-
公开(公告)号：CN117063401A
公开(公告)日：2023-11-14
申请号：CN202280024593.8
申请日：2022-03-15
Applicant: 株式会社村田制作所
IPC: H03H9/25
Abstract: 本发明提供能够抑制压电层对支承构件的粘附的弹性波装置。本发明涉及的弹性波装置(10)具备：压电性基板(12)，包含包括支承基板(16)的支承构件(13)和设置在支承构件(13)上的压电层(14)；功能电极，设置在压电层(14)上；至少1个支承体；和盖部(25)。至少1个支承体中的1个支承体在压电性基板(12)上设置为包围功能电极，在该支承体上设置有盖部(25)。在支承构件(13)设置有第1空洞部(10a)。第1空洞部(10a)在俯视下与功能电极的至少一部分重叠。设置有被压电性基板(12)、设置在压电性基板(12)与盖部(25)之间的支承体和盖部(25)包围的第2空洞部(10b)。将压电性基板(12)、设置在压电性基板(12)与盖部(25)之间的支承体和盖部(25)被层叠的方向设为高度方向，将沿着高度方向的尺寸设为高度时，第1空洞部(10a)的高度比第2空洞部(10b)的高度高。
-
公开(公告)号：CN114424456A
公开(公告)日：2022-04-29
申请号：CN202080066319.8
申请日：2020-09-25
Applicant: 株式会社村田制作所
Abstract: 提供一种即使在推进了小型化的情况下也能提高Q值且能调整谐振频率的弹性波装置。弹性波装置(1)具备压电体层(4)和第1电极(51)及第2电极(52)。第1电极(51)及第2电极(52)在与压电体层(4)的厚度方向(D1)交叉的方向(D2)上对置。弹性波装置(1)利用厚度剪切一阶模的体波。弹性波装置(1)具备第1谐振器及第2谐振器。第1谐振器及第2谐振器各自具有第1电极(51)及第2电极(52)、和压电体层(4)之中包含设置了第1电极(51)及第2电极(52)的设置区域的设置部位(400)。第1谐振器及第2谐振器各自的厚度是除去了该谐振器所包含的第1电极(51)及第2电极(52)的厚度之后的厚度。第1谐振器的厚度和第2谐振器的厚度不同。
-
公开(公告)号：CN112385144B
公开(公告)日：2024-11-12
申请号：CN201980042056.4
申请日：2019-07-02
Applicant: 株式会社村田制作所
Abstract: 弹性波装置(100)具备支承基板(10)和在该支承基板(10)上相邻地形成的谐振部(12、13)。谐振部(12、13)各自包含：压电薄膜(20)；IDT电极(40)，配置在压电薄膜(20)上；和支承层(30)，配置为在俯视弹性波装置(100)的情况下包围压电薄膜(20)的周围。支承层(30)具有与压电薄膜(20)不同的线膨胀系数。谐振部(12)的压电薄膜和谐振部(13)的压电薄膜被处于谐振部(12)与谐振部(13)之间的支承层(30)分割。通过这样的结构，能够提高在公共的支承基板上形成了多个弹性波谐振器的弹性波装置中的TCF特性。
-
公开(公告)号：CN116599490A
公开(公告)日：2023-08-15
申请号：CN202310552681.1
申请日：2018-03-08
Applicant: 株式会社村田制作所
Abstract: 提供一种弹性波装置及弹性波装置封装件，能够抑制在压电体传播的第一高次模式的响应。弹性波装置(1)在由硅构成的支承基板(2)上层叠有氧化硅膜(3)、压电体(4)及IDT电极(5)。当将由IDT电极(5)的电极指间距决定的波长设为λ时，支承基板(2)的厚度为3λ以上。在压电体(4)传播的第一高次模式的声速与由从下述的式(2)导出的x的解V1、V2、V3中的V1规定的、在支承基板内传播的体波的声速VSi＝(V1)1/2相同、或者与VSi相比为高速。Ax3+Bx2+Cx+D＝0...式(2)。
-
Patent Agency Ranking
公开(公告)号：CN114430885A
公开(公告)日：2022-05-03
申请号：CN202080066070.0
申请日：2020-09-25
Applicant: 株式会社村田制作所
Abstract: 本发明提供一种即使在推进了小型化的情况下也能够提高Q值且能够容易地进行频率的调整的弹性波装置。弹性波装置(1)具备：压电层(2)，包含铌酸锂或者钽酸锂，具有相互对置的第1主面(2a)以及第2主面(2b)；至少一对电极(3、4)(第1电极、第2电极)，设置在压电层(2)的第1主面(2a)上；和附加膜(10)，设置在电极(3、4)中的至少一个电极上或者压电层(2)上，使得在俯视下与形成有电极(3、4)的区域以及各电极(3、4)彼此之间的区域中的至少一个区域重叠，电极(3、4)是彼此相邻的电极，将压电层(2)的厚度设为d，将电极(3、4)的中心间距离设为p，在该情况下，d/p为0.5以下。
-
公开(公告)号：CN110431743A
公开(公告)日：2019-11-08
申请号：CN201880016602.2
申请日：2018-03-08
Applicant: 株式会社村田制作所
Abstract: 提供一种能够抑制在压电体传播的第一高次模式的响应的弹性波装置。弹性波装置(1)在由硅构成的支承基板(2)上层叠有氧化硅膜(3)、压电体(4)及IDT电极(5)。当将由IDT电极(5)的电极指间距决定的波长设为λ时，支承基板(2)的厚度为3λ以上。在压电体(4)传播的第一高次模式的声速与由从下述的式(2)导出的x的解V1、V2、V3中的V1规定的、在支承基板内传播的体波的声速VSi＝(V1)1/2相同、或者与Vsi相比为高速。Ax3+Bx2+Cx+D＝0…式(2)。
-
公开(公告)号：CN107615658A
公开(公告)日：2018-01-19
申请号：CN201680029063.7
申请日：2016-06-10
Applicant: 株式会社村田制作所
IPC: H03H9/25
Abstract: 本发明提供一种难以产生压电薄膜的破裂、缺口且难以产生层叠膜中的界面剥离，进而强度高的弹性波装置。在支承基板(2)上层叠了层叠膜(13)的弹性波装置(1)。设置有第一支承层(8a)，使得包围设置有IDT电极(5a、5d)的区域。在被第一支承层(8a)包围的区域设置有第二支承层(8b)。在第一支承层(8a)、第二支承层(8b)上，固定有覆盖构件(9)，使得封闭由第一支承层(8a)形成的开口部。层叠膜(13)部分地不存在，在不存在层叠膜(13)的区域(R1)的至少一部分设置有绝缘层(12)。第一支承层(8a)以及第二支承层(8b)中的至少一方设置在绝缘层(12)上。
-
公开(公告)号：CN210351110U
公开(公告)日：2020-04-17
申请号：CN201921673623.X
申请日：2019-09-30
Applicant: 株式会社村田制作所
Inventor： 小柳卓哉
Abstract: 本实用新型涉及一种弹性表面波元件、弹性表面波装置及通信装置。该弹性表面波元件包括压电基板、配置于所述压电基板之上的第一配线和第二配线，所述第一配线和所述第二配线交叉配置，在交叉的位置处，所述第一配线和所述第二配线之间隔有绝缘层，所述第一配线包括在垂直于所述压电基板的板面的方向上层叠的第一下配线层和第一上配线层，所述第一配线具有在所述第一下配线层上层叠有所述第一上配线层的部分和在所述第一下配线层上未层叠有所述第一上配线层的部分，所述第一配线在俯视状态下在该第一配线与所述绝缘层重叠的区域在所述第一下配线层上未层叠有所述第一上配线层。根据本实用新型的弹性表面波元件能够减少声表面波器件的损耗。
-
公开(公告)号：CN211018778U
公开(公告)日：2020-07-14
申请号：CN201921234232.8
申请日：2019-07-31
Applicant: 株式会社村田制作所
Inventor： 小柳卓哉
IPC: H03H9/02
Abstract: 本实用新型涉及一种弹性表面波元件、弹性表面波装置及通信装置，该弹性表面波元件(1)包括配线(13)，所述配线(13)连接有多个用于设置凸点(3)的焊盘，所述焊盘的外周设有至少一个定位部，所述定位部自所述外周沿预定方向延伸设置，在所述定位部为多个时，不同的所述定位部的延伸方向不平行，当所述凸点(3)设置于所述焊盘时，所述凸点(3)位于任一个所述定位部的延伸方向上。本实用新型的弹性表面波元件能够提高凸点的位置设置的精确性。
-
-
-
-
-
-
-
-
Search Results
19
records
(took 0.024 seconds)
