摄像头主体。振动装置具有：设有压电振子(15)的筒状振动体部(12)；与筒状振动体部(12)的一端连结的筒状的模式转换结合部(21)；以及与模式转换结合部(21)接合的透光体部(22)。透光体部(22)具有配置在透镜(9)的前方的透光性部分。模式转换结合部(21)具有与筒状振动体部(12)相比、厚度较薄的薄壁部。
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公开(公告)号：CN108476275B
公开(公告)日：2020-05-12
申请号：CN201680074951.0
申请日：2016-12-12
Applicant: 株式会社村田制作所
Abstract: 提供一种振动装置，该振动装置能够将圆顶型盖部和外部透镜的水滴等去除，并且能够保持相机的视野清晰。振动装置(2)包括筒状振动体(12)以及与筒状振动体(12)的第一表面连接的透镜盖部(20)，筒状振动体(12)具有筒状构件(13)和压电振子(14)，透镜盖部(20)具有模态转换结合部(21)和配置于相机(1)的透镜(9)的前方的透光体部(22)，模态转换结合部(21)具有厚度比筒状构件(13)的厚度薄的薄壁部。
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公开(公告)号：CN115315962B
公开(公告)日：2025-03-28
申请号：CN202080098947.4
申请日：2020-11-30
Applicant: 株式会社村田制作所
Abstract: 超声波换能器包括第1声换能器(110)、第2声换能器(120)以及有底筒状的壳体(130)。第2声换能器(120)还具有：环状部(121)，其与第2膜片部(122)的周缘整周接触且支承第2膜片部(122)；以及声匹配板(123)，其与第2膜片部(122)隔开间隔地相对，并且与周壁部(130s)连接而在与壳体(130)之间形成密闭空间。在上述密闭空间内形成有由第1膜片部(112)和第2膜片部(122)夹着的超声波传送路径(T1)。超声波传送路径(T1)的最大内宽(H1)比周壁部(130s)的最大内宽(H2)小。
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公开(公告)号：CN112514088B
公开(公告)日：2024-09-03
申请号：CN201980049717.6
申请日：2019-04-24
Applicant: 株式会社村田制作所
IPC: H10N30/00 , H10N30/30 , H10N30/853
Abstract: 本发明具备基部(110)和薄膜部(120)。薄膜部(120)被基部(110)间接地支承，位于比基部(110)靠上侧。薄膜部(120)包含多个层。薄膜部(120)与基部(110)不重叠，且包含单晶压电体层(130)、上部电极层(140)、以及下部电极层(150)。在薄膜部(120)设置有在上下方向上贯通的贯通槽(180)。贯通槽(180)在构成薄膜部(120)的多个层中的最厚的层中形成有第1台阶部(181)。贯通槽(180)的宽度以第1台阶部(181)为界，下侧变得比上侧窄。
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公开(公告)号：CN114786827B
公开(公告)日：2023-09-22
申请号：CN202080081585.8
申请日：2020-07-16
Applicant: 株式会社村田制作所
Abstract: 在压电装置(100)中，梁部(110)具有固定端部(111)和自由端部(112)。自由端部(112)位于与固定端部(111)相反的那一侧。梁部(110)从固定端部(111)朝向自由端部(112)延伸。梁部(110)由层叠体(10)构成。层叠体(10)包含压电体层(11)、第1电极层(12)以及第2电极层(13)。基部(120)与梁部(110)的固定端部(111)连接。在从层叠体(10)的层叠方向观察时，基部(120)位于除了固定端部(111)以外与梁部(110)隔开间隔地包围梁部(110)的位置。在从层叠方向观察时，梁部(110)的与梁部(110)的延伸方向正交的正交方向上的宽度(W)的尺寸的平均值比延伸方向的长度(L)的最大尺寸大。
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