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公开(公告)号：CN105518821B
公开(公告)日：2017-06-23
申请号：CN201480048806.6
申请日：2014-03-10
Applicant: 株式会社日立高新技术
CPC classification number: H01J37/16 , H01J37/18 , H01J37/20 , H01J37/263 , H01J37/28 , H01J2237/164 , H01J2237/202 , H01J2237/28
Abstract: 在带电粒子光学系统与试样之间设置了带电粒子束可透射的隔膜的带电粒子束装置中，在试样存在凹凸的情况下，也防止试样与隔膜的接触。根据从检测器(3)输出的检测信号或根据该检测信号生成的图像，监视试样(6)与隔膜(10)的距离，上述检测器(3)检测通过照射初级带电粒子束从试样(6)放出的次级带电粒子。
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Patent Agency Ranking
公开(公告)号：CN105493224A
公开(公告)日：2016-04-13
申请号：CN201480044976.7
申请日：2014-03-10
Applicant: 株式会社日立高新技术
CPC classification number: H01J37/20 , G01M3/02 , H01J37/16 , H01J37/18 , H01J37/26 , H01J37/28 , H01J2237/188 , H01J2237/2002 , H01J2237/2006 , H01J2237/2605 , H01J2237/2608 , H01J2237/2802
Abstract: 以往在更换隔膜时未充分考虑所需的成本、作业的便利性等，因此装置难以使用。在本发明中，通过隔离真空空间与大气压空间的隔膜(10)而将一次带电粒子线照射在放置于大气压空间的试样上的带电粒子线装置上所设置的隔膜安装部件(155)具有：安装TEM用膜片的隔膜设置部位；以及安装在带电粒子线装置的壳体上的壳体固定部位。并且，该隔膜设置部位具有对保持有隔膜(10)的基座(9)进行定位的定位结构(155a)。
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公开(公告)号：CN105103262A
公开(公告)日：2015-11-25
申请号：CN201480019441.4
申请日：2014-03-05
Applicant: 株式会社日立高新技术
CPC classification number: H01J37/16 , H01J37/026 , H01J37/18 , H01J37/20 , H01J37/26 , H01J2237/0213 , H01J2237/022 , H01J2237/2003 , H01J2237/2006
Abstract: 本发明的特征是在配置于非真空下的试料(6)与一次电子光学系统之间设有隔膜(10)的扫描电子显微镜中，具备过滤部件(200)，该过滤部件(200)至少在一次带电粒子束照射于试料的状态下配置在一次带电粒子束的路径上，使一次带电粒子束以及从试料得到的二次带电粒子透射或者通过，并且在隔膜破损了的情况下对飞散的飞散物的至少一部分进行遮蔽。由此，当在试料观察过程中隔膜损伤了的情况下，能够利用简单的结构没有时滞地防止因试料被吸入带电粒子光学镜筒内而产生的带电粒子光学系统、检测器的污染。
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公开(公告)号：CN104520966A
公开(公告)日：2015-04-15
申请号：CN201380041393.4
申请日：2013-07-08
Applicant: 株式会社日立高新技术
CPC classification number: H01J37/18 , H01J37/16 , H01J37/20 , H01J37/261 , H01J37/28 , H01J2237/1825 , H01J2237/2448 , H01J2237/2602 , H01J2237/2605
Abstract: 本发明提供一种具备对气体氛围或者液体状态下的试样进行观察的功能的带电粒子束装置，其目的在于对向干燥状态的试样导入液体而逐渐浸润的样子进行观察，并且防止向隔膜与试样之间导入多余的液体而使带电粒子束散射。本发明具备如下结构，该结构具备从试样(6)的下表面方向或者侧面方向导入导出所希望的液体或者气体的导入导出部(300)，并在试样(6)与隔膜(10)为非接触的状态下将一次带电粒子束照射至试样(6)。
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公开(公告)号：CN302889245S
公开(公告)日：2014-07-23
申请号：CN201430044442.7
申请日：2014-03-07
Applicant: 株式会社日立高新技术
Abstract: 1．本外观设计产品的名称：电子显微镜用薄膜支架的基座。2．本外观设计产品的用途：例如在电子显微镜中，本产品安装在电子光学镜筒和放置在非真空空间的试料之间进行使用，本产品的薄膜支持部件的安装部装有用于支持薄膜的另外的薄膜支持部。3．本外观设计产品的设计要点：本外观设计产品的形状。4．最能表明本外观设计设计要点的图片或照片：立体图1。5．在参考图1中，B-薄膜支持部件的安装部，C-基座。在参考图2中，D-电子光学镜筒，E-电子显微镜筐体，F-检出器，G-隔板部，H-非真空空间，I-薄膜支持部，J-试料台，K-试料，L-本外观设计产品，M-减压空间。
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公开(公告)号：CN302889244S
公开(公告)日：2014-07-23
申请号：CN201430044360.2
申请日：2014-03-07
Applicant: 株式会社日立高新技术
Abstract: 1．本外观设计产品的名称：电子显微镜用薄膜支架。2．本外观设计产品的用途：例如在电子显微镜中，本产品安装在电子光学镜筒和放置在非真空空间的试料之间进行使用，用于支持安装在本产品的薄膜支持部的薄膜。3．本外观设计产品的设计要点：本外观设计产品的形状。4．最能表明本外观设计设计要点的图片或照片：立体图1。5．在参考图1中，B-薄膜支持部，C-基座。在参考图2中，D-电子光学镜筒，E-电子显微镜筐体，F-检出器，G-隔板部，H-非真空空间，I-薄膜支持部，J-试料台，K-试料，L-本外观设计产品，M-减压空间。
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